透明导电薄膜及制备方法技术

本发明专利技术提供一种采用易于工业化生产的热喷雾法制备透明导电薄膜，克服了用其他方法带来的不易操作或不能产量化等困难。本发明专利技术首先将微晶玻璃板用去离子水和酒精进行清洗，再配制喷涂液，将配制好的喷涂液用喷枪喷涂到加热的微晶玻璃板上，喷涂时以压缩的空气为气体载体，把喷涂后的微晶玻璃板放入隧道炉，然后进入到保温区，随炉冷却到室温，得到成品。本发明专利技术的透明导电薄膜是在主体材料氧化锡中加入锑、钡元素作为掺杂剂，以盐酸作为辅助剂，酒精为溶剂，该薄膜成膜牢固，具有良好的导电性、透光性、稳定性、可干烧、耐腐蚀。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种低电阻、高透射率的锑掺杂氧化锡(ATO)透明导电薄膜及其制造 方法，具体的说，特别是涉及一种利用热喷雾法在微晶玻璃板上制备加热用的ATO透明导 电薄膜。
技术介绍
透明导电的SnO2材料很早就为人们所认识，但对SnO2及其应用的广泛研究则是从 70年代中期才开始。最近几年，掺杂的SnO2薄膜用作电热转换材料已引起了人们极大的兴 趣。SnO2薄膜一方面具有高的透射率和电导率；另一方面又具有价格便宜、具有导电性好、 硬度高、化学稳定性、抗腐蚀性和粘附性好等特点，用它作为电热转换材料比起传统的电热 元件，具有电热转换效率高、成本低、安全性好、使用寿命长、外形可选择性强、且产品小型 化、轻量化、薄型化等优点，展示着光明的应用前景。在玻璃镀膜工业上，氧化锡薄膜可以通过以下不同的方法沉积于玻璃的表面上， 如热解沉积、粉末沉积、化学蒸气沉积和阴极溅射等。日本公开特许公报昭63-112441公开 了一种透明热反射板的产品，其膜层结构为玻璃+氧化锡+钦+氧化锡，为三层膜系产品， 使玻璃的反射色为青色。联邦德国DE3413587公开了一种“磁控反应溅射进行热反射镀膜 玻璃的氧化锡干涉本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种透明导电薄膜的制备方法，其特征在于用热喷雾法获得所述的透明导电薄膜，包括如下步骤：①、首先将微晶玻璃板用去离子水和酒精进行清洗，将清洗过的微晶玻璃板放入升温炉里，加热到４００℃～８００℃，烘干待用；②、配制喷涂液，喷涂液的材料的质量百分比如下：氧化锡前体２５％～４０％锑前体０．５％～１．２％钡前体０．６％～１．６％ＨＣｌ１５％～２５％酒精４０％～６０％，用盐酸溶解氧化锡前体，用酒精分别溶解锑前体和钡前体，用磁力搅拌器搅拌均匀，把三种溶液混合、搅拌，得到均匀的喷涂液；③、将上述配制好的喷涂液用喷枪喷涂到加热的微晶玻璃板上，在炉膛末端，玻璃温度在４００℃～７００℃，在此温度下喷涂，炉膛末端设置...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：邓泰均，李鹏，吴胜红，
申请(专利权)人：泰阳电子东莞有限公司，
类型：发明
国别省市：44[中国|广东]