一种电极加工工艺制造技术

本发明专利技术涉及电极加工技术领域，具体公开了一种电极加工工艺，包括以下具体步骤：S1：涂层液的制备：将稀土原材料加工成涂层液备用；S2：零件表面处理：对待加工的零件表面进行加工以便对零件表面喷射涂层液；S3：零件的喷涂：将S2中加工好的零件放置在喷涂装置上进行喷涂工作；S4：零件的包装：对S3中喷射好涂层的零件进行后段修复和检查将零件包装入库；通过喷涂装置对金属零件进行喷涂工作，促使零件表面喷涂的涂层分布均匀，降低了通过人工手动进行喷涂时质量差的麻烦，保证了金属零件的喷涂质量。保证了金属零件的喷涂质量。保证了金属零件的喷涂质量。

【技术实现步骤摘要】
一种电极加工工艺


[0001]本专利技术涉及电极加工
，尤其是涉及一种电极加工工艺。

技术介绍

[0002]在制造芯片及液晶时，在反应锅里进行的工艺需要等离子和好多种类的气体和材料发生反应，当等离子能量达到几百瓦乃至上万瓦时，等离子体会直接撞击、腐蚀反应锅内部壁板、下部电极等核心零部件，因此精密涂层业务是半导体及液晶面板行业中不可或缺的一环，通过对制造半导体及液晶面板设备腔体内部关键陶瓷或金属部件喷射涂层来保护核心零部件免受高温高压下的气体腐蚀以及等离子的物理性打击，从而提高产品良率以及增加设备与零部件的使用寿命。
[0003]现有技术中在对金属零件表面进行喷涂工作时大多通过人工手持喷涂设备对零件表面进行喷涂工作，人工手动喷涂不仅工作效率低下，而且喷涂质量较差，易于造成金属零件表面的涂层不均匀，进而影响零件的加工质量。

技术实现思路

[0004]本申请提供一种电极加工工艺，具有通过喷涂装置对金属零件进行喷涂工作，促使零件表面喷涂的涂层分布均匀，进而保证金属零件的喷涂质量。
[0005]本申请提供的一种电极加工工艺，采用如下的技术方案：一种电极加工工艺，该工艺包括以下具体步骤：S1：涂层液的制备：将稀土原材料加工成涂层液备用；S2：零件表面处理：对待加工的零件表面进行加工以便对零件表面喷射涂层液；S3：零件的喷涂：将S2中加工好的零件放置在喷涂装置上进行喷涂工作；S4：零件的包装：对S3中喷射好涂层的零件进行后段修复和检查将零件包装入库。
[0006]优选的，所述喷涂装置包括底板；所述底板顶面设置有接料槽；所述接料槽内侧壁上固接有用于放置零件的支撑座；所述底板顶面固接在盖板；所述盖板底部设置有位于支撑座顶部的喷涂机构；所述喷涂机构可对支撑座上的零件进行喷涂工作；所述盖板外侧壁上安装有第一电机；所述第一电机输出端固接有第一丝杆；所述第一丝杆外部套设有与第一丝杆螺纹传动配合的安装板；所述安装板上设置有可对零件表面多余的涂层液体进行刮除的刮刀件；所述盖板内侧壁上固接有导杆；所述导杆贯穿安装板，导杆外侧壁与安装板内侧壁滑动配合。
[0007]通过采用上述技术方案，将待喷涂的零件放置在支撑座顶面，通过喷涂机构对零件进行喷涂，当零件顶面完成喷涂工作后启动第一电机，第一电机带动第一丝杆转动，从而使得套设在第一丝杆外部的安装板沿着第一丝杆外部进行滑动，导杆的设置保证了安装板滑动过程的稳定，降低安装板发生转动的可能性；当安装板从零件顶部滑过时，安装板上设置的刮刀件对零件表面的涂层液进行刮动，促使零件表面的涂层液保持均匀，降低涂层分布不均对零件质量造成影响的可能性。
[0008]优选的，所述安装板底面设有第一凹槽；所述刮刀件包括刮板；所述刮板滑动连接在第一凹槽内侧壁上；所述安装板顶面安装有第一电推杆；所述第一电推杆输出端伸至第一凹槽内与刮板顶面固接。
[0009]通过采用上述技术方案，在刮板对零件表面多余的涂层液进行刮动时前，第一电推杆带动刮板下移至合适位置，在安装板移动过程中，刮板逐渐从零件表面滑过，对零件表面过厚的涂层液进行刮除，促使零件表面的涂层液保持均匀。
[0010]优选的，所述接料槽内侧壁上设置有可对刮板进行清洁的清洁机构；所述清洁机构包括一对凹形壳；一对所述凹形壳固接在接料槽靠近顶面的内侧壁上，凹形壳内侧壁上均滑动连接有挤压块；所述挤压块伸入凹形壳内的端部通过弹簧与凹形壳内侧壁连接，挤压块远离弹簧的端部设有弧面；所述刮板底面设置有与弧面配合的尖端部。
[0011]通过采用上述技术方案，当刮板上粘附有较多涂层液时，通过第一电机带动安装板移动至挤压块顶部位置，通过第一电推杆带动刮板逐渐下移并通过一对挤压块之间的位置，在刮板下移的过程中，通过尖端部与弧面的配合工作，挤压块向着凹形壳内部滑动并挤压弹簧，在弹簧弹力的作用下，挤压块与刮板侧壁保持接触，在刮板的下移过程中，挤压块对刮板侧壁上的涂层液进行刮除，降低涂层液粘附在刮板上的可能性，促使刮板保持洁净。
[0012]优选的，所述接料槽顶面固接有冲洗管；所述冲洗管外侧壁上固接有与冲洗管内部连通的喷水嘴；所述接料槽外侧壁上设置有水泵；所述水泵输入端固接有进水管，水泵输出端固接有出水管；所述出水管远离水泵的端部与冲洗管内部连通。
[0013]通过采用上述技术方案，当挤压块对刮板上的涂层液进行清洁时，启动水泵将清洁液通过进水管和出水管输送至冲洗管中，清洁液经由喷水嘴喷出后对刮板和挤压块进行冲洗，进一步提高了对刮板的清洁效果，并且实现了对挤压块的清洁，降低涂层液残留在挤压块上的可能性，便于挤压块再次对刮板进行清洁，保证了挤压块对刮板的清洁效果。
[0014]优选的，所述盖板顶面设置有滑槽；所述喷涂机构包括第二电机、喷涂管、物料箱和输液组件；所述第二电机安装在盖板外侧壁上，第二电机输出端固接有伸入滑槽内的第二丝杆；所述第二丝杆外部套设有与滑槽内侧壁滑动配合的滑块，所述滑块与第二丝杆螺纹传动配合，滑块顶面安装有第二电推杆；所述第二电推杆输出端伸至滑块底部，所述喷涂管固接在第二电推杆输出端，喷涂管外侧壁上固接有多个与喷涂管内部连通的喷头；所述物料箱固接在底板顶面；所述输液组件设置在底板上，输液组件可将物料箱内的涂层液输送至喷涂管内；所述接料槽固接在物料箱顶面上。
[0015]通过采用上述技术方案，在进行零件表面的喷涂工作时，第二电推杆带动喷涂管移动至合适高度，输液组件将物料箱内的涂层液输送至喷涂管中，喷涂管中的涂层液再经由喷头喷洒至零件表面；在进行零件表面的涂层喷涂工作时启动第二电机带动第二丝杆转动，滑块在沿着滑槽内侧壁滑动时带动第二电推杆和喷涂管进行移动，便于实现对零件不同位置进行喷涂工作，减少喷涂工作中需要移动零件的麻烦，提高喷涂工作的效率。
[0016]优选的，所述输液组件包括泵体；所述泵体安装在底板顶面，泵体输入端固接有进液管，本体输出端固接有出液管；所述进液管远离泵体的端部与物料箱内部连通；所述出液管远离泵体的端部与喷涂管内部连通。
[0017]通过采用上述技术方案，在对零件进行喷涂工作时启动泵体，通过泵体将物料箱内的涂层液通过进液管和出液管输送至喷涂管中，从而便于涂层液从喷头喷出对零件进行
喷涂工作。
[0018]优选的，所述物料箱内侧壁上转动连接有旋转轴；所述旋转轴外侧壁上固接有搅拌板，旋转轴一端伸出物料箱外，旋转轴伸出物料箱外的端部固接有第一带轮；所述第一带轮外部套设有皮带；所述第一丝杆靠近第一带轮的外侧壁上固接有第二带轮；所述皮带远离第一带轮的端部套设在第二带轮外部，皮带使第一带轮和第二带轮联动。
[0019]通过采用上述技术方案，第一丝杆转动过程中带动第二带轮转动，在第一带轮、第二带轮和皮带的传动作用下使得第一丝杆带动旋转轴转动，旋转轴带动搅拌板对物料箱中的涂层液进行搅拌，促使物料箱中的涂层液进行运动，使得涂层液不易因长时间静置而产生沉淀物，提高涂层液进行喷涂时的喷涂质量。
[0020]优选的，所述喷涂管外侧壁上固接有通气管；所述通气管外侧壁上固接有喷本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电极加工工艺，其特征在于：该工艺包括以下具体步骤：S1：涂层液的制备：将稀土原材料加工成涂层液备用；S2：零件表面处理：对待加工的零件表面进行加工以便对零件表面喷射涂层液；S3：零件的喷涂：将S2中加工好的零件放置在喷涂装置上进行喷涂工作；S4：零件的包装：对S3中喷射好涂层的零件进行后段修复和检查将零件包装入库。2.根据权利要求1所述的一种电极加工工艺，其特征在于：所述喷涂装置包括底板(1)；所述底板(1)顶面设置有接料槽(2)；所述接料槽(2)内侧壁上固接有用于放置零件的支撑座(3)；所述底板(1)顶面固接在盖板(4)；所述盖板(4)底部设置有位于支撑座(3)顶部的喷涂机构(5)；所述喷涂机构(5)可对支撑座(3)上的零件进行喷涂工作；所述盖板(4)外侧壁上安装有第一电机(41)；所述第一电机(41)输出端固接有第一丝杆(42)；所述第一丝杆(42)外部套设有与第一丝杆(42)螺纹传动配合的安装板(43)；所述安装板(43)上设置有可对零件表面多余的涂层液体进行刮除的刮刀件(44)；所述盖板(4)内侧壁上固接有导杆(45)；所述导杆(45)贯穿安装板(43)，导杆(45)外侧壁与安装板(43)内侧壁滑动配合。3.根据权利要求2所述的一种电极加工工艺，其特征在于：所述安装板(43)底面设有第一凹槽(431)；所述刮刀件(44)包括刮板(441)；所述刮板(441)滑动连接在第一凹槽(431)内侧壁上；所述安装板(43)顶面安装有第一电推杆(442)；所述第一电推杆(442)输出端伸至第一凹槽(431)内与刮板(441)顶面固接。4.根据权利要求2所述的一种电极加工工艺，其特征在于：所述接料槽(2)内侧壁上设置有可对刮板(441)进行清洁的清洁机构(6)；所述清洁机构(6)包括一对凹形壳(61)；一对所述凹形壳(61)固接在接料槽(2)靠近顶面的内侧壁上，凹形壳(61)内侧壁上均滑动连接有挤压块(62)；所述挤压块(62)伸入凹形壳(61)内的端部通过弹簧(63)与凹形壳(61)内侧壁连接，挤压块(62)远离弹簧(63)的端部设有弧面(621)；所述刮板(441)底面设置有与弧面(621)配合的尖端部(443)。5.根据权利要求4所述的一种电极加工工艺，其特征在于：所述接料槽(2)顶面固接有冲洗管(64)；所述冲洗管(64)外侧壁上固接有与冲洗管(64)内部连通的喷水嘴(641)；所述接料槽(2)外侧壁上设置有水泵(65)；所述水泵(65)输入端固接有进水管(651)，水泵(65)输出端固接有出水管(652)；所述出水管(652)远离水泵(65)的端部与冲洗管(64)内部连通。6.根据权利要求2所述的一种电极加工工艺，其特征在于：所述盖板(4)...

【专利技术属性】
技术研发人员：辛长林，金巨万，杨斌，王贝，
申请(专利权)人：苏州高芯众科半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：