【技术实现步骤摘要】
本技术涉及金刚石制造领域，尤其涉及一种用于mpcvd设备的生长台及基片台。
技术介绍
1、微波等离子体化学气相沉积(microwave plasma chemical vapor deposition，简称mpcvd)法是制备高品质单晶金刚石的首选方法，由于高品质单晶金刚石生长需要特殊的生长环境，对mpcvd设备的功能提出了更高的要求。
2、如授权公告号为cn218435940u的中国技术专利公开了一种用于mpcvd设备的反应腔，其中该反应腔包括位于腔体空间内的样品台(即冷却台)和放置在样品台上的钼台(即生长台)，钼台上端面(即生长面)用于放置进行反应生长的金刚石片，当mpcvd设备在使用时，mpcvd中会产生高能的等离子球体，进而对腔体内的环境进行加热，直至加热到所需要的温度。为了对温度进行控制，因此在样品台内部还设置有冷却水道用于进行冷却散热。
3、mpcvd设备的功率可调以适应不同的工况，当mpcvd使用较大的功率进行制造时，此时，腔体内部的温度会升高，而冷却台的冷却速度是相同的，生长台向冷却台导热效率也是相同的，此时就会使得生长台上的生长面的温度升高，过高的温度反而限制了金刚石沉积生长的速度。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种用于mpcvd设备的生长台，用于解决现有技术中生长台与冷却台之间的导热效率恒定，当mpcvd设备的功率变化，生长台的生长面的温度也发生变化的问题；本技术的目的还在于提供一种用于mpcvd设备的基片台，用于解决上述技术问
2、为实现上述目的，本技术中的用于mpcvd设备的生长台采用如下技术方案：
3、一种用于mpcvd设备的生长台，生长台包括至少两个分体台，至少两个相邻的分体台之间设置有导热结构，导热结构包括至少一个导热垫，所述两个相邻的分体台的相对侧面与至少一个导热垫的侧面相贴合，导热垫为自身导热能力可调的可调导热垫或者分体台之间可拆卸设置，以通过更换导热垫或者增减导热垫的数量调整导热结构的导热能力。
4、上述技术方案的有益效果在于：本技术开拓性的提出一种用于mpcvd设备的生长台，通过设置至少两个分体台和导热结构，使得生长台各部分的导热能力不同，相邻的两个分体台的相对侧面与至少一个导热垫的侧面相贴合，使得在生长台的热传递过程中，热量能够依次进行传递，那么导热垫的导热能力也会影响整个生长台的导热能力；导热垫为自身导热能力可调的可调导热垫或者分体台之间可拆卸设置，以通过更换导热垫或者增减导热垫的数量调整导热结构的导热能力，也就是说生长台的导热能力可调，那么也就是说生长台和冷却台之间的导热效率不再恒定，可以依据需求进行生长台和冷却台之间导热能力的调整，进而解决了现有技术中生长台与冷却台之间的导热效率恒定，当mpcvd设备的功率变化，生长台的生长面的温度也发生变化的问题。
5、进一步地，所述用于mpcvd设备的生长台还包括设置在其中一个分体台上的定位柱以及设置在其余分体台上的与定位柱配合的定位孔，所述导热垫上设置有供定位柱穿过的穿孔。
6、上述技术方案的有益效果在于：通过定位柱和定位孔的设置使得不同分体台之间的位置固定，能够依次叠加起来。
7、进一步地，所述定位柱包括螺柱，至少一个与螺柱配合的定位孔为螺纹孔。
8、上述技术方案的有益效果在于：通过螺柱的设置使得不同的分体台之间可以进行挤压，进而与导热垫的结合能力更强，便于增强导热能力。
9、进一步地，所述定位柱为螺栓，位于最外侧的分体台上设置的螺栓穿孔为能够容纳螺栓的螺栓头的沉头孔。
10、上述技术方案的有益效果在于：螺栓结构简单，便于进行配置，且通过沉头孔的设置避免与其他部件发生干涉。
11、进一步地，所述螺纹孔为盲孔。
12、上述技术方案的有益效果在于：通过盲孔的设置使得该分体台上的平面可以使平整的平面，便于进行生长面的设置。
13、进一步地，所述导热垫包括多个，多个导热垫的导热能力不同。
14、上述技术方案的有益效果在于：设置多个导热能力不同的导热垫，只需要更换不同的导热垫即可，便于进行快速更换。
15、进一步地，所述多个导热垫为泡沫金属垫，多个泡沫金属垫的厚度或孔隙或直径不同以使得不同的导热垫导热能力不同。
16、上述技术方案的有益效果在于：通过改变厚度、孔隙以及直径改变导热能力，便于进行批量化生产。
17、为实现上述目的，本技术中的用于mpcvd设备的基片台采用如下技术方案：
18、一种用于mpcvd设备的基片台，包括生长台，其中生长台包括至少两个分体台，至少两个相邻的分体台之间设置有导热结构，导热结构包括至少一个导热垫，所述两个相邻的分体台的相对侧面与至少一个导热垫的侧面相贴合，导热垫为自身导热能力可调的可调导热垫或者分体台之间可拆卸设置，以通过更换导热垫或者增减导热垫的数量调整导热结构的导热能力。
19、上述技术方案的有益效果在于：本技术对现有的mpcvd设备的基片台进行改进，通过设置至少两个分体台和导热结构，使得生长台各部分的导热能力不同，相邻的两个分体台的相对侧面与至少一个导热垫的侧面相贴合，使得在生长台的热传递过程中，热量能够依次进行传递，那么导热垫的导热能力也会影响整个生长台的导热能力；导热垫为自身导热能力可调的可调导热垫或者分体台之间可拆卸设置，以通过更换导热垫或者增减导热垫的数量调整导热结构的导热能力，也就是说生长台的导热能力可调，那么也就是说生长台和冷却台之间的导热效率不再恒定，可以依据需求进行生长台和冷却台之间导热能力的调整，进而解决了现有技术中生长台与冷却台之间的导热效率恒定，当mpcvd设备的功率变化，生长台的生长面的温度也发生变化的问题。
20、进一步地，所述用于mpcvd设备的生长台还包括设置在其中一个分体台上的定位柱以及设置在其余分体台上的与定位柱配合的定位孔，所述导热垫上设置有供定位柱穿过的穿孔。
21、上述技术方案的有益效果在于：通过定位柱和定位孔的设置使得不同分体台之间的位置固定，能够依次叠加起来。
22、进一步地，所述定位柱包括螺柱，至少一个与螺柱配合的定位孔为螺纹孔。
23、上述技术方案的有益效果在于：通过螺柱的设置使得不同的分体台之间可以进行挤压，进而与导热垫的结合能力更强，便于增强导热能力。
24、进一步地，所述定位柱为螺栓，位于最外侧的分体台上设置的螺栓穿孔为能够容纳螺栓的螺栓头的沉头孔。
25、上述技术方案的有益效果在于：螺栓结构简单，便于进行配置，且通过沉头孔的设置避免与其他部件发生干涉。
26、进一步地，所述螺纹孔为盲孔。
27、上述技术方案的有益效果在于：通过盲孔的设置使得该分体台上的平面可以使平整的平面，便于进行生长面的设置。
28、进一步地，所述导热垫包括多个，多个导热垫的导热能力不同。本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于MPCVD设备的生长台，其特征在于：生长台包括至少两个分体台，至少两个相邻的分体台之间设置有导热结构，导热结构包括至少一个导热垫(3)，所述两个相邻的分体台的相对侧面与至少一个导热垫(3)的侧面相贴合，导热垫(3)为自身导热能力可调的可调导热垫或者分体台之间可拆卸设置，以通过更换导热垫(3)或者增减导热垫(3)的数量调整导热结构的导热能力。
2.根据权利要求1所述的用于MPCVD设备的生长台，其特征在于：所述用于MPCVD设备的生长台还包括设置在其中一个分体台上的定位柱以及设置在其余分体台上的与定位柱配合的定位孔，所述导热垫上设置有供定位柱穿过的穿孔。
3.根据权利要求2所述的用于MPCVD设备的生长台，其特征在于：所述定位柱包括螺柱，至少一个与螺柱配合的定位孔为螺纹孔。
4.根据权利要求3所述的用于MPCVD设备的生长台，其特征在于：所述定位柱为螺栓(4)，位于最外侧的分体台上设置的螺栓穿孔为能够容纳螺栓(4)的螺栓头的沉头孔。
5.根据权利要求3或4所述的用于MPCVD设备的生长台，其特征在于：所述螺纹孔为盲孔。p>
6.根据权利要求1-4任一项所述的用于MPCVD设备的生长台，其特征在于：所述导热垫(3)包括多个，多个导热垫(3)的导热能力不同。
7.根据权利要求6所述的用于MPCVD设备的生长台，其特征在于：所述多个导热垫(3)为泡沫金属垫，多个泡沫金属垫的厚度或孔隙或直径不同以使得不同的导热垫(3)导热能力不同。
8.一种用于MPCVD设备的基片台，包括生长台，其特征在于：所述生长台与权利要求1-7任一项所述的用于MPCVD设备的生长台相同。
9.根据权利要求8所述的用于MPCVD设备的基片台，其特征在于：所述基片台还包括生长环，生长环套设在生长台的外周，且生长环的高度不小于分体台和导热垫(3)的高度之和。
10.根据权利要求9所述的用于MPCVD设备的基片台，其特征在于：各分体台的外径相等，生长环的内孔为等径孔。
...【技术特征摘要】
1.一种用于mpcvd设备的生长台，其特征在于：生长台包括至少两个分体台，至少两个相邻的分体台之间设置有导热结构，导热结构包括至少一个导热垫(3)，所述两个相邻的分体台的相对侧面与至少一个导热垫(3)的侧面相贴合，导热垫(3)为自身导热能力可调的可调导热垫或者分体台之间可拆卸设置，以通过更换导热垫(3)或者增减导热垫(3)的数量调整导热结构的导热能力。
2.根据权利要求1所述的用于mpcvd设备的生长台，其特征在于：所述用于mpcvd设备的生长台还包括设置在其中一个分体台上的定位柱以及设置在其余分体台上的与定位柱配合的定位孔，所述导热垫上设置有供定位柱穿过的穿孔。
3.根据权利要求2所述的用于mpcvd设备的生长台，其特征在于：所述定位柱包括螺柱，至少一个与螺柱配合的定位孔为螺纹孔。
4.根据权利要求3所述的用于mpcvd设备的生长台，其特征在于：所述定位柱为螺栓(4)，位于最外侧的分体台上设置的螺栓穿孔为能够容纳螺栓(4)的螺栓头的沉...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔名扬，任丽，李宏利，孙胜浩，
申请(专利权)人：河南天璇半导体科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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