下载一种静电吸附力测量装置和方法的技术资料

文档序号:40016198

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本发明公开了一种静电吸附力测量装置和方法,其中,装置包括滑动机构、拉力板、测试台、静电吸盘和控制单元;滑动机构包括滑轨和安装于滑轨的滑块;滑块和拉力板连接;拉力板上设有测力计;控制单元用于发送控制指令至滑动机构以控制滑块沿着滑轨上下移动;静...
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