下载减震机构及具有其的晶圆盒承载平台的技术资料

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一种减震机构及具有其的晶圆盒承载平台,其中,该减震机构包括:罩壳,所述罩壳一端具有滑动孔;支撑杆,一部分伸入所述滑动孔而设置在所述罩壳内,另一部分位于所述罩壳外;第一弹性件;以及第二弹性件,所述第一弹性件与所述第二弹性件均设置在所述罩壳内,...
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