【技术实现步骤摘要】
本技术涉及电子显微镜领域，尤其涉及一种扫描电子显微镜结构。
技术介绍
1、扫描电子显微镜是用会聚成极细的电子束探针来扫描样品，通过收集电子束与样品相互作用后产生的信号电子，并通过信号采集时序和扫描时序同步，来实现样品的成像的电子光学显微成像设备。工作距离指调准焦点时，物镜极靴的边缘到样品平面之间的垂直距离。在进行实验时，通常可以改变样品的z轴位置来调节工作距离，对于不同的样品和实验条件，可能需要不同的工作距离来准确聚焦。
2、在公开号cn218918782u中，该扫描电子显微镜包括钨灯丝电子枪、电压管、样品台和物镜。电压管与钨灯丝电子枪间隔设置，电压管内形成有通道，通道供钨灯丝电子枪发出的电子束通过，电压管包括间隔设置的第一电压管和第二电压管，第一电压管和第二电压管之间形成电势差以对电子束进行会聚；样品台设置在电压管背离钨灯丝电子枪的一侧。物镜设置在样品台和电压管之间。第一电压管和阴极之间形成较大的电场，克服空间电荷效应对束流亮度的限制，进而提升扫描电子显微镜的分辨率。但该扫描电子显微镜中的极靴与样品台的空间极为狭小，所以非常容易操作过度，调整过快使得实验样品触碰到极靴，造成极靴的损坏。
技术实现思路
1、本技术克服了现有技术的不足，提供一种扫描电子显微镜结构。
2、为达到上述目的，本技术采用的技术方案为：一种扫描电子显微镜结构，包括：显微镜圆筒组件；所述显微镜圆筒组件下方设置有样品室，所述样品室内部设置有真空组件；
3、所述显微镜圆筒组件包括：
4、所述样品室包括：设置在所述样品室内部的样品台，设置在所述样品室内壁的距离传感器和预警器，以及设置在所述样品室底部的二次电子探测器和反射电子探测器；所述显微镜圆筒底部与所述样品室连通，所述极设置在所述样品台的正上方；所述距离传感器和所述预警器通过光纤连接；所述预警器与外置控制器通过光纤连接。本技术一个较佳实施例中：所述二次电子探测器用于检测样品表面产生的二次电子；所述反射电子探测器用于检测由于电子束与样品相互作用而发生的回散射电子和电子背散射。
5、本技术一个较佳实施例中：所述样品室与所述真空组件连通；所述真空组件包括：设置在所述样品室内壁上的真空测量仪表、设置在所述样品室底部的连接口和设置在样品室外部的真空装置，所述连接口与所述真空装置连通。
6、本技术一个较佳实施例中：所述样品室设置有密封推拉门，所述密封推拉门与所述样品台固定连接。
7、本技术一个较佳实施例中：所述样品台台面开设有若干用于插装样品器具的插孔，包括：中心插孔和若干环绕插孔，所述中心插孔位于所述样品台的中心位置，若干所述环绕插孔环绕设置在所述中心插孔的周向，所述中心插孔的直径大于所述环绕插孔的直径。
8、本技术一个较佳实施例中：所述电子枪与所述聚焦透镜、所述扫描线圈和所述物镜同轴心设置。
9、本技术一个较佳实施例中：所述真空组件包括：所述样品台侧面设置有与若干所述插孔对应连通的螺纹孔，样品器具的侧面设置有螺纹槽，通过螺栓连接所述螺纹孔和所述螺纹槽。
10、本技术一个较佳实施例中：所述样品台底部设置有样品台支柱；所述样品台支柱与所述样品台底座滑动连接。
11、本技术一个较佳实施例中：若干所述极靴沿所述显微镜圆筒底部均匀分布；所述极靴远离所述显微镜圆筒的一端向所述显微镜圆筒轴线折弯设置。
12、本技术一个较佳实施例中：所述极靴折弯角度为60°。
13、本技术解决了
技术介绍
中存在的缺陷，本技术具备以下有益效果：
14、(1)本技术在扫描电子显微镜的样品室内部加装有距离传感器，距离传感器用来监测极靴到样品顶部之间的距离，相较于现有技术cn218918782u，通过实时精确测量样品表面和极靴之间的距离，距离传感器可以帮助保持稳定的扫描状态，从而达到提高测量的精度、准确性、图像的质量和稳定性的需求。
15、(2)本技术在扫描电子显微镜的内部加装有距离传感器，距离传感器可以用来测量样品表面的深度信息，包括凹凸、突起和坑洞等结构，相较于现有技术cn218918782u，可以传输数据给外置控制器，进行三维重建，还原样品表面的真实形貌，为进一步的分析提供更多信息。
16、(3)本技术在扫描电子显微镜的样品室内部加装有预警器，预警器用于当极靴与样品顶部之间的距离超过预设的值时，预警器会发出预警并连接控制器中断当前操作，相较于现有技术cn218918782u，可以有效避免极靴与样品接触，造成极靴的损坏。
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1.一种扫描电子显微镜结构，包括：显微镜圆筒组件；其特征在于：所述显微镜圆筒组件下方设置有样品室，所述样品室内部设置有真空组件；
2.根据权利要求1所述的一种扫描电子显微镜结构，其特征在于：所述样品室与所述真空组件连通；所述真空组件包括：设置在所述样品室内壁上的真空测量仪表(17)、设置在所述样品室底部的连接口(16)和设置在样品室外部的真空装置，所述连接口(16)与所述真空装置连通。
3.根据权利要求1所述的一种扫描电子显微镜结构，其特征在于：所述距离传感器(12)和所述预警器(13)对称安装在样品室内壁上。
4.根据权利要求1所述的一种扫描电子显微镜结构，其特征在于：所述样品台(10)台面开设有若干用于插装样品器具的插孔，包括：中心插孔和若干环绕插孔，所述中心插孔位于所述样品台(10)的中心位置，若干所述环绕插孔环绕设置在所述中心插孔的周向，所述中心插孔的直径大于所述环绕插孔的直径。
5.根据权利要求1所述的一种扫描电子显微镜结构，其特征在于：所述电子枪(2)与所述聚焦透镜(3)、所述扫描线圈(4)和所述物镜(5)同轴心设置。<...
【技术特征摘要】
1.一种扫描电子显微镜结构，包括：显微镜圆筒组件；其特征在于：所述显微镜圆筒组件下方设置有样品室，所述样品室内部设置有真空组件；
2.根据权利要求1所述的一种扫描电子显微镜结构，其特征在于：所述样品室与所述真空组件连通；所述真空组件包括：设置在所述样品室内壁上的真空测量仪表(17)、设置在所述样品室底部的连接口(16)和设置在样品室外部的真空装置，所述连接口(16)与所述真空装置连通。
3.根据权利要求1所述的一种扫描电子显微镜结构，其特征在于：所述距离传感器(12)和所述预警器(13)对称安装在样品室内壁上。
4.根据权利要求1所述的一种扫描电子显微镜结构，其特征在于：所述样品台(10)台面开设有若干用于插装样品器具的插孔，包括：中心插孔和若干环绕插孔，所述中心插孔位于所述样品台(10)的中心位置，若干所述环绕插孔环绕设置在所述中心插孔的周向，所述中心插孔的直径大于所述环绕插孔的直径。
5.根据权利要求1所述的一种扫描电子显微镜结构，其特征在于：所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：王瑞华，王均，庞帅，
申请(专利权)人：南京默思泰智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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