【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及反射镜，更具体地说，涉及一种超薄车载激光雷达高面型反射镜的制备方法。
技术介绍
1、随着全球自动驾驶市场热度持续高升，市场预测全球具备自动驾驶乘用车的出货量有望从2020年的2774万辆增长值2024年的5425万辆。激光雷达上车就是为了满足自动驾驶需求，最基本的三个条件是安全性、车规及和量产成本。
2、1、目前市场上所用的激光雷达反射镜基本使用t＝2.0-4.0mm不等的玻璃材质，玻璃材质比钢度低，在激光雷达使用过程中高速旋转易破碎，使用在车上有易碎的风险，难通过车规测试要求；
3、2、为了让激光雷达能全面地扫描汽车周边的状况，需要能够大角度反射光线的反射镜，传统反射镜使用的sio2和tio2两种镀膜材料折射率较低，无法实现大角度反射，会影响激光雷达的扫描范围，一般要通过多个雷达配合使用，厚度很厚，且成本较高；
4、3、同时要实现高反射，需要的镀膜层数较多(＞45层)，使得膜层应力较大，影响产品表面平整度，其pv＞5um，会影响激光雷达的分辨率，无法满足车载激光雷达要求。
技术实现思路
1、针对现有技术中存在的问题，本专利技术的目的在于提供一种高强度、体积薄、易装配、高反射率、高分辨率的载激光雷达高面型反射镜的制备方法。
2、为解决上述问题，本专利技术采用如下的技术方案。一种超薄车载激光雷达高面型反射镜的制备方法，步骤如下：
3、s1、基材选择，选择单晶硅片作为激光雷达反射镜的基材；
4、s2、
5、先经过化学抛光，采用抛光液与单晶硅片发生化学腐蚀反应，使单晶硅片表面si-si化学键发生断裂，使得基底表面变软；
6、再经过物理抛光，采用抛光机，以物理抛光液为加工材料对单晶硅片双面进行抛光，物理磨除表层不平整部分，使得单晶硅片表面平整光滑；
7、s3、清洗，去除单晶硅片表面的抛光液和过程中吸附的脏污，得到了表面洁净的单晶硅片；
8、s4、制作光学薄膜，
9、a、材料选择，选择氢化硅和二氧化硅作为膜层材料,将两种材料进行交叉堆叠制作；
10、b、膜系优化，使用膜系设计软件模拟设计，通过与设计比较和反演计算，调整镀膜参数，修正镀膜工艺，最终获得了与设计近似的光谱曲线；
11、s5、光学薄膜镀制，任选单晶硅片的一面为a面，放入镀膜工装治具中,采用溅射镀膜机，在真空条件下，icp能量轰击，氢化硅和氧化硅两种镀膜材料以化学气相沉积的反应作用下，交替溅镀在单晶硅片的a面上；
12、s6、膜层应力综合，在单晶硅片的a面完成镀膜后，将单晶硅片进行翻转镀膜，在单晶硅片另一面的b面镀上一层氧化硅膜层，达到对a面膜层应力的中和效果。
13、s7、切割，将单晶硅片切割成产品所需形状和规格。
14、进一步的，单晶硅片的厚度为0.725mm。
15、本专利技术实施例的上述技术方案，至少有以下技术效果：
16、(1)强度高：采用单晶硅作为激光雷达反射镜的基材，充分发挥其高硬度、高的比钢度等特性，解决产品易碎问题，可顺利通过车规测试。
17、(2)体积超薄：将激光雷达反射镜的厚度从常规2.0-4.0mm降低至0.725mm，易于车企进行组装应用，解决当前车企针对激光雷达组建安装设计的问题。
18、(3)更大角度更高反射：通过新型镀膜材料的开发和新型镀膜工艺的开发，扩展反射镜在近红外光波段的角度范围(12-78°)，提高反射镜的反射率(870-940nm反射率r>98.5％)，有效提升激光雷达的扫面角度和扫面图像清晰度。
19、(4)表面面型提高：通过基材表面处理工艺的开发，提升基材本身的平整度。同时通过膜系设计优化，降低膜层厚度以及增镀氧化硅中和层，减少膜层应力对产品表面平整度的影响，提升激光雷达的分辨率。
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1.一种超薄车载激光雷达高面型反射镜的制备方法，其特征在于，步骤如下：
2.根据权利要求1所述的一种超薄车载激光雷达高面型反射镜的制备方法，其特征在于：步骤S1中，所述单晶硅片的厚度为0.725mm。
3.根据权利要求1所述的一种超薄车载激光雷达高面型反射镜的制备方法，其特征在于：在步骤S2中，化学腐蚀反应的条件为：抛光液与水比例为1:5混合，PH值10±1，温度36±5℃，时间30±5min。
4.根据权利要求1或3所述的一种超薄车载激光雷达高面型反射镜的制备方法，其特征在于：在步骤S2的物理抛光中，抛光液为聚氨酯抛光皮和粒径低于1um的氧化铈抛光粉配制而成。
5.根据权利要求1或3所述的一种超薄车载激光雷达高面型反射镜的制备方法，其特征在于：抛光机的压力为150±20N，对化学抛光后的单晶硅片进行双面旋转物理抛光60±5min。
6.根据权利要求1所述的一种超薄车载激光雷达高面型反射镜的制备方法，其特征在于：在步骤S3中，采用超声波清洗机和化学清洗试剂，清洗剂PH值8±1；超声电流功率3A；超声清洗时间30min。<...
【技术特征摘要】
1.一种超薄车载激光雷达高面型反射镜的制备方法，其特征在于，步骤如下：
2.根据权利要求1所述的一种超薄车载激光雷达高面型反射镜的制备方法，其特征在于：步骤s1中，所述单晶硅片的厚度为0.725mm。
3.根据权利要求1所述的一种超薄车载激光雷达高面型反射镜的制备方法，其特征在于：在步骤s2中，化学腐蚀反应的条件为：抛光液与水比例为1:5混合，ph值10±1，温度36±5℃，时间30±5min。
4.根据权利要求1或3所述的一种超薄车载激光雷达高面型反射镜的制备方法，其特征在于：在步骤s2的物理抛光中，抛光液为聚氨酯抛光皮和粒径低于1um的氧化铈抛光粉配制而成。
5.根据权利要求1或3所述的一种超薄车载激光雷达高面型反射镜的制备方法，其特征在于：抛光机的压力为150±20n，对化学抛光后的单晶硅片进行双面旋转物理抛光60±5min。
6.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员：羊彦，胡玮霖，江德平，刘武，洪奕皇，熊雯，张帅，付峻峰，胡亮，
申请(专利权)人：江西晶创科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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