一种扫描电镜样品传输装置制造方法及图纸

本技术公开了一种扫描电镜样品传输装置，包括：抬升台、调整盘、调整杆、调整块、推动结构以及真空结构等部件，利用调整杆、调整盘、抬升机构等装置，将样品调整至抬升台上的中心区域后进行传输，能够在传输过程中明确且控制样品的位置，具有精确控制样品传输的功能，解决了现有技术中扫描电镜样品传输装置过程中样品容易偏移的缺陷；推动结构和真空结构位于同一水平面且推动杆水平运动方向指向真空腔，在抬升台将样品抬升至推动结构和真空结构所处水平面后，样品能够进行水平运动，相比于现有技术，提高了样品传输过程中样品位置的精确性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种扫描电镜，尤其涉及一种扫描电镜样品传输装置。

技术介绍

1、扫描电子显微镜（简称扫描电镜）是研究材料微观结构的重要工具，可以表征微米/纳米尺度的形貌、结构和特征，并可以定性分析材料的成分特征，这使得扫描电镜在各类材料的研发、改进、质量检测等环节中均有大量的应用。现有的扫描电子显微镜从种类上，可大致分为大型落地式扫描电镜和小型化（桌上型）扫描电镜。近年来，随着技术的更新迭代，小型化扫描电镜日益受到科研工作者们的喜爱，其性能和市场占率有已经逐渐向传统的大型落地式电镜逼近。

2、实际使用过程中有打开样品仓取放样品两个操作步骤，而取放样品时又需要放入气体然后再重新抽真空。这一操作，一方面会增加时间成本；另一方面会使环境中的大气进入样品仓，随着使用时间的增长与使用次数的增加必然会对样品仓造成污染，也会导致样品仓内真空度的下降，明显缩短扫描电子显微镜的使用寿命，因此，样品真空传输装置的必要性就十分显著了。

3、现有技术cn219106070u中公开了一种传输装置，通过预抽室、动力设备、第一定滑轮、第二定滑轮、弹性伸缩组件、拉绳和传本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种扫描电镜样品传输装置，包括：机架（100），设置在所述机架（100）上的调整腔（110），以及分别设置在所述调整腔（110）上的抬升机构（200）和调整机构（300），其特征在于，

2.根据权利要求1所述的一种扫描电镜样品传输装置，其特征在于：所述气缸（210）侧面固定设置有若干支撑杆（240），所述支撑杆（240）的数量与所述调整杆（320）数量一致且一一对应，所述调整杆（320）与所述支撑杆（240）铰链连接。

3.根据权利要求1所述的一种扫描电镜样品传输装置，其特征在于：每个所述调整杆（320）和与所述调整杆（320）铰链连接的所述调整块（330）均...

【技术特征摘要】

1.一种扫描电镜样品传输装置，包括：机架（100），设置在所述机架（100）上的调整腔（110），以及分别设置在所述调整腔（110）上的抬升机构（200）和调整机构（300），其特征在于，

2.根据权利要求1所述的一种扫描电镜样品传输装置，其特征在于：所述气缸（210）侧面固定设置有若干支撑杆（240），所述支撑杆（240）的数量与所述调整杆（320）数量一致且一一对应，所述调整杆（320）与所述支撑杆（240）铰链连接。

3.根据权利要求1所述的一种扫描电镜样品传输装置，其特征在于：每个所述调整杆（320）和与所述调整杆（320）铰链连接的所述调整块（330）均设置于同一竖直平面上，所述调整块（330）以所述抬升台（230）中心轴线周向分布。

4.根据权利要求1所述的一种扫描电镜样品传输装置，其特征在于：若干所述调整块（330）均在同一水平面上运动且运动方向指向所述抬升台（230）中心轴线。

5.根据权利要求1所述的一种扫描电镜样品传输装置，其特征在于：所述调整盘（310）、所述气缸（210）、所述支杆（220）以及所述抬升台（230）均同轴设置。

6.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：王瑞华，王均，庞帅，
申请(专利权)人：南京默思泰智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：