【技术实现步骤摘要】
本文的描述涉及光刻方法和设备，并且更具体地涉及使用沿引导轮廓的评估特征进行图案化以优化图案化装置图案的方法以及应用该方法的系统。
技术介绍
1、可以将光刻设备用在例如集成电路(ic)的制造中。在这种情况下，图案化装置(例如掩模)可以包含或提供与ic的各个层相对应的器件图案(“设计布局”)，并且通过诸如穿过图案化装置上的图案照射衬底上(例如硅晶片)上的目标部分(例如包括一个或多个裸片)的方法，可以将该器件图案转移到该目标部分上，该衬底已经被涂覆有辐射敏感材料(“抗蚀剂”)层。通常，单个衬底包含被光刻设备连续地、一次一个目标部分地将图案转移到其上的多个相邻目标部分。在一种类型的光刻设备中，整个图案化装置的图案被一次转移到一个目标部分上；这样的设备通常被称为步进器。在备选的设备(通常称为步进扫描设备)中，投影光束沿给定的参考方向(“扫描”方向)在图案化装置之上扫描，同时沿与所述参考方向平行或反向平行的方向同步移动衬底。图案化装置的图案的不同部分被逐渐地转移到一个目标部分。因为通常光刻设备将具有放大系数m(通常<1)，所以衬底被移动的速度...
【技术保护点】
1.一种计算机程序产品，包括其上记录有指令的计算机非暂时性可读介质，所述指令在由计算机系统执行时使得所述计算机系统至少执行如下项：
2.根据权利要求1所述的方法，还包括跨在所述已连接的多边形中的至少一些多边形生成引导轮廓，并且所述评估特征中的至少一些评估特征位于所述引导轮廓上。
3.根据权利要求2所述的方法，还包括：对照所述引导轮廓来评估中间图案化装置图案，并基于对照所述引导轮廓的所述评估来调节创建所述图案化装置图案的参数。
4.根据权利要求1所述的方法，其中，基于包括边缘放置误差和图案放置误差的成本函数来创建所述图案化装置图案的图...
【技术特征摘要】
1.一种计算机程序产品，包括其上记录有指令的计算机非暂时性可读介质，所述指令在由计算机系统执行时使得所述计算机系统至少执行如下项：
2.根据权利要求1所述的方法，还包括跨在所述已连接的多边形中的至少一些多边形生成引导轮廓，并且所述评估特征中的至少一些评估特征位于所述引导轮廓上。
3.根据权利要求2所述的方法，还包括：对照所述引导轮廓来评估中间图案化装置图案，并基于对照所述引导轮廓的所述评估来调节创建所述图案化装置图案的参数。
4.根据权利要求1所述的方法，其中，基于包括边缘放置误差和图案放置误差的成本函数来创建所述图案化装置图案的图案化装置图案轮廓。
5.根据权利要求1所述的方法...
【专利技术属性】
技术研发人员：DF·S·徐，李小阳，
申请(专利权)人：ASML荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：
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