【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种下进原液定量输料管路的增效自洗结构，特别是将清洗水到收集槽的各管末段分开，改靠往纯水源叉分点前端叉出，输送干管增设一只三向气动控制阀，以切换选择控制原液或纯水从一侧流入定量密闭式下方进料筒，以及同侧洗后水逆排到收集槽，或者切换另一侧开通定量密闭式下方进料筒出料，由此达到更加减少内部残液留存的新颖管路自净结构。
技术介绍
1、对于原物料供应的产业量化生产上，例如供应晶圆研磨液混成前的原液取用，率皆仰赖高度自动控制配给及监控的整套生产管路，而每批生产对原液的取用，也必须保持预设该批次耗用原料的定值剂量才能保障生产出的混成液成份精确，确实达到所预期的质量效果，换句话说，整套生产管路对原液的取用，常要求同一准确定量，也就如图1所示，有定量密闭式下方进料筒1的产生，定量密闭式下方进料筒1底开孔1a接管，筒顶开孔1b接管，且筒内严制成预定密闭空腔容积1c，请同时参照图2，配用于下进式定量原液输料管路2，产生从原液筒5定取量，再向成液混成槽8定量输出原液6，输出原液6后，还具有从纯水源3导水涌灌到各管内及定量密闭式下方进料筒1内空腔，自洗净管后排干的效果。
2、如图2，常见下进式定量原液输料管路2从所置定量密闭式下方进料筒1底开孔1a连接输送干管2a，筒顶开孔1b串经气动控制阀2d分隔切换氮气兼洗水溢排管路2b，或换接回流管2c送回原液筒5，输送干管2a外分成三路，第一路串接气动控制阀2e到抽送泵4，再由抽送泵4接管泵取原液筒5内的原液6，第二路串接气动控制阀2f到成液混成槽8，第三路串接气动控制阀2g到收集槽9，在
3、整个生产送料过程，首先通电开通原液筒5管接往定量密闭式下方进料筒1的气动控制阀2e，接着启动抽送泵4，将原液6下进入孔1a喷送入定量密闭式下方进料筒1，再如图3所示，当原液6一填满定量密闭式下方进料筒1，就会开启气动控制阀2d使过量向上溢出的原液6流回原液筒5，形成循环流动供应后，接着如图4所示，关闭抽送泵4停止原液供应，紧接着如图5打开流往成液混成槽8的气动控制阀2f，使定量密闭式下方进料筒1内原液6注入成液混成槽8，随后如图6关闭通往成液混成槽9的气动控制阀2f，改开通纯水源3向定量密闭式下方进料筒1注入纯水冲洗，水一注满定量密闭式下方进料筒1，就控制开通气动控制阀2d，2j使从定量密闭式下方进料筒1溢满出的水，往收集槽9流排冲掉管内及定量密闭式下方进料筒1内的残液，当纯水供应完后，如图7所示，改由开通气动控制阀2d,2j,2g使氮气自上流入定量密闭式下方进料筒1下挤筒内水，往下排到收集槽9，倒逆冲出筒内下端输送干管2a等管件积留的原液残量，最后恢复到先前准备入原液供应状态，除了定量密闭式下方进料筒1顶连接的气动控制阀2d为三向阀外，其余气动控制阀2e,2f,2g,2h,2i,2j皆为双向阀，结构因从自洗前阶段到末阶段，从纯水源3入水经第一路过第二路前端入出定量密闭式下方进料筒1到第三路排到收集槽9，使管程有所增加，导致内部管路残留些许药液，降低自洗洁净效能，如此也会对后批原液6供应造成污染，降低质量。
技术实现思路
1、鉴于常见结构有上述种种缺点，本申请人经过多次地实验探讨，终于有本技术产生。
2、因此，本技术即提供一种下进原液定量输料管路的增效自洗结构，由数只气动控制阀管接原液筒、定量密闭式下方进料筒、抽送泵、成液混成槽、收集槽及纯水源而成，定量密闭式下方进料筒的底部开孔处连接输送干管，筒的顶部开孔处通过三向的气动控制阀分隔切换氮气兼洗水溢排管路，或者接回流管送回原液筒，筒内严制成预定密闭空腔容积，输送干管外分成三路，第一路串接气动控制阀到抽送泵，再由抽送泵接管泵取原液筒内的原液，第二路串接气动控制阀到成液混成槽，第三路串接气动控制阀到收集槽，在第一路串接气动控制阀之前，再叉接气动控制阀到纯水源，且氮气兼洗水溢排管路叉分两端，一端串接气动控制阀到收集槽，另一端串接气动控制阀到收集槽，有别于以往将第三路到收集槽，氮气兼洗水溢排管路到收集槽的末管段相重合，除了定量密闭式下方进料筒的顶部连接的气动控制阀为三向阀外，其余气动控制阀皆为双向阀，特别将第三路到收集槽及氮气兼洗水溢排管路到收集槽的末管段分开，第三路改靠通往纯水源叉分点前端叉出，又将输送干管向外分成三路前端加设为一只三向的气动控制阀，以切换选择控制原液或纯水从一侧流入定量密闭式下方进料筒，以及同侧洗后水逆排到收集槽，或者切换另一侧开通定量密闭式下方进料筒出料，由此减少内部残液留存，增进自洗洁净效能，且同时保持下进料稳定，不易混入空气生成气泡，且不因表面张力不同，而影响些微比例的优点，此为本技术的目的。
3、关于本技术的详细构造﹑应用原理﹑作用与功效，则参照附图所作的说明即可得到完全的了解。
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1.一种下进原液定量输料管路的增效自洗结构，由数只气动控制阀管接原液筒、定量密闭式下方进料筒、抽送泵、成液混成槽、收集槽及纯水源而成，所述定量密闭式下方进料筒的底部开孔处连接输送干管，筒的顶部开孔处串接气动控制阀并通过其分隔切换氮气兼洗水溢排管路，或者接回流管送回原液筒，输送干管外分成三路，第一路串接气动控制阀到抽送泵，再由抽送泵接管泵取原液筒内的原液，第二路串接气动控制阀到成液混成槽，第三路串接气动控制阀到收集槽，在第一路串接气动控制阀之前，再叉接气动控制阀到纯水源，氮气兼洗水溢排管路叉分两端，一端串接气动控制阀引入氮气，另一端串接气动控制阀到收集槽，有别于以往将第三路到收集槽，氮气兼洗水溢排管路到收集槽的末管段相重合，除了定量密闭式下方进料筒的顶部连接的气动控制阀为三向阀外，其余气动控制阀皆为双向阀，其特征在于，将第三路到收集槽及氮气兼洗水溢排管路到收集槽的末管段分开，第三路改靠通往纯水源叉分点前端叉出，又将输送干管向外分成三路的前端改设为一只三向的气动控制阀，以切换选择控制原液或纯水从一侧流入定量密闭式下方进料筒，以及同侧洗后水逆排到收集槽，或者切换另一侧开通定量密闭式下方
...【技术特征摘要】
1.一种下进原液定量输料管路的增效自洗结构，由数只气动控制阀管接原液筒、定量密闭式下方进料筒、抽送泵、成液混成槽、收集槽及纯水源而成，所述定量密闭式下方进料筒的底部开孔处连接输送干管，筒的顶部开孔处串接气动控制阀并通过其分隔切换氮气兼洗水溢排管路，或者接回流管送回原液筒，输送干管外分成三路，第一路串接气动控制阀到抽送泵，再由抽送泵接管泵取原液筒内的原液，第二路串接气动控制阀到成液混成槽，第三路串接气动控制阀到收集槽，在第一路串接气动控制阀之前，再叉接气动控制阀到纯水源，氮气兼洗水溢排管路叉分两端，一端串接气动控制阀引入氮...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴濬宇，曾义能，
申请(专利权)人：宸沅国际股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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