一种静电吸附力测量装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种静电吸附力测量装置和方法，其中，装置包括滑动机构、拉力板、测试台、静电吸盘和控制单元；滑动机构包括滑轨和安装于滑轨的滑块；滑块和拉力板连接；拉力板上设有测力计；控制单元用于发送控制指令至滑动机构以控制滑块沿着滑轨上下移动；静电吸盘安装于测试台，用于施加静电吸附力于晶圆以将其固定；测力计与晶圆连接，用于施加拉力于晶圆以将其提升；测力计发送拉力值至控制单元；控制单元接收拉力值，将晶圆和静电吸盘瞬间分离时测力计的拉力作为晶圆承受的静电吸附力。本装置配合使用控制单元和滑动机构，提高了测量精度，通过滑块的移动和测力计对晶圆的提拉实现了对静电吸附力的测量，减小了测量误差。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及静电吸附力测量领域，尤其涉及一种静电吸附力测量装置和方法。

技术介绍

1、静电吸盘在半导体生产工艺中被用来固定和支撑晶圆，静电吸盘利用静电吸附原理将待加工的晶圆吸附在其表面，避免了晶圆在生产过程中发生移动或错位，从而被广泛应用于刻蚀(etching)、物理气相沉积(pvd)、化学气相沉积(cvd)等工艺。静电吸盘与传统的机械卡盘和真空卡盘相比具有很多优点，它避免了传统机械卡盘在使用过程中由于压力、碰撞等机械原因对晶圆造成不可修复的损伤，减少了晶圆表面腐蚀物颗粒的污染，增大了晶圆的有效加工面积。

2、目前，在实验中，测量静电吸附力采用手动测量的方式，工作人员将晶圆固定在静电吸盘上，静电吸盘对晶圆产生向下的静电吸附力以吸附住晶圆，同时，工作人员将测力计与晶圆连接，提起测力计使得晶圆产生向上的拉力，当晶圆被测力计拉开的一瞬间，记录下此时的测力计的拉力值作为晶圆承受的静电吸附力。然而，采用上拉晶圆的方式测量静电吸附力，测量精度较低，并且人工手动测量导致测量出的静电吸附力误差较大，得出的力值结果直接影响对晶圆的质量的判断。

3、本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种静电吸附力测量装置，其特征在于，所述装置包括滑动机构、拉力板、测试台、静电吸盘和控制单元；

2.根据权利要求1所述的静电吸附力测量装置，其特征在于，所述装置还包括基座和固定组件；

3.根据权利要求2所述的静电吸附力测量装置，其特征在于，所述滑动机构还包括传动系统和导向系统；

4.根据权利要求2所述的静电吸附力测量装置，其特征在于，所述测试台设于所述第一滑轨和所述第二滑轨之间；

5.根据权利要求4所述的静电吸附力测量装置，其特征在于，所述安装板设有防呆开口和若干安装孔；

6.根据权利要求5所述的静电吸附力测量装置，其特征在...

【技术特征摘要】

1.一种静电吸附力测量装置，其特征在于，所述装置包括滑动机构、拉力板、测试台、静电吸盘和控制单元；

2.根据权利要求1所述的静电吸附力测量装置，其特征在于，所述装置还包括基座和固定组件；

3.根据权利要求2所述的静电吸附力测量装置，其特征在于，所述滑动机构还包括传动系统和导向系统；

4.根据权利要求2所述的静电吸附力测量装置，其特征在于，所述测试台设于所述第一滑轨和所述第二滑轨之间；

5.根据权利要求4所述的静电吸附力测量装置，其特征在于，所述安装板设有防呆开口和若干安装孔；

【专利技术属性】
技术研发人员：费珂，王良，
申请(专利权)人：无锡宜恰高技术有限公司，
类型：发明
国别省市：

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