一种芯片检测辅助设备制造技术

技术编号:40120228 阅读:28 留言:0更新日期:2024-01-23 20:32
本发明专利技术涉及芯片检测技术领域,具体为一种芯片检测辅助设备,包括第一驱动座,所述第一驱动座内安装有水平驱动机构,所述水平驱动机构的一端安装有由其驱动的第一转动机构,所述水平驱动机构驱动第一转动机构在第一驱动座内水平移动,所述第一转动机构的上端连接有竖直布置的驱动座,所述驱动座的内部安装有竖直驱动机构,所述竖直驱动机构安装有由其驱动的第二转动机构,且竖直驱动机构驱动第二转动机构在驱动座上竖直移动;与现有技术相比,本发明专利技术自动化程度高,可以完成对芯片的高精度的辅助输送工作,其输送能力强,输送位置的定位精度高,且相较于智能机械手其生产成本低,易于制造及维护,能够满足高效率的芯片检测节奏所需。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及芯片检测,具体为一种芯片检测辅助设备


技术介绍

1、在半导体芯片制造过程中,测试是非常重要的环节,需要将芯片通过检测设备对其性能进行检测,在芯片检测时,测试过程包括多个环节,如信号测量、功率测试、温度测试、耐压测试等,因此会使用各种检测设备及辅助的芯片输送设备。

2、目前,现有技术中,传统的相应辅助设备一般分为两大类,一类为智能机械手,其因智能化高、精度高,可完成各种方式的芯片辅助输送工作,但其存在制造及维护成本高的弊端,而另一类则是输送机,虽然其结构简单,使用成本较低,但其所能执行的输送能力有效,输送位置的定位精度不高,多数还需要配合人工完成,不利于高效率的生产节奏,为此,本专利技术提出能够解决上述问题的一种芯片检测辅助设备。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种芯片检测辅助设备,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种芯片检测辅助设备,包括第一驱动座,所述第一驱动座内安装有水平驱动机构,所述水平驱动机构的一端安本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种芯片检测辅助设备,其特征在于,包括第一驱动座(1),所述第一驱动座(1)内安装有水平驱动机构(2),所述水平驱动机构(2)的一端安装有由其驱动的第一转动机构(3),所述水平驱动机构(2)驱动第一转动机构(3)在第一驱动座(1)内水平移动,所述第一转动机构(3)的上端连接有竖直布置的驱动座(4),所述驱动座(4)的内部安装有竖直驱动机构(5),所述竖直驱动机构(5)安装有由其驱动的第二转动机构(6),且竖直驱动机构(5)驱动第二转动机构(6)在驱动座(4)上竖直移动,所述第二转动机构(6)的一端安装有夹架(7),所述夹架(7)的下表面设有芯片夹具(8),所述芯片夹具(8)包括活动夹...

【技术特征摘要】

1.一种芯片检测辅助设备,其特征在于,包括第一驱动座(1),所述第一驱动座(1)内安装有水平驱动机构(2),所述水平驱动机构(2)的一端安装有由其驱动的第一转动机构(3),所述水平驱动机构(2)驱动第一转动机构(3)在第一驱动座(1)内水平移动,所述第一转动机构(3)的上端连接有竖直布置的驱动座(4),所述驱动座(4)的内部安装有竖直驱动机构(5),所述竖直驱动机构(5)安装有由其驱动的第二转动机构(6),且竖直驱动机构(5)驱动第二转动机构(6)在驱动座(4)上竖直移动,所述第二转动机构(6)的一端安装有夹架(7),所述夹架(7)的下表面设有芯片夹具(8),所述芯片夹具(8)包括活动夹板(81)、固定夹板(82)和夹板驱动机构(83)。

2.根据权利要求1所述的一种芯片检测辅助设备,其特征在于,所述水平驱动机构(2)为电动缸,所述第一转动机构(3)和第二转动机构(6)均为转动电机。

3.根据权利要求2所述的一种芯片检测辅助设备,其特征在于,所述,所述竖直驱动机构(5)包括转动安装在驱动座(4)内的第一螺纹杆(51),所述第一螺纹杆(51)的一端连接有驱动其转动的第一驱动电机(52),所述驱动座(4)上开设有行程槽(53),且第一螺纹套(54)内滑动安装有第一螺纹套(54),所述第一螺纹套(54)螺纹套接在第一螺纹杆(51)的外表面。

4.根据权利要求1所述的一种芯片检测辅助设备,其特征在于,所述夹板驱动机构(83)包括固定在夹架(7)下表面的轨道架(831),所述活动夹板(81)活动安装在轨道架(831)上,所述固定夹板(82)固定连接在夹架(7)的下表面一侧。

5.根据权利要求4所述的一种芯片检测辅助设备,其特征在于,所述夹板驱动机构(83)还包括转动安装在轨道架(831)内的...

【专利技术属性】
技术研发人员:郑澎梁诚郑曙涛莫树任
申请(专利权)人:深圳市比亚泰科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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