【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种晶舟传输机构以及一种半导体工艺设备。
技术介绍
1、晶舟升降机构是立式炉设备的重要传输部件，其通常安装于立式炉硅片传输腔室内，具体用于带动晶舟由带动晶舟由传输腔室上升至工艺腔室内和由工艺腔室下降至传输腔室中。
2、现有的晶舟升降机构通常采用丝杠作为主要传动部件并采用电机作为驱动源，其能够将周向运动转换为直线运动，以带动晶舟进行直线运动；电机与丝杠通常采用皮带传动，这样，电机转动的旋转动力能够通过皮带传动机构传递至丝杠，以带动丝杠旋转。
3、但在进行正常升降运动或者拆装维护过程中，电机可能会发生转动失速故障，导致丝杠高速旋转，进而导致处于较高位置处的晶舟快速下落；而且，皮带组件可能会发生皮带断裂、皮带脱落等传动失效故障，进而导致较高位置处的晶舟可能会在重力作用下失速下坠。而由于晶舟升降机构整体位于立式炉内部，因此外力难以及时阻止其下坠，进而导致晶片和传输腔室内的部件受损，也可能导致操作人员受伤。
技术实现思路
1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的在晶舟传输机构发生故障时难以及时阻止其下坠的技术问题，提出了一种晶舟传输机构以及一种半导体工艺设备。
2、为实现本技术的目的而提供一种晶舟传输机构，应用于半导体工艺设备，其包括：
3、驱动源，用于提供旋转动力；
4、传动组件，与所述驱动源和所述半导体工艺设备的晶舟连接，用于将所述驱动源提供的旋转动力转换为沿指定方向的直线动力，并传递至所述晶
5、制动组件，能够在制动状态和解除制动状态之间转换，在所述制动状态下，所述制动组件用于对所述传动组件进行制动；在所述解除制动状态下，所述制动组件用于解除对所述传动组件的制动。
6、可选的，所述制动组件包括：
7、第一制动件，与所述传动组件固定连接，且在所述第一制动件上设置有第一配合部；
8、第二制动件，能够在第一位置和第二位置之间移动，且在所述第二制动件上设置有第二配合部；
9、其中，在所述第二制动件位于所述第一位置时，所述第一配合部与所述第二配合部相配合，以对所述传动组件进行制动；在所述第二制动件位于所述第二位置时，所述第一配合部与所述第二配合部相分离，以解除对所述传动组件的制动。
10、可选的，所述传动组件包括丝杠、移动块和直线导轨；
11、所述丝杠与所述驱动源连接，以带动所述丝杠旋转；所述丝杠端部与所述第一制动件固定连接；
12、所述直线导轨位于所述丝杠周侧且延伸方向均与所述指定方向相平行；
13、所述移动块与所述直线导轨连接；所述移动块与所述晶舟固定连接，且与所述丝杠螺纹配合，以能够在所述丝杠转动时，在所述丝杠的带动下沿所述指定方向做直线运动。
14、可选的，所述第一制动件包括：
15、旋转轴，与所述丝杠的一端连接，且同轴设置；
16、第一制动块，套设于所述旋转轴上，所述第一制动块上设置有所述第一配合部。
17、可选的，所述第一配合部与所述第二配合部中的一者为限位凸部，另一者为限位凹部；所述第一配合部和所述第二配合部相对设置。
18、可选的，所述限位凸部数量为至少一个；所述限位凹部的数量与所述限位凸部的数量相等；所述限位凹部的延伸方向呈弧线形；
19、所述限位凸部能够插入所述限位凹部中，并与所述限位凹部连接固定。
20、可选的，所述制动组件还包括：
21、固定件，所述固定件与所述第一制动件间隔设置，且相对于所述丝杠的位置固定；所述固定件中设置有空腔，所述空腔具有朝向所述第一制动件的开口；
22、在所述空腔中设置有滑轨，所述第二制动件位于所述空腔中，且能够沿所述滑轨在所述第一位置与所述第二位置之间滑动。
23、可选的，所述第二制动件具有磁性，所述固定件上设置有电磁部，所述电磁部被设置为在通电时具有磁性，以吸引所述第一制动件移动至所述第二位置；
24、所述第二制动件被设置为在所述电磁部断电时，通过自身重力移动至所述第一位置。
25、可选的，还包括皮带组件，所述皮带组件包括皮带、两个带轮和皮带传感器；
26、其中，一个所述带轮与所述驱动源的动力输出端同轴设置且连接固定；另一个所述带轮与所述丝杠的端部同轴设置且连接固定；
27、所述皮带绕设在两个所述带轮外周，用以将所述驱动源输出的动力传递至所述丝杠；
28、所述皮带传感器的检测端朝向所述皮带表面设置，所述皮带传感器用于检测对应位置处的所述皮带是否存在，并在检测到所述皮带不存在时向所述电磁部发送故障信号；
29、所述电磁部还用于在接收到所述故障信号时断电，以释放所述第二制动件。
30、可选的，所述驱动源还用于在自身发生故障时向所述电磁部发送故障信号；
31、所述电磁部用于在接收到所述故障信号时断电，以释放所述第二制动件。
32、作为另一种技术方案，本技术还提供一种半导体工艺设备，其包括工艺腔室、与所述工艺腔室连通的传输腔室、晶舟以及如上文所述的晶舟传输机构；其中，
33、所述晶舟用于承载晶片；所述晶舟与所述晶舟传输机构连接；
34、所述晶舟传输机构设置于所述传输腔室内部，用于带动所述晶舟进入所述工艺腔室，并带动所述晶舟从所述工艺腔室移出。
35、本技术具有以下有益效果：
36、本技术提供的晶舟传输机构，包括用于提供旋转动力的驱动源和用于将旋转动力转换至直线动力的传动组件；还包括制动组件，其能够对传动组件进行制动和解除对传动组件的制动；这样，当晶舟传输机构发生故障时，制动组件能够及时阻止传动组件的传动动作，从而能够及时阻止晶舟下坠，以保护晶片、反应腔室部件和操作人员的人身安全。
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1.一种晶舟传输机构，应用于半导体工艺设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶舟传输机构，其特征在于，所述制动组件包括：
3.根据权利要求2所述的晶舟传输机构，其特征在于，所述传动组件包括丝杠、移动块和直线导轨；
4.根据权利要求3所述的晶舟传输机构，其特征在于，所述第一制动件包括：
5.根据权利要求4所述的晶舟传输机构，其特征在于，所述第一配合部与所述第二配合部中的一者为限位凸部，另一者为限位凹部；所述第一配合部和所述第二配合部相对设置。
6.根据权利要求5所述的晶舟传输机构，其特征在于，所述限位凸部数量为至少一个；所述限位凹部的数量与所述限位凸部的数量相等；所述限位凹部的延伸方向呈弧线形；
7.根据权利要求3所述的晶舟传输机构，其特征在于，所述制动组件还包括：
8.根据权利要求7所述的晶舟传输机构，其特征在于，所述第二制动件具有磁性，所述固定件上设置有电磁部，所述电磁部被设置为在通电时具有磁性，以吸引所述第一制动件移动至所述第二位置；
9.根据权利要求8所述的晶舟传输机
10.根据权利要求8所述的晶舟传输机构，其特征在于，所述驱动源还用于在自身发生故障时向所述电磁部发送故障信号；
11.一种半导体工艺设备，其特征在于，包括工艺腔室、与所述工艺腔室连通的传输腔室、晶舟以及如权利要求1-10任意一项所述的晶舟传输机构；其中，
...【技术特征摘要】
1.一种晶舟传输机构，应用于半导体工艺设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶舟传输机构，其特征在于，所述制动组件包括：
3.根据权利要求2所述的晶舟传输机构，其特征在于，所述传动组件包括丝杠、移动块和直线导轨；
4.根据权利要求3所述的晶舟传输机构，其特征在于，所述第一制动件包括：
5.根据权利要求4所述的晶舟传输机构，其特征在于，所述第一配合部与所述第二配合部中的一者为限位凸部，另一者为限位凹部；所述第一配合部和所述第二配合部相对设置。
6.根据权利要求5所述的晶舟传输机构，其特征在于，所述限位凸部数量为至少一个；所述限位凹部的数量与所述限位凸部的数量相等；所述限位凹部的延伸方向呈弧线形；
【专利技术属性】
技术研发人员：宋新丰，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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