【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆运输领域，尤其涉及减震机构及具有其的晶圆盒承载平台。
技术介绍
1、在电子半导体领域，晶圆是集成电路制造的基本材料，所有集成电路的设计和制造，都是以晶圆为载体，晶圆厚度一般不足1毫米，重量轻，脆性大，表面洁净度要求高，晶圆通常放置在晶圆盒中存放，晶圆盒通过运输平台运输时，需要在晶圆盒下方设置减震器，以应对运输平台工作过程中产生的震动，减少震动对晶圆盒中存储的晶圆造成影响，防止晶圆破碎或产生裂纹。
2、但是，目前在晶圆盒下方使用的减震器多为单弹性件设置，其只产生一个方向上的减震效果，而不具备对晶圆盒更多方向上的减震，以至于在晶圆运输过程中，只具备单弹性件的减震器对晶圆的保护效果并不理想。
技术实现思路
1、本申请提供了一种减震机构及具有其的晶圆盒承载平台，通过设置第一弹性件和第二弹性件，使得支撑杆具有平行于自身方向上的减震缓冲效果，通过设置平面阻尼机构，使得支撑杆能够通过平面阻尼机构在垂直于自身的方向上移动。
2、第一方面，本申请的实施例提供了一种减震机构，包括：
3、罩壳，所述罩壳一端具有滑动孔；
4、支撑杆，一部分伸入所述滑动孔而设置在所述罩壳内，另一部分位于所述罩壳外；
5、第一弹性件；以及
6、第二弹性件，所述第一弹性件与所述第二弹性件均设置在所述罩壳内，所述第一弹性件和第二弹性件均与所述支撑杆相连接，所述第二弹性件的另一端还与所述罩壳内壁连接，所述第一弹性件与所述第二弹性件被纵向布置，以至
7、平面阻尼机构，与所述支撑杆连接，所述滑动孔与所述支撑杆侧面之间具有预设距离，以使所述支撑杆能够通过所述平面阻尼机构在垂直于所述支撑杆的方向上移动，其中，所述支撑杆在垂直于自身的方向上移动能够引起所述平面阻尼机构产生形变。
8、在本申请提供的实施例中，所述第二弹性件的另一端与所述罩壳具有滑动孔的内壁面连接。
9、在本申请提供的实施例中，所述支撑杆包括安装盘和滑杆，所述安装盘设置在所述滑杆上，并且位于所述罩壳内，所述第一弹性件和所述第二弹性件分别设置在所述安装盘的两侧。
10、在本申请提供的实施例中，所述安装盘的侧壁上设有格挡件，所述第一弹性体的一端抵接于所述格挡件上，所述第二弹性体的一端抵接于所述格挡件上，另一端抵接于所述罩壳的壁上，所述第二弹性体套设在所述支撑杆上。
11、在本申请提供的实施例中，所述第一弹性件与所述第二弹性件在所述罩壳内以压缩的状态设置，以至于所述支撑杆在平行于自身的方向上移动时，第一弹性件与所述第二弹性件均对所述支撑杆产生弹力。
12、在本申请提供的实施例中，所述减震机构还包括底座，所述第一弹性件的另一端连接在所述底座上。
13、在本申请提供的实施例中，所述底座上还设有凸台，所述第一弹性件套设在所述凸台上，所述第一弹性件远离所述凸台的一端套设在所述安装盘上。
14、在本申请提供的实施例中，所述平面阻尼机构包括第三弹性件和固定件，所述第三弹性件的一侧与所述支撑杆连接，另一侧与所述固定件相连接，其中，所述第三弹性件包括一个或多个。
15、在本申请提供的实施例中，所述第三弹性件为阻尼泡沫，所述阻尼泡沫套设在所述支撑杆上，所述固定件与阻尼泡沫套设并且连接，所述固定件与所述罩壳连接。
16、在本申请提供的实施例中，在所述罩壳外部的支撑杆上设置有阻挡座，所述阻挡座上方的支撑杆上套设有两个橡胶圈，两个所述橡胶圈均可移动，所述橡胶圈上方的支撑杆上还设置有紧固结构。
17、第二方面，本申请还提供一种晶圆盒承载平台，包括：
18、承载件，用于承载晶圆盒；
19、减震机构，设置在所述承载件底部，所述减震机构为本申请实施例提供的任一项所述的减震机构。
20、本申请实施例提供的减震机构，通过设置第一弹性件和第二弹性件，使得支撑杆具有平行于自身方向上的减震缓冲效果，通过设置平面阻尼机构，使得支撑杆能够通过平面阻尼机构在垂直于自身的方向上移动，进而使得与支撑杆相连接的晶圆盒在平行于支撑杆和垂直于支撑杆方向上均具有减震缓冲的效果，同时平面阻尼机构与支撑杆相对运动时，能够产生阻力，以达到减震效果。
21、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本申请。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种减震机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的减震机构，其特征在于，所述第二弹性件的另一端与所述罩壳具有滑动孔的内壁面连接。
3.根据权利要求2所述的减震机构，其特征在于，所述支撑杆包括安装盘和滑杆，所述安装盘设置在所述滑杆上，并且位于所述罩壳内，所述第一弹性件和所述第二弹性件分别设置在所述安装盘的两侧。
4.根据权利要求3所述的减震机构，其特征在于，所述安装盘的侧壁上设有格挡件，所述第一弹性体的一端抵接于所述格挡件上，所述第二弹性体的一端抵接于所述格挡件上，另一端抵接于所述罩壳的壁上，所述第二弹性体套设在所述支撑杆上。
5.根据权利要求1所述的减震机构，其特征在于，所述第一弹性件与所述第二弹性件在所述罩壳内以压缩的状态设置，以至于所述支撑杆在平行于自身的方向上移动时，第一弹性件与所述第二弹性件均对所述支撑杆产生弹力。
6.根据权利要求1所述的减震机构，其特征在于，还包括底座，所述第一弹性件的另一端连接在所述底座上。
7.根据权利要求6所述的减震机构，其特征在于，所述底座上还设有凸台，所述第一
8.根据权利要求1所述的减震机构，其特征在于，所述平面阻尼机构包括第三弹性件和固定件，所述第三弹性件的一侧与所述支撑杆连接，另一侧与所述固定件相连接，其中，所述第三弹性件包括一个或多个。
9.根据权利要求8所述的减震机构，其特征在于，所述第三弹性件为阻尼泡沫，所述阻尼泡沫套设在所述支撑杆上，所述固定件与阻尼泡沫套设并且连接，所述固定件与所述罩壳连接。
10.根据权利要求1所述的减震机构，其特征在于，在所述罩壳外部的支撑杆上设置有阻挡座，所述阻挡座上方的支撑杆上套设有两个橡胶圈，两个所述橡胶圈均可移动，所述橡胶圈上方的支撑杆上还设置有紧固结构。
11.一种晶圆盒承载平台，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种减震机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的减震机构，其特征在于，所述第二弹性件的另一端与所述罩壳具有滑动孔的内壁面连接。
3.根据权利要求2所述的减震机构，其特征在于，所述支撑杆包括安装盘和滑杆，所述安装盘设置在所述滑杆上，并且位于所述罩壳内，所述第一弹性件和所述第二弹性件分别设置在所述安装盘的两侧。
4.根据权利要求3所述的减震机构，其特征在于，所述安装盘的侧壁上设有格挡件，所述第一弹性体的一端抵接于所述格挡件上，所述第二弹性体的一端抵接于所述格挡件上，另一端抵接于所述罩壳的壁上，所述第二弹性体套设在所述支撑杆上。
5.根据权利要求1所述的减震机构，其特征在于，所述第一弹性件与所述第二弹性件在所述罩壳内以压缩的状态设置，以至于所述支撑杆在平行于自身的方向上移动时，第一弹性件与所述第二弹性件均对所述支撑杆产生弹力。
6.根据权利要求1所述的减震机构，其特征在于，还包括...
【专利技术属性】
技术研发人员：包星，黄宗勇，
申请(专利权)人：深圳优艾智合机器人科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。