【技术实现步骤摘要】
本申请涉及智能清理的，尤其是涉及一种智能清理装置及清理方法。
技术介绍
1、在半导体芯片制造过程中，真空反应腔是至关重要的组成部分，它直接影响半导体器件的质量和产量；反应腔体中通常存在一些零部件，这些零部件上会具有多个微小空洞,这些空洞的功能通常为喷出反应气体和降温气体以对半导体芯片进行处理。在芯片处理过程中，真空反应腔会产生微米级或者纳米级的微尘，为了保证反应腔内零部件能够正常使用，目前通常会用化学方式来对零部件空洞里的微尘进行处理。
2、零部件空洞里的微尘通常包括弥漫在空洞内的部分以及附着在空洞壁面上的剩余部分，当运用化学方式来处理这些弥漫在空洞内或者附着在空洞壁面上的微尘时，化学处理的方式可能会导致零部件空洞的结构受到损坏，从而使得零部件不满足使用需求。
技术实现思路
1、为了便于清理掉反应腔中零部件空洞里的微尘，本申请提供一种智能清理装置及清理方法。
2、第一方面，本专利技术的上述专利技术目的一是通过以下技术方案得以实现的：
3、一种智能清理装置，包括盒体，所述盒体内设有用于产生负压以进行吸尘的吸尘机构和用于发出泡沫的泡沫发生机构；所述一种智能清理装置还包括设于所述盒体上的喷嘴机构，所述吸尘机构和所述泡沫发生机构均与所述喷嘴机构相连，所述喷嘴机构用于伸入反应腔内从而使得吸尘机构经喷嘴机构对空洞进行吸尘以及泡沫发生机构经喷嘴机构向空洞喷出泡沫。
4、通过采用上述技术方案，在将喷嘴机构伸入反应腔内后，通过驱动吸尘机构即可产生负压对
5、优选的，所述吸尘机构包括入水管、文丘里管、出水管和吸尘管，所述入水管用于与外部水源相连，所述文丘里管设于所述盒体内底端，所述文丘里管的一端与所述入水管相连，所述文丘里管的另一端与所述出水管相连；所述文丘里管包括中部的负压段，所述吸尘管的一端与所述负压段相连，所述吸尘管的另一端与所述喷嘴机构相连，所述吸尘管上设有过滤件。
6、通过采用上述技术方案，在通过外部水源向入水管注水后，水会经流文丘里管而到达出水管，经流文丘里管的水会使得负压段产生负压从而使得吸尘管内产生负压，微尘会被吸尘管吸入然后附着在过滤件上。
7、优选的，所述泡沫发生机构包括液流管、水泵、气体注入件和泡沫发生件，所述液流管设于所述盒体内壁上，所述液流管的一端与所述出水管相连，所述液流管的另一端与所述泡沫发生件相连，所述泡沫发生件与所述喷嘴机构相连；所述水泵和所述气体注入件均与所述液流管相连。
8、通过采用上述技术方案，驱动水泵能够控制自出水管而来的水流入泡沫发生件的流量，驱动气体注入件能够向液流管注入气体从而便于泡沫发生件制造泡沫。
9、优选的，所述喷嘴机构包括弹性管和活动喷嘴，所述弹性管设于盒体上，所述活动喷嘴设于弹性管远离盒体一端；所述弹性管包括内部的第二经流管路和第一经流管路，所述第二经流管路与所述吸尘管远离负压段的一端连通，所述第一经流管路与所述泡沫发生件的喷沫口连通；所述第二经流管路和第一经流管路均经活动喷嘴延伸至外界环境。
10、通过采用上述技术方案，由于弹性管的存在，能够便于移动活动喷嘴进入反应腔内以调整泡沫发生件发出的泡沫喷射方向以及吸尘机构吸尘朝向。
11、优选的，所述活动喷嘴上设有卡环，所述弹性管上设有卡槽，所述卡环卡在所述卡槽内且所述卡环与所述卡槽之间为转动连接。
12、通过采用上述技术方案，能够转动活动喷嘴以调整活动喷嘴的朝向。
13、优选的，所述活动喷嘴包括连接部和弯嘴部，所述连接部设于所述弹性管上，所述弯嘴部可拆卸设于所述连接部上。
14、通过采用上述技术方案，能够将弯嘴部拆卸下以更换其他形状的弯嘴部，从而调整泡沫喷出方向以及负压产生朝向。
15、优选的，所述出水管上还连接有加料管，所述盒体上还设有用于储存清洗剂的容纳筒，所述容纳筒与所述加料管相连，所述加料管上设有抽料泵。
16、通过采用上述技术方案，在容纳筒内储存清洗剂后，通过控制抽料泵能够通过加料管向出水管内添加清洗剂。
17、优选的，所述吸尘管包括固定管部和对接管部，所述固定管部与所述负压段相连，所述对接管部与所述固定管部之间为可拆卸连接；所述过滤件设于固定管部靠近对接管部一端，所述过滤件与所述固定管部之间为可拆卸连接。
18、通过采用上述技术方案，能够将对接管部拆卸下来从而拆卸下过滤件以清理。
19、优选的，所述出水管上还连有用于向外部环境排水的出水副管，所述出水副管上设有第一阀门；所述液流管上还设有第二阀门。
20、通过采用上述技术方案，在拆卸下过滤件的情况下，打开第一阀门，关闭第二阀门，吸尘管吸入的微尘能够直接随着水流从出水副管排出。
21、第二方面，本专利技术的上述专利技术目的二是通过以下技术方案得以实现的：
22、一种智能清理装置的清理方法，包括以下步骤：
23、s1、将喷嘴机构伸入反应腔内；
24、s2、驱动吸尘机构经喷嘴机构对空洞内部进行吸尘，同时驱动泡沫发生机构经喷嘴机构向空洞内喷出泡沫。
25、通过采用上述技术方案，当反应腔内为密闭环境时，能够驱动泡沫发生机构和吸尘机构同时工作，泡沫发生机构喷出泡沫的动作为正压动作，而吸尘机构产生的为负压动作，所以泡沫发生机构和吸尘机构能够同时平衡工作从而对密闭环境进行除尘。
26、综上所述，本专利技术包括以下至少一种有益技术效果：
27、1．在将喷嘴机构伸入反应腔内后，通过驱动吸尘机构即可产生负压对空洞内进行吸尘，从而去除掉零部件空洞内弥漫的微尘；而驱动泡沫发生机构即可产生泡沫经喷嘴机构喷出，从而去除掉空洞壁面上的微尘；本申请能便于清理掉反应腔中零部件空洞里的微尘；
28、2. 本申请能够实现以下两种除尘方式：
29、第一种：第一阀门处于关闭状态，第二阀门处于开启状态，此时通过向入水管注水，水会自入水管流经文丘里管而到达出水管，水在流经文丘里管时使得吸尘管产生负压从而主要对空洞内弥漫的微尘进行吸尘，过滤件会吸附微尘，并且同时到达出水管的水会进入到液流管，在气体注入件和水泵的辅助工作下，泡沫发生件会同时喷出泡沫以主要除去空洞壁面上的微尘，上述泡沫清理和负压清理的动作是同时进行的；
30、第二种：第一阀门处于打开状态，第二阀门处于关闭状态，此时自吸尘管吸入的微尘被过滤件收集，而水流会从出水副管排出，上述为负压清理动作单独进行；
31、3. 当反应腔内为密闭环境时，能够驱动泡沫发生机构和吸尘机构同时工作，泡沫发生机构喷出泡沫的动作为正压动作，而吸尘机构产生的为负压动作，所以泡沫发生机构和吸尘机构能够同时平衡工作从而对密闭环境进行除尘；所以上述泡沫清理和负压清理的动作同时本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种智能清理装置，其特征在于：包括盒体(1)，所述盒体(1)内设有用于产生负压以进行吸尘的吸尘机构(2)和用于发出泡沫的泡沫发生机构(3)；所述一种智能清理装置还包括设于所述盒体(1)上的喷嘴机构(4)，所述吸尘机构(2)和所述泡沫发生机构(3)均与所述喷嘴机构(4)相连，所述喷嘴机构(4)用于伸入反应腔内从而使得吸尘机构(2)经喷嘴机构(4)对空洞进行吸尘以及泡沫发生机构(3)经喷嘴机构(4)向空洞喷出泡沫。
2.根据权利要求1所述的一种智能清理装置，其特征在于：所述吸尘机构(2)包括入水管(21)、文丘里管(22)、出水管(23)和吸尘管(24)，所述入水管(21)用于与外部水源相连，所述文丘里管(22)设于所述盒体(1)内底端，所述文丘里管(22)的一端与所述入水管(21)相连，所述文丘里管(22)的另一端与所述出水管(23)相连；所述文丘里管(22)包括中部的负压段(221)，所述吸尘管(24)的一端与所述负压段(221)相连，所述吸尘管(24)的另一端与所述喷嘴机构(4)相连，所述吸尘管(24)上设有过滤件(25)。
3.根据权利要求2所述的
4.根据权利要求3所述的一种智能清理装置，其特征在于：所述喷嘴机构(4)包括弹性管(41)和活动喷嘴(42)，所述弹性管(41)设于盒体(1)上，所述活动喷嘴(42)设于弹性管(41)远离盒体(1)一端；所述弹性管(41)包括内部的第二经流管路(412)和第一经流管路(411)，所述第二经流管路(412)与所述吸尘管(24)远离负压段(221)的一端连通，所述第一经流管路(411)与所述泡沫发生件(34)的喷沫口连通；所述第二经流管路(412)和第一经流管路(411)均经活动喷嘴(42)延伸至外界环境。
5.根据权利要求4所述的一种智能清理装置，其特征在于：所述活动喷嘴(42)上设有卡环(421)，所述弹性管(41)上设有卡槽，所述卡环(421)卡在所述卡槽内且所述卡环(421)与所述卡槽之间为转动连接。
6.根据权利要求4所述的一种智能清理装置，其特征在于：所述活动喷嘴(42)包括连接部(422)和弯嘴部(423)，所述连接部(422)设于所述弹性管(41)上，所述弯嘴部(423)可拆卸设于所述连接部(422)上。
7.根据权利要求3所述的一种智能清理装置，其特征在于：所述出水管(23)上还连接有加料管(6)，所述盒体(1)上还设有用于储存清洗剂的容纳筒(61)，所述容纳筒(61)与所述加料管(6)相连，所述加料管(6)上设有抽料泵(62)。
8.根据权利要求3所述的一种智能清理装置，其特征在于：所述吸尘管(24)包括固定管部(241)和对接管部(242)，所述固定管部(241)与所述负压段(221)相连，所述对接管部(242)与所述固定管部(241)之间为可拆卸连接；所述过滤件(25)设于固定管部(241)靠近对接管部(242)一端，所述过滤件(25)与所述固定管部(241)之间为可拆卸连接。
9.根据权利要求8所述的一种智能清理装置，其特征在于：所述出水管(23)上还连有用于向外部环境排水的出水副管(5)，所述出水副管(5)上设有第一阀门(51)；所述液流管(31)上还设有第二阀门(311)。
10.一种应用于权利要求1-9任一所述的一种智能清理装置的清理方法，其特征在于，包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种智能清理装置，其特征在于：包括盒体(1)，所述盒体(1)内设有用于产生负压以进行吸尘的吸尘机构(2)和用于发出泡沫的泡沫发生机构(3)；所述一种智能清理装置还包括设于所述盒体(1)上的喷嘴机构(4)，所述吸尘机构(2)和所述泡沫发生机构(3)均与所述喷嘴机构(4)相连，所述喷嘴机构(4)用于伸入反应腔内从而使得吸尘机构(2)经喷嘴机构(4)对空洞进行吸尘以及泡沫发生机构(3)经喷嘴机构(4)向空洞喷出泡沫。
2.根据权利要求1所述的一种智能清理装置，其特征在于：所述吸尘机构(2)包括入水管(21)、文丘里管(22)、出水管(23)和吸尘管(24)，所述入水管(21)用于与外部水源相连，所述文丘里管(22)设于所述盒体(1)内底端，所述文丘里管(22)的一端与所述入水管(21)相连，所述文丘里管(22)的另一端与所述出水管(23)相连；所述文丘里管(22)包括中部的负压段(221)，所述吸尘管(24)的一端与所述负压段(221)相连，所述吸尘管(24)的另一端与所述喷嘴机构(4)相连，所述吸尘管(24)上设有过滤件(25)。
3.根据权利要求2所述的一种智能清理装置，其特征在于：所述泡沫发生机构(3)包括液流管(31)、水泵(32)、气体注入件(33)和泡沫发生件(34)，所述液流管(31)设于所述盒体(1)内壁上，所述液流管(31)的一端与所述出水管(23)相连，所述液流管(31)的另一端与所述泡沫发生件(34)相连，所述泡沫发生件(34)与所述喷嘴机构(4)相连；所述水泵(32)和所述气体注入件(33)均与所述液流管(31)相连。
4.根据权利要求3所述的一种智能清理装置，其特征在于：所述喷嘴机构(4)包括弹性管(41)和活动喷嘴(42)，所述弹性管(41)设于盒体(1)上，所述活动喷嘴(42)设于弹性管(41)远离盒体(1)一端；所述弹性管(41)包括内部的第二经流管路(4...
【专利技术属性】
技术研发人员：金巨万，辛长林，阚云峰，
申请(专利权)人：苏州高芯众科半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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