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本申请涉及氟氧化钇喷涂粉制备方法领域，具体公开了一种氟氧化钇喷涂粉的制备方法及氟氧化钇喷涂粉。氟氧化钇喷涂粉的制备方法包括以下步骤：以氢氧化钇为原料，将氢氧化钇与氢氟酸混合，加热陈化，冷却后调节pH值，过滤，将滤出物进行有机共沸蒸馏脱水，得...
该专利属于苏州高芯众科半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州高芯众科半导体有限公司授权不得商用。

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