下载一种检测不规则截面的扫描电子显微镜载物台的技术资料

文档序号:40190645

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本技术公开了一种检测不规则截面的扫描电子显微镜载物台,在转盘固定好样品后,利用电机对样品进行转动,使得样品横截面与电子束光源垂直,使得能够适配不同的样品截面,提高了载物台的适配性。气缸、支杆与底板的设置让转动机构能够适配不同规格的样品,并对...
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