一种氟氧化钇喷涂粉的制备方法及氟氧化钇喷涂粉技术

本申请涉及氟氧化钇喷涂粉制备方法领域，具体公开了一种氟氧化钇喷涂粉的制备方法及氟氧化钇喷涂粉。氟氧化钇喷涂粉的制备方法包括以下步骤：以氢氧化钇为原料，将氢氧化钇与氢氟酸混合，加热陈化，冷却后调节pH值，过滤，将滤出物进行有机共沸蒸馏脱水，得到氟氧化钇晶体；将氟氧化钇晶体加热煅烧，冷却后得到煅烧料；将煅烧料、分散剂、醇类溶剂混合，研磨；向研磨后的混合物中加入粘结剂进行表面改性，得到改性浆料；改性浆料经雾化造粒，过筛，脱胶，混料，得到氟氧化钇喷涂粉。本申请的制备方法能够使氟氧化钇喷涂粉具有球形度好，载气带粉流动性好，粘结强度高，抗蚀能力强的优点。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及氟氧化钇喷涂粉制备方法领域，更具体地说，它涉及一种氟氧化钇喷涂粉的制备方法及氟氧化钇喷涂粉。

技术介绍

1、氟氧化钇涂层与金属铝材热膨胀系数非常相近，在不同的等离子刻蚀环境中，与氧化钇涂层有着异曲同工的防腐延用功效，而抗热震性能优于氧化钇涂层；并且击穿电压高，电阻率大，热、力学性能高于氟化钇和氧化钇，是被市场高度认同的半导体新型材料。

2、在高温富氟的刻蚀过程中，相关技术通常采用铵盐浸泡法制作10-80nm氟氧化钇涂层来延缓腔体零部件的使用次数。浸泡法工艺是用含氟试剂在缓冲溶液的配合下，对氧化钇基材进行腐蚀，经过化学反应生成氟氧化钇。但由此生成氟氧化钇新物质的动力学明显不足，且对制品表面的结构起到了明显的腐蚀作用，使表面与基体因化学键断裂、晶格塌陷而离间，削弱了新生涂层与基材之间的结合力；且纳米尺寸的涂布，对于宏观方面高温高氟刻蚀工艺的恶劣环境，延缓腐蚀的保护作用非常有限；同时，随着市场增量需求，刻蚀腔空间变大，配套零部件尺寸随之扩展增厚，浸泡工艺实施也因此受到空间方面的范围限制。

3、为了提高氟氧化钇涂层的涂覆效果，减低本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种氟氧化钇喷涂粉的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的氟氧化钇喷涂粉的制备方法，其特征在于：所述步骤一具体包括：

3.根据权利要求2所述的氟氧化钇喷涂粉的制备方法，其特征在于：所述pH值调节剂为六次甲基四胺。

4.根据权利要求1所述的氟氧化钇喷涂粉的制备方法，其特征在于：所述步骤二中，研磨步骤具体包括：按质量比1：(1.1-1.4)将煅烧料加入至醇类溶剂中，再向其中加入分散剂，所述分散剂的质量为所述煅烧料质量的1-2%，研磨至颗粒粒径为0.8-1.0um。

5.根据权利要求4所述的氟氧化钇喷涂粉的制备方法，其...

【技术特征摘要】

1.一种氟氧化钇喷涂粉的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的氟氧化钇喷涂粉的制备方法，其特征在于：所述步骤一具体包括：

3.根据权利要求2所述的氟氧化钇喷涂粉的制备方法，其特征在于：所述ph值调节剂为六次甲基四胺。

4.根据权利要求1所述的氟氧化钇喷涂粉的制备方法，其特征在于：所述步骤二中，研磨步骤具体包括：按质量比1：(1.1-1.4)将煅烧料加入至醇类溶剂中，再向其中加入分散剂，所述分散剂的质量为所述煅烧料质量的1-2%，研磨至颗粒粒径为0.8-1.0um。

5.根据权利要求4所述的氟氧化钇喷涂粉的制备方法，其特征在于：所述分散剂为以无机六偏磷酸盐、柠檬酸铵、硬脂酸钇为主要成分的混合物。

6.根据权利要求1所述的氟氧化钇喷涂粉的制备方法，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：辛长林，王必庆，
申请(专利权)人：苏州高芯众科半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：