【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光伏，尤其涉及一种输送设备、清洗装置、清洗系统和石墨舟清洗方法。
技术介绍
1、在光伏领域中pecvd设备是晶硅太阳能电池生产工艺中的关键设备，通过使反应气体电离产生离子来镀膜。
2、石墨舟作为镀膜工艺生产的载体，在进行工艺反应时采用石墨舟装载硅片，在硅片的表面镀膜的过程中，石墨舟的表面也会镀上绝缘膜，将会使石墨舟表面特性变差，降低其使用寿命，影响反应进行，所以需要定期对石墨舟进行清洗。由于石墨舟本身尺寸大、搬运行程长和需要抬升高度高等现状，采用手动搬运石墨舟时不仅费时耗力而且容易磕碰损伤石墨舟的表面。
3、为此，亟需提供一种输送设备、清洗装置、清洗系统和石墨舟清洗方法以解决上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种输送设备、清洗装置、清洗系统和石墨舟清洗方法，同时对至少四组石墨舟自动化搬运，不仅提高石墨舟的搬运效率，而且避免石墨舟发生磕碰。
2、为实现上述目的，提供以下技术方案：
3、输送设备，包括：
4、机架；
5、抓舟机械装置，设置于所述机架上，所述抓舟机械装置能够同时搬运至少四组石墨舟；
6、软着陆推舟机构，包括升降座和推舟组件，所述升降座设置于所述机架内，至少两组所述推舟组件设置于所述升降座上，每组所述推舟组件用于承接并转运石墨舟。
7、作为输送设备的可选方案，所述软着陆推舟机构还包括至少两组双桨连接组件，每组所述双桨连接组件上设置有两组桨，所述双
8、作为输送设备的可选方案，所述抓舟机械装置，包括x向移动模组、z向移动模组和至少四组抓取模组，所述x向移动模组设置于所述机架上，所述z向移动模组设置于所述x向移动模组上，至少四组所述抓取模组设置于所述z向移动模组，每组所述抓取模组包括两个手抓组件，两个所述手抓组件能够相互靠近或分离，用于抓取石墨舟。
9、作为输送设备的可选方案，所述升降座包括框架和设置于所述框架四周的四组升降组件，所述推舟组件安装于所述框架上。
10、作为输送设备的可选方案，所述升降组件包括顶板、底板和能够往返于所述底板和所述顶板之间的升降件，所述底板与所述机架的底部可拆卸连接，所述顶板与所述机架的侧部可拆卸连接，所述升降件与所述框架可拆卸连接。
11、作为输送设备的可选方案，所述升降座还包括调平组件，所述调平组件包括用于调节所述底板的水平度的第一调节件、用于调节异侧所述底板间距的第一调节组件以及调节同侧所述顶板间距的第二调节组件中的一种或者多种。
12、作为输送设备的可选方案，所述输送设备还包括至少两台上料小车，所述上料小车底部设置有第一导向结构，所述机架底部设置带有导向轮的第二导向结构，所述上料小车推入所述机架时，所述第一导向结构沿所述第二导向结构移动。
13、清洗装置，包括清洗腔室和如上所述的输送设备，所述输送设备设置于所述清洗腔室的首端。
14、清洗系统，包括气柜和如上所述的清洗装置，所述气柜设置于所述清洗腔室的尾端。
15、石墨舟清洗方法，采用如上任一项所述的清洗系统对至少四组石墨舟同时清洗，包括以下步骤：
16、s1、抓舟机械装置由x向移动模组驱动横移至上料小车的石墨舟上方；
17、s2、抓舟机械装置由z向移动模组驱动下降至石墨舟舟耳水平位置；
18、s3、伸缩件工作推动抓舟手爪抱紧舟耳，由伸缩件上的接近传感器检测抓紧是否到位；
19、s4、抓舟机械装置由z向移动模组驱动上升至预设高度，手抓组件上的微动开关检测石墨舟是否在搬运过程时刻处于正确位置；
20、s5、软着陆推舟机构下降，抓舟机械装置由x向移动模组驱动横移至双桨连接组件的正上方；
21、s6、抓舟机械装置由z向移动模组驱动下降至石墨舟坐落于双桨连接组件的桨上；
22、s7、伸缩件推动抓舟手爪松开石墨舟的舟耳；
23、s8、抓舟机械装置由z向移动模组驱动上升避让后续工作，软着陆推舟机构上移至石墨舟与清洗腔室的炉门对齐；
24、s9、由推舟组件驱动双桨连接组件上的桨将石墨舟送入清洗腔室内；
25、s10、推舟组件复位，使桨抽离清洗腔室。
26、与现有技术相比，本专利技术的有益效果：
27、本专利技术所提供的输送设备，能够同时搬运至少四组石墨舟的抓舟机械装置安装于机架上，软着陆推舟机构的升降座安装在机架内，并将至少两组推舟组件安装于升降座上，推舟组件用于承载并转运两组石墨舟，实现对至少四组石墨舟自动化搬运，提高了搬运效率。通过升降座可以调整推舟组件的高度，用于弥补抓舟机械装置与推舟组件之间的高度差，避免石墨舟砸向推舟组件，使石墨舟在抓舟机械装置与推舟组件交接时实现软着陆，保证石墨舟不会发生磕碰。
28、本专利技术所提供的清洗装置，输送设备同时搬运至少四组石墨舟至清洗腔室内，有助于批量化搬运和清洗石墨舟。
29、本专利技术所提供的清洗系统，输送设备将至少四组石墨舟自动搬运至清洗腔室内，气柜向清洗腔室输送清洗气体，实现至少四组石墨舟的快速清洗，提高工作效率。
30、本专利技术所提供石墨舟清洗方法，依次经过上料小车、具有xz向两个自由度的抓舟机械装置，可升降的软着陆推舟结构，两组双桨连接组件，实现对至少四组石墨舟的搬运及清洗，提高产能与工作效率。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.输送设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的输送设备，其特征在于，所述软着陆推舟机构还包括至少两组双桨连接组件(500)，每组所述双桨连接组件(500)上设置有两组桨(700)，所述双桨连接组件(500)安装于所述推舟组件(600)上。
3.根据权利要求1所述的输送设备，其特征在于，所述抓舟机械装置(300)，包括X向移动模组(301)、Z向移动模组(302)和至少四组抓取模组，所述X向移动模组(301)设置于所述机架(100)上，所述Z向移动模组(302)设置于所述X向移动模组(301)上，至少四组所述抓取模组设置于所述Z向移动模组(302)，每组所述抓取模组包括两个手抓组件(304)，两个所述手抓组件(304)能够相互靠近或分离，用于抓取石墨舟。
4.根据权利要求1所述的输送设备，其特征在于，所述升降座(400)包括框架(402)和设置于所述框架(402)四周的四组升降组件(401)，所述推舟组件(600)安装于所述框架(402)上。
5.根据权利要求4所述的输送设备，其特征在于，所述升降组件(401)包括顶板(4
6.根据权利要求5所述的输送设备，其特征在于，所述升降座(400)还包括调平组件，所述调平组件包括用于调节所述底板(4012)的水平度的第一调节件(403)、用于调节异侧所述底板(4012)间距的第一调节组件以及调节同侧所述顶板(4011)间距的第二调节组件中的一种或者多种。
7.根据权利要求1-6任一项所述的输送设备，其特征在于，所述输送设备(1000)还包括至少两台上料小车(200)，所述上料小车(200)底部设置有第一导向结构(201)，所述机架(100)底部设置带有导向轮(101)的第二导向结构(102)，所述上料小车(200)推入所述机架(100)时，所述第一导向结构(201)沿所述第二导向结构(102)移动。
8.清洗装置，其特征在于，包括清洗腔室(2000)和如权利要求1-7任一项所述的输送设备(1000)，所述输送设备(1000)设置于所述清洗腔室(2000)的首端。
9.清洗系统，其特征在于，包括气柜(3000)和如权利要求8所述的清洗装置，所述气柜(3000)设置于所述清洗腔室(2000)的尾端且与所述清洗腔室(2000)连通。
10.石墨舟清洗方法，其特征在于，采用如权利要求9所述的清洗系统对至少四组石墨舟同时清洗，包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.输送设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的输送设备，其特征在于，所述软着陆推舟机构还包括至少两组双桨连接组件(500)，每组所述双桨连接组件(500)上设置有两组桨(700)，所述双桨连接组件(500)安装于所述推舟组件(600)上。
3.根据权利要求1所述的输送设备，其特征在于，所述抓舟机械装置(300)，包括x向移动模组(301)、z向移动模组(302)和至少四组抓取模组，所述x向移动模组(301)设置于所述机架(100)上，所述z向移动模组(302)设置于所述x向移动模组(301)上，至少四组所述抓取模组设置于所述z向移动模组(302)，每组所述抓取模组包括两个手抓组件(304)，两个所述手抓组件(304)能够相互靠近或分离，用于抓取石墨舟。
4.根据权利要求1所述的输送设备，其特征在于，所述升降座(400)包括框架(402)和设置于所述框架(402)四周的四组升降组件(401)，所述推舟组件(600)安装于所述框架(402)上。
5.根据权利要求4所述的输送设备，其特征在于，所述升降组件(401)包括顶板(4011)、底板(4012)和能够往返于所述底板(4012)和所述顶板(4011)之间的升降件(4015)，所述底板(4012)与所述机架（100）的底部可拆卸连接，所述顶板(4011)与所述机架（100）的...
【专利技术属性】
技术研发人员：王树林，翟东洋，张桥林，武凯，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。