【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光子芯片(photonics chip)，尤其涉及用于波导交叉(waveguidecrossing)的结构以及制造用于波导交叉的结构的方法。
技术介绍
1、光子芯片用于许多应用及系统中，包括但不限于数据通信系统及数据计算系统。光子芯片将光学组件与电子组件集成于统一的平台中。除其它因素以外，布局面积、成本以及操作开销可通过在同一芯片上集成两种类型的组件来减小。
2、波导交叉是光子芯片中所使用的构建块，以提供光传播路径。波导芯(waveguidecore)可被布置于光子芯片的多个层级(level)中。例如，可通过图案化材料层在下方层级中形成波导芯，并可通过图案化另一个材料层在上方层级中形成波导芯。在该光子芯片的布局中，位于该上方层级中的该波导芯可布设于该下方层级中的该波导芯上方并穿过它。由于在该不同层级中的该波导芯的紧密局部靠近所引起的强光散射，此类波导交叉可导致显著的插入损耗(insertion loss)及高串扰(cross-talk)。
3、需要改进的用于波导交叉的结构以及制造用于波导交叉的结构的方法。
技术实现思路
1、在本专利技术的一个实施例中，提供一种用于波导交叉的结构。该结构包括第一波导芯，该第一波导芯包括第一段(section)、第二段、以及将该第一段与该第二段连接的第一波导弯曲(waveguide bend)。该第二段终止该第一波导芯，且该第一波导芯具有围绕该第一波导弯曲延伸的第一侧表面。该结构还包括第二波导芯，该第二波导芯包括第一段
2、在本专利技术的一个实施例中，提供一种用于波导交叉的结构。该结构包括：包括第一波导弯曲的第一波导芯以及包括第二波导弯曲的第二波导芯。该第一波导芯具有围绕该第一波导弯曲延伸的第一侧表面，该第二波导芯具有围绕该第二波导弯曲延伸的第二侧表面，且该第二波导弯曲与该第一波导弯曲通过该第二侧表面与该第一侧表面之间的间隙隔开。该结构还包括：第三波导芯，包括终止该第三波导芯的段；以及第四波导芯，包括终止该第四波导芯的段。该第三波导芯的该段与该第一波导芯的该第一波导弯曲具有第一重叠布置，且该第四波导芯的该段与该第二波导芯的该第一波导弯曲具有第二重叠布置。
3、在本专利技术的一个实施例中，提供一种形成用于波导交叉的结构的方法。该方法包括形成第一波导芯，该第一波导芯包括第一段、第二段、以及将该第一段与该第二段连接的第一波导弯曲。该第二段终止该第一波导芯，且该第一波导芯具有围绕该第一波导弯曲延伸的第一侧表面。该方法还包括形成第二波导芯，该第二波导芯包括第一段、第二段、以及将该第一段与该第二段连接的第二波导弯曲。该第二段终止该第二波导芯，该第二波导芯具有围绕该第二波导弯曲延伸的第二侧表面，且该第二波导弯曲与该第一波导弯曲通过该第二侧表面与该第一侧表面之间的间隙隔开。该方法还包括：形成第三波导芯，该第三波导芯包括终止该第三波导芯的段；以及形成第四波导芯，该第四波导芯包括终止该第四波导芯的段。该第三波导芯的该段与该第一波导芯的该第二段具有第一重叠布置，且该第四波导芯的该段与该第二波导芯的该第二段具有第二重叠布置。
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1.一种用于波导交叉的结构，其特征在于，该结构包括：
2.如权利要求1所述的结构，其特征在于，该第一波导弯曲包括以第一弯曲弧布置的多个第一片段。
3.如权利要求2所述的结构，其特征在于，该第二波导弯曲包括以第二弯曲弧布置的多个第二片段。
4.如权利要求3所述的结构，其特征在于，该多个第一片段与该多个第二片段通过间隙隔开，且该间隙由介电材料填充。
5.如权利要求3所述的结构，其特征在于，该多个第一片段包括第一亚波长光栅，且该多个第二片段包括第二亚波长光栅。
6.如权利要求1所述的结构，其特征在于，该波导交叉是包括于波导交叉阵列中的元件。
7.如权利要求1所述的结构，其特征在于，该第一波导芯的该第一段沿第一纵轴排列，该第二波导芯的该第一段沿第二纵轴排列，且该第一纵轴与该第二纵轴线基本共线。
8.如权利要求7所述的结构，其特征在于，该第三波导芯的该段沿第三纵轴排列，该第四波导芯的该段沿第四纵轴排列，且该第三纵轴与该第四纵轴线基本共线。
9.如权利要求8所述的结构，其特征在于，该第一纵轴相对于
10.如权利要求8所述的结构，其特征在于，该第一纵轴与该第三纵轴横向对齐，且该第二纵轴与该第四纵轴横向对齐。
11.如权利要求1所述的结构，其特征在于，该第一波导芯的该第一波导弯曲包括第一弯曲段、第二弯曲段、以及将该第一弯曲段与该第二弯曲段连接的第一非弯曲段，且该第二波导芯的该第一波导弯曲包括第一弯曲段、第二弯曲段、以及将该第一弯曲段与该第二弯曲段连接的第二非弯曲段。
12.如权利要求11所述的结构，其特征在于，该第一非弯曲段及该第二非弯曲段为基本平直的，且该第一非弯曲段与该第二非弯曲段通过该间隙隔开。
13.如权利要求1所述的结构，其特征在于，该间隙由介电材料填充。
14.如权利要求1所述的结构，其特征在于，该第一波导芯及该第二波导芯包括第一材料，且该第三波导芯及该第四波导芯包括不同于该第一材料的第二材料。
15.如权利要求1所述的结构，其特征在于，还包括：
16.如权利要求1所述的结构，其特征在于，还包括：
17.一种用于波导交叉的结构，其特征在于，该结构包括：
18.如权利要求17所述的结构，其特征在于，还包括：
19.如权利要求17所述的结构，其特征在于，还包括：
20.一种形成用于波导交叉的结构的方法，其特征在于，该方法包括：
...【技术特征摘要】
1.一种用于波导交叉的结构，其特征在于，该结构包括：
2.如权利要求1所述的结构，其特征在于，该第一波导弯曲包括以第一弯曲弧布置的多个第一片段。
3.如权利要求2所述的结构，其特征在于，该第二波导弯曲包括以第二弯曲弧布置的多个第二片段。
4.如权利要求3所述的结构，其特征在于，该多个第一片段与该多个第二片段通过间隙隔开，且该间隙由介电材料填充。
5.如权利要求3所述的结构，其特征在于，该多个第一片段包括第一亚波长光栅，且该多个第二片段包括第二亚波长光栅。
6.如权利要求1所述的结构，其特征在于，该波导交叉是包括于波导交叉阵列中的元件。
7.如权利要求1所述的结构，其特征在于，该第一波导芯的该第一段沿第一纵轴排列，该第二波导芯的该第一段沿第二纵轴排列，且该第一纵轴与该第二纵轴线基本共线。
8.如权利要求7所述的结构，其特征在于，该第三波导芯的该段沿第三纵轴排列，该第四波导芯的该段沿第四纵轴排列，且该第三纵轴与该第四纵轴线基本共线。
9.如权利要求8所述的结构，其特征在于，该第一纵轴相对于该第三纵轴成第一角度，且该第二纵轴相对于该第四纵轴成第二角度。
10.如权利要求8所述的结构，其特征在于，该第一纵轴...
【专利技术属性】
技术研发人员：卞宇生，
申请(专利权)人：格芯美国集成电路科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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