【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光刻制程领域，特别是涉及一种坡度角检测方法、装置、设备及介质。
技术介绍
1、光刻制程是一个图形转移的过程，曝光光源经过掩膜板(mask)、透镜，将掩膜板图形成像于晶圆或者玻璃基板上，经过显影后，利用光刻胶形成想要的光刻图案。形成图案的光刻胶宽度被称作cd（critical dimension，关键尺寸），同时图案在光刻胶的截面方向也会形成坡度角，而光刻胶截面方向上的坡度角大小，是重要的光刻质量的判断标准。
2、目前的晶圆检测中，如果想要对各个曝光图形的曝光后的光刻坡度角进行测量的话，通常需要每次都做切片，然后再在剖面图上做坡度角测量。这种切片的方法，具有破坏性以及低效率等缺点，无法对晶圆上或玻璃基板上的图形做大量的量测和工艺判定。
3、因此，如何提供一种非破坏性的高效坡度角检测方法，是本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种坡度角检测方法、装置、设备及介质，以便非破坏性地高效检测坡度角。
2、为解决上述技术问题，本专利技术提供一种坡度角检测方法，包括：
3、获取待测图案的量测灰度图及所述量测灰度图上量测路径的关键尺寸数据；
4、根据所述量测灰度图获取所述量测路径对应的路径灰度信息；
5、将所述路径灰度信息进行归一化处理，得到标准灰度信息；
6、根据所述量测路径及所述标准灰度信息，确定路径灰度曲线图；
7、根据所述路径灰度曲线图及所述关键
8、确定当灰度值为所述边缘灰度阈值时，所述路径灰度曲线图上的点，作为判据点；
9、计算所述路径灰度曲线图在所述判据点处的目标斜率；
10、根据所述目标斜率，利用预存储的坡度角-斜率对应关系，得到所述待测图案的坡度角。
11、可选地，在所述的坡度角检测方法中，所述坡度角-斜率对应关系的获得方法包括：
12、对多个坡度角不同的样品进行扫描，得到对应的样品灰度图及所述样品灰度图上样品路径的样品关键尺寸数据；
13、根据所述样品灰度图获取所述样品路径对应的样品路径灰度信息；
14、将所述样品路径灰度信息进行归一化处理，得到样品标准灰度信息；
15、根据所述样品路径及所述样品标准灰度信息，确定样品灰度曲线图；
16、根据所述样品灰度曲线图及对应的样品关键尺寸数据，确定样品灰度阈值；
17、确定当灰度值为所述样品灰度阈值时，所述样品灰度曲线图上的点，作为采样点；
18、计算所述样品灰度曲线图在所述采样点处的样品斜率；
19、将各个所述样品在所述样品路径对应的位置做切片，并做截面扫描图，确定各个所述样品的截面的样品坡度角；
20、根据各个所述样品的样品坡度角及对应的样品斜率，确定所述坡度角-斜率对应关系。
21、可选地，在所述的坡度角检测方法中，根据各个所述样品的样品坡度角及对应的样品斜率，确定所述坡度角-斜率对应关系包括：
22、根据各个所述样品的样品坡度角及对应的样品斜率，进行线性拟合、二次拟合及多项式拟合中的至少一种，得到所述坡度角-斜率对应关系。
23、可选地，在所述的坡度角检测方法中，多个坡度角不同的样品的获得方法包括：
24、光刻刻蚀多个下线宽不同的线段图案作为多个坡度角不同的样品。
25、可选地，在所述的坡度角检测方法中，多个坡度角不同的样品的获得方法包括：
26、光刻刻蚀多个间距不同的线段图案作为多个坡度角不同的样品。
27、可选地，在所述的坡度角检测方法中，所述获取待测图案的量测灰度图及所述量测灰度图上量测路径的关键尺寸数据包括：
28、通过关键尺寸扫描电子显微镜获取待测图案的量测灰度图及所述量测灰度图上量测路径的关键尺寸数据。
29、一种坡度角检测装置，包括：
30、获取模块，用于获取待测图案的量测灰度图及所述量测灰度图上量测路径的关键尺寸数据；
31、路径灰度模块，用于根据所述量测灰度图获取所述量测路径对应的路径灰度信息；
32、归一化模块，用于将所述路径灰度信息进行归一化处理，得到标准灰度信息；
33、曲线模块，用于根据所述量测路径及所述标准灰度信息，确定路径灰度曲线图；
34、阈值模块，用于根据所述路径灰度曲线图及所述关键尺寸数据，确定边缘灰度阈值；
35、判据点模块，用于确定当灰度值为所述边缘灰度阈值时，所述路径灰度曲线图上的点，作为判据点；
36、斜率模块，用于计算所述路径灰度曲线图在所述判据点处的目标斜率；
37、坡度角模块，用于根据所述目标斜率，利用预存储的坡度角-斜率对应关系，得到所述待测图案的坡度角。
38、可选地，在所述的坡度角检测装置中，还包括：
39、扫描单元，用于对多个坡度角不同的样品进行扫描，得到对应的样品灰度图及所述样品灰度图上样品路径的样品关键尺寸数据；
40、样品路径灰度单元，用于根据所述样品灰度图获取所述样品路径对应的样品路径灰度信息；
41、样品归一化单元，用于将所述样品路径灰度信息进行归一化处理，得到样品标准灰度信息；
42、样品曲线单元，用于根据所述样品路径及所述样品标准灰度信息，确定样品灰度曲线图；
43、样品阈值单元，用于根据所述样品灰度曲线图及对应的样品关键尺寸数据，确定样品灰度阈值；
44、采样单元，用于确定当灰度值为所述样品灰度阈值时，所述样品灰度曲线图上的点，作为采样点；
45、样品斜率单元，用于计算所述样品灰度曲线图在所述采样点处的样品斜率；
46、样品坡度角单元，用于将各个所述样品在所述样品路径对应的位置做切片，并做截面扫描图，确定各个所述样品的截面的样品坡度角；
47、对应关系单元，用于根据各个所述样品的样品坡度角及对应的样品斜率，确定所述坡度角-斜率对应关系。
48、一种坡度角检测设备，包括：
49、存储器，用于存储计算机程序；
50、处理器，用于执行所述计算机程序时实现如上述任一种所述的坡度角检测方法的步骤。
51、一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述的坡度角检测方法的步骤。
52、本专利技术所提供的坡度角检测方法，通过获取待测图案的量测灰度图及所述量测灰度图上量测路径的关键尺寸数据；根据所述量测灰度图获取所述量测路径对应的路径灰度信息；将所述路径灰度信息进行归一化处理，得到标准灰度信息；根据所述量测路径及所述标准灰度信息，确定路径灰度曲线图；根据所述路径灰度曲线图及所述关键尺寸数据，确定边缘灰度阈值；确定当灰度值为所述边缘灰度阈值时，所述路径本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种坡度角检测方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的坡度角检测方法，其特征在于，所述坡度角-斜率对应关系的获得方法包括：
3.如权利要求2所述的坡度角检测方法，其特征在于，根据各个所述样品的样品坡度角及对应的样品斜率，确定所述坡度角-斜率对应关系包括：
4.如权利要求2所述的坡度角检测方法，其特征在于，多个坡度角不同的样品的获得方法包括：
5.如权利要求2所述的坡度角检测方法，其特征在于，多个坡度角不同的样品的获得方法包括：
6.如权利要求1所述的坡度角检测方法，其特征在于，所述获取待测图案的量测灰度图及所述量测灰度图上量测路径的关键尺寸数据包括：
7.一种坡度角检测装置，其特征在于，包括：
8.如权利要求7所述的坡度角检测装置，其特征在于，还包括：
9.一种坡度角检测设备，其特征在于，包括：
10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1至6任一项所述的坡度角检测方法的步骤。<...
【技术特征摘要】
1.一种坡度角检测方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的坡度角检测方法，其特征在于，所述坡度角-斜率对应关系的获得方法包括：
3.如权利要求2所述的坡度角检测方法，其特征在于，根据各个所述样品的样品坡度角及对应的样品斜率，确定所述坡度角-斜率对应关系包括：
4.如权利要求2所述的坡度角检测方法，其特征在于，多个坡度角不同的样品的获得方法包括：
5.如权利要求2所述的坡度角检测方法，其特征在于，多个坡度角不同的样品的获得方法包括：
【专利技术属性】
技术研发人员：朱钰，
申请(专利权)人：华芯程杭州科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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