【技术实现步骤摘要】
本公开涉及半导体光刻，尤其涉及一种光束能量调节设备的控制方法、装置、介质及晶圆处理设备。
技术介绍
1、相关技术中，晶圆处理设备往往配备有光束能量调节设备，光束能量调节设备是对激光能量进行调节的设备，其原理是通过衰减镜片(光束能量可变衰减镜片，也称variable attenuator mirror，va镜片)对激光能量进行衰减调节后得到可用激光光束，可用激光光束最终会被传输给晶圆处理设备的曝光机后对晶圆进行加工处理。相关技术中，衰减镜片的成本很高，其使用过程中可能会因为镜片灼烧而不能继续使用，此时会对衰减镜片进行更换处理，该衰减镜片的价格极其昂贵，而对于更换光束能量调节设备的衰减镜片过程相对繁琐，又会增加较大的时间成本。
技术实现思路
1、以下是对本公开详细描述的主题的概述。本概述并非是为了限制权利要求的保护范围。
2、本公开提供一种光束能量调节设备的控制方法、装置、介质及晶圆处理设备。
3、根据本公开实施例的第一方面，提供了一种光束能量调节设备的控制方法，所述光束能量调节设备包括光束能量可变衰减机构，
4、所述控制方法包括：
5、获取所述光束能量可变衰减机构的状态信息；
6、根据所述状态信息确定所述光束能量可变衰减机构属于预设状态时，调整所述光束能量可变衰减机构的光束能量可变衰减参数，以调整经过所述光束能量可变衰减机构的光束的能量。
7、根据本公开的一些示例性的实施例，所述光束能量可变衰减机构的状态信息包括
8、所述光束能量可变衰减机构的旋转角度、所述光束能量可变衰减机构的灼伤状态。
9、根据本公开的一些示例性的实施例，所述光束能量可变衰减参数包括以下至少一种：
10、光束能量可变衰减机构相对于光束入射方向的角度、光束能量可变衰减机构接收光束的光束能量可变衰减区域。
11、根据本公开的一些示例性的实施例，所述光束能量可变衰减机构包括多个用于接收光束的光束能量可变衰减区域；
12、所述调整所述光束能量可变衰减机构的光束能量可变衰减参数，包括：
13、将所述光束能量可变衰减机构的接收光束的当前光束能量可变衰减区域调整至预设光束能量可变衰减区域，并将所述预设光束能量可变衰减区域相对于光束入射方向的角度调整至预设角度。
14、根据本公开的一些示例性的实施例，所述控制方法还包括：
15、按照预设规则，将所述光束能量可变衰减机构划分成多个所述光束能量可变衰减区域。
16、根据本公开的一些示例性的实施例，所述将所述光束能量可变衰减机构的接收光束的当前光束能量可变衰减区域调整至预设光束能量可变衰减区域的方法，包括：
17、驱动所述光束能量可变衰减机构沿预设坐标系下的x轴方向和y轴方向移动，以调整所述光束能量可变衰减机构的接收光束的当前光束能量可变衰减区域调整至预设光束能量可变衰减区域；
18、将所述预设光束能量可变衰减区域相对于光束入射方向的角度调整至预设角度的方法，包括：
19、调整所述光束能量可变衰减机构的角度，以使所述预设光束能量可变衰减区域相对于光束入射方向的角度调整至预设角度。
20、根据本公开的一些示例性的实施例，所述预设状态包括所述光束能量可变衰减机构异常。
21、根据本公开的一些示例性的实施例，所述光束能量可变衰减机构包括光束能量可变衰减镜片；
22、所述光束能量可变衰减机构异常包括以下至少一种：
23、所述光束能量可变衰减镜片的当前光束能量可变衰减区域被灼伤；
24、所述光束能量可变衰减机构损耗；
25、所述光束能量可变衰减机构的旋转角度超出预设范围。
26、根据本公开实施例的第二方面，提供了一种光束能量调节设备的控制装置，所述光束能量调节设备包括光束能量可变衰减机构，所述控制装置包括：
27、获取模块，被配置为获取所述光束能量可变衰减机构的状态信息；
28、调整模块，被配置为根据所述状态信息确定所述光束能量可变衰减机构属于预设状态时，调整所述光束能量可变衰减机构的光束能量可变衰减参数，以调整经过所述光束能量可变衰减机构的光束的能量。
29、在本公开一些示例性的实施例中，获取模块被配置为；
30、通过图像获取装置获取所述光束能量可变衰减机构的旋转角度和失效位置；和/或
31、通过灼伤状态获取装置获取所述光束能量可变衰减机构的灼伤状态。
32、在本公开一些示例性的实施例中，所述光束能量可变衰减参数包括以下至少一种：
33、光束能量可变衰减机构相对于光束入射方向的角度、光束能量可变衰减机构接收光束的光束能量可变衰减区域。
34、在本公开一些示例性的实施例中，所述光束能量可变衰减机构包括多个用于接收光束的光束能量可变衰减区域；
35、所述调整模块被配置为：
36、将所述光束能量可变衰减机构的接收光束的当前光束能量可变衰减区域调整至预设光束能量可变衰减区域，并将所述预设光束能量可变衰减区域相对于光束入射方向的角度调整至预设角度。
37、在本公开一些示例性的实施例中，所述控制装置还包括：
38、划分模块，被配置为按照预设规则，将所述光束能量可变衰减机构划分成多个所述光束能量可变衰减区域。
39、在本公开一些示例性的实施例中，所述调整模块被配置为：
40、驱动所述光束能量可变衰减机构沿预设坐标系下的x轴方向和y轴方向移动，以调整所述光束能量可变衰减机构的接收光束的当前光束能量可变衰减区域调整至预设光束能量可变衰减区域；
41、调整所述光束能量可变衰减机构的角度，以使所述预设光束能量可变衰减区域相对于光束入射方向的角度调整至预设角度。
42、在本公开一些示例性的实施例中，所述预设状态包括所述光束能量可变衰减机构异常。
43、在本公开一些示例性的实施例中，所述光束能量可变衰减机构包括光束能量可变衰减镜片；
44、所述光束能量可变衰减机构异常包括以下至少一种：
45、所述光束能量可变衰减镜片的当前光束能量可变衰减区域被灼伤；
46、所述光束能量可变衰减机构损耗；
47、所述光束能量可变衰减机构的旋转角度超出预设范围。
48、根据本公开实施例的第三方面，提供了一种光束能量调节设备的控制装置，所述光束能量调节设备包括光束能量可变衰减机构，所述控制装置包括：
49、获取单元，被配置为获取所述光束能量可变衰减机构的状态信息；
50、调整机构，被配置为调整所述光束能量可变衰减机构的光束能量可变衰减参数；
51、控制单元，被配置为接收所述获取单元发送的状态信息，并根据所述状态信息确定所述光束能量可变衰减机构是否属于预设状态；若属于本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种光束能量调节设备的控制方法，所述光束能量调节设备包括光束能量可变衰减机构，其特征在于，所述控制方法包括：
2.根据权利要求1所述的光束能量调节设备的控制方法，其特征在于，所述光束能量可变衰减机构的状态信息包括以下至少一种：
3.根据权利要求1所述的光束能量调节设备的控制方法，其特征在于，所述光束能量可变衰减参数包括以下至少一种：
4.根据权利要求3所述的光束能量调节设备的控制方法，其特征在于，所述光束能量可变衰减机构包括多个用于接收光束的光束能量可变衰减区域；
5.根据权利要求4所述的光束能量调节设备的控制方法，其特征在于，所述控制方法还包括：
6.根据权利要求4所述的光束能量调节设备的控制方法，其特征在于，所述将所述光束能量可变衰减机构的接收光束的当前光束能量可变衰减区域调整至预设光束能量可变衰减区域的方法，包括：
7.根据权利要求1-6任一项所述的光束能量调节设备的控制方法，其特征在于，所述预设状态包括所述光束能量可变衰减机构异常。
8.根据权利要求7所述的光束能量调节设备的控制方法，
9.一种光束能量调节设备的控制装置，所述光束能量调节设备包括光束能量可变衰减机构，其特征在于，所述控制装置包括：
10.一种光束能量调节设备的控制装置，所述光束能量调节设备包括光束能量可变衰减机构，其特征在于，所述控制装置包括：
11.根据权利要求10所述的光束能量调节设备的控制装置，其特征在于，所述获取单元包括：图像获取装置和灼伤状态获取装置，
12.根据权利要求10所述的光束能量调节设备的控制装置，其特征在于，所述光束能量可变衰减参数包括以下至少一种：
13.根据权利要求12所述的光束能量调节设备的控制装置，其特征在于，所述光束能量可变衰减机构包括多个用于接收光束的光束能量可变衰减区域；
14.根据权利要求13所述的光束能量调节设备的控制装置，其特征在于，所述位置驱动机构包括：
15.根据权利要求14所述的光束能量调节设备的控制装置，其特征在于，所述调整机构包括旋转驱动机构，被配置为驱动所述光束能量可变衰减机构旋转，以将所述预设光束能量可变衰减区域相对于光束入射方向的角度调整至预设角度。
16.根据权利要求9-15任一项所述的光束能量调节设备的控制装置，其特征在于，所述预设状态包括所述光束能量可变衰减机构异常。
17.根据权利要求16所述的光束能量调节设备的控制装置，其特征在于，所述光束能量可变衰减机构包括光束能量可变衰减镜片；
18.一种光束能量调节设备的控制装置，其特征在于，所述控制装置包括：
19.一种计算机可读存储介质，其特征在于，当所述存储介质中的指令由处理器执行时，使得处理器能够执行权利要求1-8任一项所述的控制方法。
20.一种晶圆处理设备，其特征在于，所述晶圆处理设备包括权利要求9-18任一项所述的光束能量调节设备的控制装置。
...【技术特征摘要】
1.一种光束能量调节设备的控制方法，所述光束能量调节设备包括光束能量可变衰减机构，其特征在于，所述控制方法包括：
2.根据权利要求1所述的光束能量调节设备的控制方法，其特征在于，所述光束能量可变衰减机构的状态信息包括以下至少一种：
3.根据权利要求1所述的光束能量调节设备的控制方法，其特征在于，所述光束能量可变衰减参数包括以下至少一种：
4.根据权利要求3所述的光束能量调节设备的控制方法，其特征在于，所述光束能量可变衰减机构包括多个用于接收光束的光束能量可变衰减区域；
5.根据权利要求4所述的光束能量调节设备的控制方法，其特征在于，所述控制方法还包括：
6.根据权利要求4所述的光束能量调节设备的控制方法，其特征在于，所述将所述光束能量可变衰减机构的接收光束的当前光束能量可变衰减区域调整至预设光束能量可变衰减区域的方法，包括：
7.根据权利要求1-6任一项所述的光束能量调节设备的控制方法，其特征在于，所述预设状态包括所述光束能量可变衰减机构异常。
8.根据权利要求7所述的光束能量调节设备的控制方法，其特征在于，所述光束能量可变衰减机构包括光束能量可变衰减镜片；
9.一种光束能量调节设备的控制装置，所述光束能量调节设备包括光束能量可变衰减机构，其特征在于，所述控制装置包括：
10.一种光束能量调节设备的控制装置，所述光束能量调节设备包括光束能量可变衰减机构，其特征在于，所述控制装置包括：
11.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：于泽龙，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。