【技术实现步骤摘要】
本技术涉及尾气处理，具体涉及一种基于气相沉积法的尾气处理装置。
技术介绍
1、在航空航天，半导体等诸多领域，均有采用化学气相沉积技术。化学气相沉积是利用气态或蒸汽态的物质在气相或气固界面上反应生成固态沉积物的技术，一般包括：1)形成气态或蒸汽态的物质；2)把上述物质转移至沉积区域；3)在固体上产生化学反应并产生固态物质。在沉积过程中，会伴随着尾气的产生，尾气中含有有毒有害气体，如果直接排放则可通过呼吸进入人体，危害生产工人及周边居民的健康；尾气中还可能会含有未消耗的易燃易爆气体，如果不经处理直接外排容易产生火灾和爆炸等安全生产事故。因此，如何采用合适、安全的方法对沉积过程中产生的尾气进行处理，是非常有意义和必要的。
2、目前常见有水洗尾气法和干式处理法。具体的：
3、1)水洗尾气法是将尾气通过某些溶液，尾气在溶液中经过吸收，再将通过溶液后的尾气收集起来排入大气。这种方式，气体与溶液可以较大程度的充分反应并被吸收，但是溶液配制较为繁琐且根据尾气的不同，更换溶液和废液处理也较为繁琐。
4、2)干式处理法是将尾气通过一个过滤气体的装置，其中放有吸附气体的材料。这种方式是目前较为常见的尾气处理方式，但是经由这种处理直接出来的气体，一般有效吸附路程较短，不能得到有效的吸附效果。
5、有鉴于此，确有必要提供一种解决上述问题的技术方案。
技术实现思路
1、本技术的目的之一在于：针对现有技术的不足，提供一种基于气相沉积法的尾气处理装置，以解决目前尾气
2、为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：
3、一种基于气相沉积法的尾气处理装置，包括至少一个处理腔体，所述处理腔体内安装有呈迷宫排布的若干挡板以使得尾气沿迷宫的出口路径方向进行移动，若干所述挡板表面铺设有吸附材料。
4、优选的，若干所述挡板沿竖轴方向相间叠设。
5、优选的，若干所述挡板沿竖轴方向呈回廊式排布。
6、优选的，相邻挡板之间的间隙沿迷宫出口路径方向依次增大。
7、优选的，吸附材料满充于所述处理腔体内。
8、优选的，所述处理腔体开设进气口和出气口，其中迷宫的入口为所述进气口，迷宫的出口为所述出气口。
9、优选的，所述进气口设于所述处理腔体的底部，所述出气口设于所述处理腔体的顶部；所述进气口和所述出气口均装设可拆卸式阀门。
10、优选的，包括至少两个所述处理腔体；所述处理腔体的顶部设置卡头或卡槽，所述处理腔体的底部设置卡槽或卡头；相邻所述处理腔体之间通过卡头和卡槽的扣合进行连接，且位于下部的处理腔体的出气口与位于上部的处理腔体的进气口连通，或位于下部的处理腔体的进气口与位于上部的处理腔体的出气口连通。
11、优选的，所述处理腔体的顶部设置卡槽，所述处理腔体的底部设置卡头，位于下部的处理腔体的卡槽与位于上部的处理腔体的卡头通过扣合连接，且位于下部的处理腔体的出气口与位于上部的处理腔体的进气口连通。
12、优选的，所述处理腔体沿竖轴方向装设密封条用于沿竖轴方向打开所述处理腔体，且所述处理腔体的外围装设卡箍用以卡紧所述处理腔体。
13、本技术的有益效果在于：本技术提供的尾气处理装置，在处理腔体内安装呈迷宫排布的挡板，且将吸附材料铺设于挡板表面，可使得尾气沿迷宫的出口路径方向进行移动，同时在移动过程中被吸附净化，相比于常规直接放置吸附材料的方法，由于本处理装置延长了尾气的有效吸附路程，保证了尾气与吸附材料的接触时长，从而达到了有效净化尾气的目的。
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1.一种基于气相沉积法的尾气处理装置，其特征在于，包括至少两个处理腔体，所述处理腔体内安装有呈迷宫排布的若干挡板以使得尾气沿迷宫的出口路径方向进行移动，若干所述挡板表面铺设有吸附材料；
2.根据权利要求1所述的基于气相沉积法的尾气处理装置，其特征在于，若干所述挡板沿竖轴方向相间叠设。
3.根据权利要求2所述的基于气相沉积法的尾气处理装置，其特征在于，若干所述挡板沿竖轴方向呈回廊式排布。
4.根据权利要求2或3所述的基于气相沉积法的尾气处理装置，其特征在于，相邻挡板之间的间隙沿迷宫出口路径方向依次增大。
5.根据权利要求1~3任一项所述的基于气相沉积法的尾气处理装置，其特征在于，吸附材料满充于所述处理腔体内。
6.根据权利要求1所述的基于气相沉积法的尾气处理装置，其特征在于， 所述进气口设于所述处理腔体的底部，所述出气口设于所述处理腔体的顶部；所述进气口和所述出气口均装设可拆卸式阀门。
7.根据权利要求1所述的基于气相沉积法的尾气处理装置，其特征在于，所述处理腔体的顶部设置卡槽，所述处理腔体的底部设置卡头，位于
8.根据权利要求1所述的基于气相沉积法的尾气处理装置，其特征在于，所述处理腔体沿竖轴方向装设密封条用于沿竖轴方向打开所述处理腔体，且所述处理腔体的外围装设卡箍用以卡紧所述处理腔体。
...【技术特征摘要】
1.一种基于气相沉积法的尾气处理装置，其特征在于，包括至少两个处理腔体，所述处理腔体内安装有呈迷宫排布的若干挡板以使得尾气沿迷宫的出口路径方向进行移动，若干所述挡板表面铺设有吸附材料；
2.根据权利要求1所述的基于气相沉积法的尾气处理装置，其特征在于，若干所述挡板沿竖轴方向相间叠设。
3.根据权利要求2所述的基于气相沉积法的尾气处理装置，其特征在于，若干所述挡板沿竖轴方向呈回廊式排布。
4.根据权利要求2或3所述的基于气相沉积法的尾气处理装置，其特征在于，相邻挡板之间的间隙沿迷宫出口路径方向依次增大。
5.根据权利要求1~3任一项所述的基于气相沉积法的尾气处理装置，其特征在于，吸附材料满充于所述处理腔...
【专利技术属性】
技术研发人员：霍彩霞，季志豪，李爱军，白瑞成，涂建新，屠俊阳，周亚迪，郝魁，张方舟，
申请(专利权)人：上海大学，
类型：新型
国别省市：
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