晶圆混合液循环过滤管路增添流路及取样管段的改进结构制造技术

一种晶圆混合液循环过滤管路增添流路及取样管段的改进结构，由数只气压单向阀及数只气压三向阀管接一成液混成槽、一抽送泵、一组过滤器、数只成液供应筒、一质量计、一酸碱值测试计、一导电度计，及一收集槽而成，成液混出槽出口连接抽送泵后，接管分成四路，由此比常见管路增添过滤流路及改善取样管段，达到多方避免回送污染。

【技术实现步骤摘要】

一种晶圆混合液循环过滤管路增添流路及取样管段的改进结构，特别是一种比常见晶圆混合液循环过滤结构，有更多管路途能过滤完后供应，减少过滤完后，需回成液混出槽再供应，会夹杂成液混出槽内部未过滤完颗粒，产生更大颗粒残留的风险，且改善取样管段避免回送污染的新颖管路结构技术。

技术介绍

1、倚靠二种或二种以上原料入液，混合搅拌反应出特殊溶液，一直到送出供应此溶液的整个生产线，例如供应晶圆研磨机的多项原液配比混合入成液混出槽，成液往晶圆研磨机供应的量产措施，皆仰赖高度自动化管路输送，然而成液混出槽混出成液搅拌混出完成时间、成液在途供应输送时间，跟晶圆研磨机入液研磨完成所费时间，这些前后制程原本应成有一贯稳常地定时承续性，但往往再怎样精准地按时计量安排，还是会有时间差。

2、例如成液混成槽已混合完成完下回成液量，但晶圆研磨机还在研磨上加工过程中打转，无法再接收下回成液马上再加工的情形，因此在原液送入晶圆研磨机的输送管路中，就必然要多设旁路、循环回路及加装暂蓄成液留待补用的成液供应筒，而成液混出槽混出的成液本就应过滤筛除过粗的液内颗粒，以保障成溶液内的粒子质量，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆混合液循环过滤管路增添流路及取样管段的改进结构，与由气压单向阀进行管路连接不同，其特征在于︰

2.如权利要求1所述的晶圆混合液循环过滤管路增添流路及取样管段的改进结构，其特征在于，其中该组过滤器为至少两筒过滤单元接管并联的组合体。

3.如权利要求1所述的晶圆混合液循环过滤管路增添流路及取样管段的改进结构，其特征在于，其中第三路于第一路未至该组过滤器的首只气压单向阀之前，经旁叉气压单向阀流过质量计，于经旁叉气压单向阀流入质量计之前，形成三叉口，此三叉口通往旁叉气压单向阀的另两口端，一口端串接一常开的气压单向阀至质量计，另一口端串接一常闭的气压单向阀并送入...

【技术特征摘要】

1.一种晶圆混合液循环过滤管路增添流路及取样管段的改进结构，与由气压单向阀进行管路连接不同，其特征在于︰

2.如权利要求1所述的晶圆混合液循环过滤管路增添流路及取样管段的改进结构，其特征在于，其中该组过滤器为至少两筒过滤单元接管并联的组合体。

3.如权利要求1所述的晶圆混合液循环过滤管路增添流路及取样管段的改进结构，其特征在于，其中第三路于第一路未至...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴濬宇，曾义能，
申请(专利权)人：宸沅国际股份有限公司，
类型：新型
国别省市：