【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及，具体为一种防止磨片清洗机漏夹的夹爪系统及操作方法。
技术介绍
1、在半导体片清洗中，经常使用到清洗设备，所以清洗机的手臂尤其重要，如果手臂设计的不好，会经常导致手臂漏夹造成片盒漏夹，或者无法抓起片盒，造成产品损失，所以手臂的设计比较重要的，而磨片工序后的洗净机常用的手臂存在以下问题：
2、1、抓片盒的部分采用金属外面套一层保护耐腐蚀的塑料套，但是在长时间与化学液体接触后，保护套容易氧化，开裂，长期继续使用会造成产品金属污染。2、由于采用框架结构，使用中片盒的位置要调整的非常精确，而在清洗过程中，如果由于水流的推动，或一些超声波清洗机对产品的震动使产品偏移，导致两边边框偏差大，会造成两侧夹爪无法均准确夹到片盒，很容易造成漏夹，或者撞坏片盒，造成产品损失：3、手臂由于是直径8mm的钢丝折弯加工而成，所以比较容易变形：4、手臂支撑由于采用pvc材料焊接而成，所以y轴方向的距离无法调节，造成片盒无法很紧，在运行中可能会使片盒掉落；5、手臂上的漏夹保护无法起到漏夹保护的作用。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种防止磨片清洗机漏夹的夹爪系统及操作方法，解决了上述问题。
2、为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种防止磨片清洗机漏夹的夹爪系统，包括套设在磨片清洗机驱动架上的移动座，所述移动座的底部设置有夹爪结构，所述移动座包括套设在磨片清洗机驱动架上的滑动座，且滑动座的底部贯穿滑动连接有位移调节座，所述夹爪结构安装于
3、所述夹爪结构包括两组对称转动连接在位移调节座底部的夹爪，且夹爪的底部设置有防脱结构和定位结构，且两侧夹爪之间设有控制两者展开或合拢的驱动结构。
4、优选的，所述夹爪为u型，且夹爪的两端各自连接有一组移动座，所述防脱结构包括固定连接在夹爪底部的勾爪，所述勾爪位于夹爪内侧部分设置为弯钩型。
5、优选的，所述勾爪由内层钢板外包覆peek材料构成，所述夹爪外也包覆有peek材料。
6、优选的，所述定位结构包括弹性定位杆，且弹性定位杆的顶端通过套筒固定在夹爪前后两侧，所述弹性定位杆主体部分设置于夹爪前后竖直面，且前后弹性定位杆的底端向前后远离方向折弯设置。
7、优选的，所述驱动结构包括两端分别连接两侧夹爪的同一侧中间靠上位置的双头气缸，且双头气缸的中间通过支架固定于位移调节座底部，前后两组双头气缸的中间段均连通有分气管，且两根分气管之间通过三通连通有主气管，所述主气管的一端外接供气装置。
8、优选的，所述位移调节座由底板及其顶部中间贯穿滑动座底部的竖板构成，竖板的前后侧均转动连接有搭接在滑动座内侧底部的支撑滚轮，所述滑动座的前侧开设有用于安装支撑滚轮的开口。
9、优选的，所述滑动座内侧顶部安装有安装板，所述安装板的底部与位移调节座的顶部均内嵌固定连接有相磁吸的磁铁以吸引位移调节座居中，所述滑动座的底部开设有供位移调节座滑动的滑槽。
10、优选的，所述滑动座两侧的内部均安装有套设在磨片清洗机驱动架上的耐磨套，所述滑动座中间的内部安装有与磨片清洗机驱动架上驱动丝杆连接的弹性驱动件。
11、优选的，所述弹性驱动件包括固定连接在滑动座内部的方筒，所述方筒的内部滑动连接有方形滑块，且方形滑块螺纹套设在驱动丝杆外部，所述方形滑块两端与方筒内部两端面之间均压接有弹性件。
12、本专利技术还公开了一种防止磨片清洗机漏夹的夹爪系统的操作方法，包括：
13、步骤一：控制磨片清洗机驱动架带动夹爪系统下降，直至夹爪结构底部降到片盒两侧沿的下方；
14、步骤二：控制驱动结构驱动夹爪结构收拢，直至夹爪结构底部夹持并勾住片盒两侧沿，利用对称的夹持力使夹爪结构滑移以适配片盒位置进行均匀夹持；
15、步骤三：先控制磨片清洗机驱动架上升，使夹爪系统将片盒提起，沥水后控制夹爪系统顺着磨片清洗机驱动架平移，将片盒从浸泡池上移开。
16、有益效果
17、本专利技术提供了一种防止磨片清洗机漏夹的夹爪系统及操作方法。与现有技术相比具备以下有益效果：
18、1、该防止磨片清洗机漏夹的夹爪系统及操作方法，通过在夹爪底部设置勾爪构成的防脱结构，可以有效勾住片盒的两边，可提高防滑效果，且整个夹爪结构可通过位移调节座在滑动座底部小幅度的平移，即使片盒在清洗池内有小幅度的偏移，在再次夹起时也可利用两侧对称的夹持力使夹爪结构自身滑移来适配片盒的偏移，保证两侧夹爪均可稳定牢固的夹持，而底部前后设置的弹性定位杆可在下降时挤压片盒底部，使移动座进行小幅度的前后位移来适配前后误差，使夹爪夹持片盒时受力更均匀夹持更稳定，表面材料为peek材料也提高了夹爪和勾爪的耐腐蚀性。
19、2、该防止磨片清洗机漏夹的夹爪系统及操作方法，通过在位移调节座顶部设置支撑滚轮来搭接在滑动座内，使位移调节座的滑移更顺滑，而利用磁铁可吸引位移调节座居中，使片盒在被提起后可缓慢自动居中，保证每次放下时位置的准确，避免清洗后误差累计导致超出夹爪结构自适应范围而无法夹持的问题。
20、3、该防止磨片清洗机漏夹的夹爪系统及操作方法，通过在滑动座内设置弹性驱动件来连接驱动丝杆，一方面可使夹爪系统可配合弹性定位杆在前后方向具备小幅度自调节的功能，同时在驱动丝杆驱动夹爪系统移动到静止时，利用弹簧进行缓冲减速，避免急停导致的片盒晃动幅度过大而增大脱落概率。
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1.一种防止磨片清洗机漏夹的夹爪系统，包括套设在磨片清洗机驱动架上的移动座，所述移动座的底部设置有夹爪结构，其特征在于：所述移动座包括套设在磨片清洗机驱动架上的滑动座，且滑动座的底部贯穿滑动连接有位移调节座，所述夹爪结构安装于位移调节座底部，所述位移调节座的滑动方向与滑动座在磨片清洗机驱动架上的滑动方向水平垂直，使夹爪结构夹持位置偏移的片盒时水平滑移以自适应调整夹持位置，所述滑动座内还设有调节位移调节座居中的调节结构；
2.根据权利要求1所述的一种防止磨片清洗机漏夹的夹爪系统，其特征在于：所述夹爪为U型，且夹爪的两端各自连接有一组移动座，所述防脱结构包括固定连接在夹爪底部的勾爪，所述勾爪位于夹爪内侧部分设置为弯钩型。
3.根据权利要求2所述的一种防止磨片清洗机漏夹的夹爪系统，其特征在于：所述勾爪由内层钢板外包覆PEEK材料构成，所述夹爪外也包覆有PEEK材料。
4.根据权利要求1所述的一种防止磨片清洗机漏夹的夹爪系统，其特征在于：所述定位结构包括弹性定位杆，且弹性定位杆的顶端通过套筒固定在夹爪前后两侧，所述弹性定位杆主体部分设置于夹爪前后竖直面
5.根据权利要求1所述的一种防止磨片清洗机漏夹的夹爪系统，其特征在于：所述驱动结构包括两端分别连接两侧夹爪的同一侧中间靠上位置的双头气缸，且双头气缸的中间通过支架固定于位移调节座底部，前后两组双头气缸的中间段均连通有分气管，且两根分气管之间通过三通连通有主气管，所述主气管的一端外接供气装置。
6.根据权利要求1所述的一种防止磨片清洗机漏夹的夹爪系统，其特征在于：所述位移调节座由底板及其顶部中间贯穿滑动座底部的竖板构成，竖板的前后侧均转动连接有搭接在滑动座内侧底部的支撑滚轮，所述滑动座的前侧开设有用于安装支撑滚轮的开口。
7.根据权利要求1所述的一种防止磨片清洗机漏夹的夹爪系统，其特征在于：所述滑动座内侧顶部安装有安装板，所述安装板的底部与位移调节座的顶部均内嵌固定连接有相磁吸的磁铁以吸引位移调节座居中，所述滑动座的底部开设有供位移调节座滑动的滑槽。
8.根据权利要求1所述的一种防止磨片清洗机漏夹的夹爪系统，其特征在于：所述滑动座两侧的内部均安装有套设在磨片清洗机驱动架上的耐磨套，所述滑动座中间的内部安装有与磨片清洗机驱动架上驱动丝杆连接的弹性驱动件。
9.根据权利要求1所述的一种防止磨片清洗机漏夹的夹爪系统，其特征在于：所述弹性驱动件包括固定连接在滑动座内部的方筒，所述方筒的内部滑动连接有方形滑块，且方形滑块螺纹套设在驱动丝杆外部，所述方形滑块两端与方筒内部两端面之间均压接有弹性件。
10.根据权利要求1-9任意一项所述的一种防止磨片清洗机漏夹的夹爪系统，其特征在于：其操作方法包括：
...【技术特征摘要】
1.一种防止磨片清洗机漏夹的夹爪系统，包括套设在磨片清洗机驱动架上的移动座，所述移动座的底部设置有夹爪结构，其特征在于：所述移动座包括套设在磨片清洗机驱动架上的滑动座，且滑动座的底部贯穿滑动连接有位移调节座，所述夹爪结构安装于位移调节座底部，所述位移调节座的滑动方向与滑动座在磨片清洗机驱动架上的滑动方向水平垂直，使夹爪结构夹持位置偏移的片盒时水平滑移以自适应调整夹持位置，所述滑动座内还设有调节位移调节座居中的调节结构；
2.根据权利要求1所述的一种防止磨片清洗机漏夹的夹爪系统，其特征在于：所述夹爪为u型，且夹爪的两端各自连接有一组移动座，所述防脱结构包括固定连接在夹爪底部的勾爪，所述勾爪位于夹爪内侧部分设置为弯钩型。
3.根据权利要求2所述的一种防止磨片清洗机漏夹的夹爪系统，其特征在于：所述勾爪由内层钢板外包覆peek材料构成，所述夹爪外也包覆有peek材料。
4.根据权利要求1所述的一种防止磨片清洗机漏夹的夹爪系统，其特征在于：所述定位结构包括弹性定位杆，且弹性定位杆的顶端通过套筒固定在夹爪前后两侧，所述弹性定位杆主体部分设置于夹爪前后竖直面，且前后弹性定位杆的底端向前后远离方向折弯设置。
5.根据权利要求1所述的一种防止磨片清洗机漏夹的夹爪系统，其特征在于：所述驱动结构包括两端分别连接两侧夹爪的同一侧中间靠上位置的双头气缸，且双头气缸的中间...
【专利技术属性】
技术研发人员：方一栋，
申请(专利权)人：杭州中欣晶圆半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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