【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜，尤其涉及一种钙钛矿镀膜真空系统。
技术介绍
1、真空镀膜技术主要是在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上，目前电子产品、光学元件等金属或塑料制品的外观装饰性镀膜或功能性镀膜，均可以通过真空镀膜技术获得，传统的真空镀膜设备，通常是在真空镀膜室内固定一挂架，通过靶材和工件通电而达成镀膜的效果。
2、申请号为cn201620836138.x，公开了一种真空镀膜装置，包括真空箱、镀膜箱、温度控制箱和操作屏，所述操作屏安装在镀膜箱前端上部，所述镀膜箱前端下部设置有进出门，所述镀膜箱内部装配有磁控靶、放置台和供电器，所述磁控靶安装在镀膜箱内的顶部，所述供电器共有两个且均连接在磁控靶底部；
3、上述装置，每次进行镀膜和取件时均需要打开镀膜箱，这样就需要对镀膜箱反复进行抽真空操作，并且产品在镀膜后可能需要对其进行冷却以提升镀膜效果，往复的打开真空镀膜室还需反复对真空镀膜室进行降温冷却，耗费大量能源。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术的目的在于提出一种钙钛矿镀膜真空系统，以解决现有的真空镀膜装置，产品在镀膜后可能需要对其进行冷却以提升镀膜效果，往复的打开真空镀膜室还需反复对真空镀膜室进行降温冷却，耗费大量能源的问题。
2、基于上述目的，本技术提供了一种钙钛矿镀膜真空系统，包括高真空腔室，所述高真空腔室的一侧设置有清洁腔室，所述清洁腔室与高真空腔室连通，所述高真空腔室的另一侧设置有冷却腔室，所述冷却腔室与高真空腔室连通，所述清
3、驱动机构，包括限位箱，设置于高真空腔室的顶部且两端分别向外延伸至清洁腔室和冷却腔室，所述限位箱的两侧对称开设有限位槽，所述限位箱内转动连接设置有螺纹丝杆，所述螺纹丝杆上螺接有磁块，所述限位箱的一端固定连接设置有第一电机，所述第一电机输出端与所述螺纹丝杆的一端固定连接；
4、夹具机构，滑动连接设置于限位箱上，用于夹取待镀膜物品；
5、旋转机构，设置于高真空腔室内壁的顶部，用于驱动夹具机构转动从而带动带镀膜物品转动，提高镀膜效果。
6、在一些可选实施例中，所述密封板装置包括板体，所述板体滑动连接设置于隔板内，所述板体的顶部开设有与限位箱宽度相适配的槽口，所述槽口的两侧对称开设有回收槽，所述回收槽内滑动连接设置有与限位槽槽体相适配的卡块，所述回收槽内与卡块之间设置有用于推动卡块移动的第一电推杆，所述第一电推杆的一端与回收槽内壁固定连接，第一电推杆的另一端与卡块固定连接，所述隔板内腔的底部与板体的底部之间设置有第二电推杆，所述第二电推杆的顶端与板体的底部固定连接，第二电推杆的底部与所述隔板内腔的底部固定连接。
7、在一些可选实施例中，所述夹具机构包括滑杆，两组所述限位槽上均滑动连接设置有滑杆，两组所述滑杆的底部之间固定连接设置有连接杆，所述连接杆的中部设置有轴杆，所述轴杆内转动连接设置有转动杆，所述转动杆的顶部设置有顶块，所述转动杆的底部设置有用于夹取待镀膜物品的夹具。
8、在一些可选实施例中，所述滑杆顶端与限位槽滑动配合的部位采用磁性金属材质。
9、在一些可选实施例中，所述旋转机构包括两组竖板，两组所述竖板固定连接设置在限位箱的底部，两组所述竖板底部之间固定连接设置有固定块，所述固定块内转动连接设置轴承套，所述轴承套内滑动连接设置有竖杆，所述竖杆的顶端设置有第一磁铁，所述竖杆的底端设置有第二磁铁所述轴承套的外部设置有外齿环，所述限位箱的底部设置有第二电机，所述第二电机输出端的底部设置有与外齿环啮合的齿轮。
10、在一些可选实施例中，所述竖杆上开设有滑槽，所述轴承套内设置有与滑槽滑动配合的滑块。
11、在一些可选实施例中，所述第一磁铁采用与磁块磁极相同的磁铁，所述第二磁铁采用与磁块磁极相反的磁铁。
12、在一些可选实施例中，所述顶块采用磁性材质
13、从上面所述可以看出，本技术提供的一种钙钛矿镀膜真空系统，通过设置的高真空腔室和冷却腔室，待镀膜的成品先在清洁腔室内完成夹持后，通过分子泵对高真空腔室、冷却腔室和清洁腔室进行抽真空，开启左侧的密封板装置后，启动第一电机带动螺纹丝杆转动以驱动磁块移动，利用磁性带动夹具装置和待镀膜成品移动至高真空腔室内，关闭左侧的密封板装置以对高真空腔室密封，并启动旋转装置驱动夹具装置旋转从而带动待镀膜的成品旋转以提高成品镀膜效果，镀膜完成后打开右侧的密封板装置将成品移送至冷却腔室内部后再关闭右侧的密封板，启动冷却装置对冷却腔室内进行降温冷却，冷却后依次启动两组密封板装置，将成品移送至清洁腔室内，再关闭两组密封板装置，启动密封门将成品取出，可以维持高真空腔室和冷却腔室内的真空环境，避免反复对高真空腔室进行抽真空作业，仅需对清洁腔室进行反复抽真空，由于清洁腔室体积远小于高真空腔室，因此可减少分子泵的能源消耗，同时清洁腔室内的真空环境能够减少热量的传递，从而能够起到保温效果，可在下一次将成品送入冷却腔室内冷却时，减少冷却装置能源的消耗，进而节省该装置整体的能源消耗。
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1.一种钙钛矿镀膜真空系统，包括高真空腔室(1)，所述高真空腔室(1)的一侧设置有清洁腔室(2)，所述清洁腔室(2)与高真空腔室(1)连通，所述高真空腔室(1)的另一侧设置有冷却腔室(3)，所述冷却腔室(3)与高真空腔室(1)连通，所述清洁腔室(2)上设置有密封门(4)，所述高真空腔室(1)的两侧设置有隔板(5)，所述隔板(5)内设置有密封板装置(6)，所述清洁腔室(2)、高真空腔室(1)和冷却腔室(3)三者上均设置有用于抽真空的分子泵(10)，所述冷却腔室(3)上设置有冷却装置(11)，其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的钙钛矿镀膜真空系统，其特征在于，所述密封板装置(6)包括板体(601)，所述板体(601)滑动连接设置于隔板(5)内，所述板体(601)的顶部开设有与限位箱(701)宽度相适配的槽口(602)，所述槽口(602)的两侧对称开设有回收槽(603)，所述回收槽(603)内滑动连接设置有与限位槽(702)槽体相适配的卡块(604)，所述回收槽(603)内与卡块(604)之间设置有用于推动卡块(604)移动的第一电推杆(605)，所述第一电推杆(
3.根据权利要求1所述的钙钛矿镀膜真空系统，其特征在于，所述夹具机构(8)包括滑杆(801)，两组所述限位槽(702)上均滑动连接设置有滑杆(801)，两组所述滑杆(801)的底部之间固定连接设置有连接杆(802)，所述连接杆(802)的中部设置有轴杆(803)，所述轴杆(803)内转动连接设置有转动杆(804)，所述转动杆(804)的顶部设置有顶块(805)，所述转动杆(804)的底部设置有用于夹取待镀膜物品的夹具(806)。
4.根据权利要求3所述的钙钛矿镀膜真空系统，其特征在于，所述滑杆(801)顶端与限位槽(702)滑动配合的部位采用磁性金属材质。
5.根据权利要求1所述的钙钛矿镀膜真空系统，其特征在于，所述旋转机构(9)包括两组竖板(901)，两组所述竖板(901)固定连接设置在限位箱(701)的底部，两组所述竖板(901)底部之间固定连接设置有固定块(902)，所述固定块(902)内转动连接设置轴承套(903)，所述轴承套(903)内滑动连接设置有竖杆(904)，所述竖杆(904)的顶端设置有第一磁铁(908)，所述竖杆(904)的底端设置有第二磁铁(909)所述轴承套(903)的外部设置有外齿环(905)，所述限位箱(701)的底部设置有第二电机(906)，所述第二电机(906)输出端的底部设置有与外齿环(905)啮合的齿轮(907)。
6.根据权利要求5所述的钙钛矿镀膜真空系统，其特征在于，所述竖杆(904)上开设有滑槽，所述轴承套(903)内设置有与滑槽滑动配合的滑块。
7.根据权利要求5所述的钙钛矿镀膜真空系统，其特征在于，所述第一磁铁(908)采用与磁块(704)磁极相同的磁铁，所述第二磁铁(909)采用与磁块(704)磁极相反的磁铁。
8.根据权利要求3所述的钙钛矿镀膜真空系统，其特征在于，所述顶块(805)采用磁性材质。
...【技术特征摘要】
1.一种钙钛矿镀膜真空系统，包括高真空腔室(1)，所述高真空腔室(1)的一侧设置有清洁腔室(2)，所述清洁腔室(2)与高真空腔室(1)连通，所述高真空腔室(1)的另一侧设置有冷却腔室(3)，所述冷却腔室(3)与高真空腔室(1)连通，所述清洁腔室(2)上设置有密封门(4)，所述高真空腔室(1)的两侧设置有隔板(5)，所述隔板(5)内设置有密封板装置(6)，所述清洁腔室(2)、高真空腔室(1)和冷却腔室(3)三者上均设置有用于抽真空的分子泵(10)，所述冷却腔室(3)上设置有冷却装置(11)，其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的钙钛矿镀膜真空系统，其特征在于，所述密封板装置(6)包括板体(601)，所述板体(601)滑动连接设置于隔板(5)内，所述板体(601)的顶部开设有与限位箱(701)宽度相适配的槽口(602)，所述槽口(602)的两侧对称开设有回收槽(603)，所述回收槽(603)内滑动连接设置有与限位槽(702)槽体相适配的卡块(604)，所述回收槽(603)内与卡块(604)之间设置有用于推动卡块(604)移动的第一电推杆(605)，所述第一电推杆(605)的一端与回收槽(603)内壁固定连接，第一电推杆(605)的另一端与卡块(604)固定连接，所述隔板(5)内腔的底部与板体(601)的底部之间设置有第二电推杆(606)，所述第二电推杆(606)的顶端与板体(601)的底部固定连接，第二电推杆(606)的底部与所述隔板(5)内腔的底部固定连接。
3.根据权利要求1所述的钙钛矿镀膜真空系统，其特征在于，所述夹具机构(8)包括滑杆(801)，两组所述限位槽(702)上均滑动连接设置有滑杆(801)，两组所述滑...
【专利技术属性】
技术研发人员：阮华清，梅艳慧，江湖，
申请(专利权)人：安徽华远装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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