【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于流体阀门
，尤其涉及一种可调节式真空限流阀。
技术介绍
真空阀门是真空设备上必不可少的部件，真空阀门可控性和稳定性，直接影响真 空设备的使用性能。真空系统所使用的阀门一般有挡板阀，翻板阀，蝶阀和插板阀等。并 可细分为真空插板阀系列、金属密封气动真空插板阀系列、手动真空摆动阀系列、气动真空 摆动阀系列、快速关闭真空阀系列、手动真空挡板阀系列、气动真空挡板阀系列、常闭气动 真空挡板阀系列、常闭电磁真空挡板阀系列、手动真空隔膜阀系列、手动超高真空档板阀系 列。这些阀门一般在使用中均是处于全封闭或全开启状态。而限流阀为了稳定控制真空腔 压，开启的程度可进行调节。限流阀在真空系统中的功能是控制符合流量_压差特性的可 调流量。对限流阀的特性要求主要是流量特性、最小稳定流量、流量调节范围及调节特性。在真空镀膜中为了保证镀膜质量的稳定性和可持续性，重要的是保持镀膜工艺参 数的稳定性，保持真空室腔压的稳定性尤为重要。真空室腔压的稳定性一般采用两种方式， 一是采用自动压强仪通过缓冲供气方式，提供稳定的工作气体流量通入真空室，二是对真 空系统的泵系统和真空腔的抽...
【技术保护点】
一种可调节式真空限流阀，包括厚壁法兰（１），电机驱动器（３）和步进电机（２）、主轴（４）、调节装置和转板（１８）组成，其特征在于，所述电机驱动器（３）和所述步进电机（２）通过螺丝固接，安装在所述厚壁法兰（１）的一侧，所述步进电机（２）与所述主轴（４）固接，所述主轴（４）通过凸块与所述调节装置连接，所述转板（１８）通过两端部的轴固定在所述厚壁法兰（１）内壁上，所述转板（１８）通过拉板（２６）、转轴（２７）和螺钉（２８）与所述调节装置固接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈良贤，施戈，
申请(专利权)人：北京泰科诺科技有限公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]
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