【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体集成电路生产，更具体的说是涉及一种在线式自动厌氧炉。
技术介绍
1、目前，在芯片生产过程中，i c集成电路点银浆后芯片需要高温无氧固化，但是目前的高温无氧固化的方式均是采用烘烤箱进行烘烤，将所有需要固化的芯片集中的通过人工摆放在烘烤箱内进行烘烤，以使银浆固化，并且在将芯片放入烘烤箱内之前，需要通过人工将单个芯片提前整齐的摆放在对应的料盒内，再将料盒和芯片一起摆放在烘烤箱内，待烘烤结束后再通过人工将芯片从烘烤箱内取出，整个过程中均需要人工参与，导致芯片的生产效率比较低。
2、因此，如何提供一种能够提高芯片烘烤效率的在线式自动厌氧炉是本领域技术人员亟需解决的问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术提供了一种在线式自动厌氧炉，实现将点银浆后的芯片自动装入空料盒，并自动的输送在烘烤箱内进行烘烤固化，提高ic集成电路点银浆后芯片的固化效率，进而提高芯片的生产效率。
2、为了实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：
3、本专利技术提供了一...
【技术保护点】
1.一种在线式自动厌氧炉，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的在线式自动厌氧炉，其特征在于，还包括过渡箱和冷却箱，且所述过渡箱设置在所述烘烤箱靠近所述料盒提升机构的一端，所述冷却箱设置在所述烘烤箱的另一端，所述过渡箱、烘烤箱和冷却箱相互贯通，所述传送机构依次贯穿所述过渡箱、烘烤箱和冷却箱，所述过渡箱和冷却箱的两端也均设置有可升降的密封门，且所述过渡箱和冷却箱的内部也均与保护气气源连通。
3.根据权利要求2所述的在线式自动厌氧炉，其特征在于，所述冷却箱内设置有冷凝器，所述冷凝器与外界水源连通。
4.根据权利要求1所述的在线式自...
【技术特征摘要】
1.一种在线式自动厌氧炉，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的在线式自动厌氧炉，其特征在于，还包括过渡箱和冷却箱，且所述过渡箱设置在所述烘烤箱靠近所述料盒提升机构的一端，所述冷却箱设置在所述烘烤箱的另一端，所述过渡箱、烘烤箱和冷却箱相互贯通，所述传送机构依次贯穿所述过渡箱、烘烤箱和冷却箱，所述过渡箱和冷却箱的两端也均设置有可升降的密封门，且所述过渡箱和冷却箱的内部也均与保护气气源连通。
3.根据权利要求2所述的在线式自动厌氧炉，其特征在于，所述冷却箱内设置有冷凝器，所述冷凝器与外界水源连通。
4.根据权利要求1所述的在线式自动厌氧炉，其特征在于，所述传送机构包括传送电机和传送链，所述传送链设有两个，两个所述传送链相互间隔，所述传送电机与其中一个所述传送链传动连接，两个所述传送链之间连接有多个料夹，多个所述料夹沿所述传送链的传送方向间隔设置，所述料夹用于卡接所述装有芯片的料盒，所述传送电机与所述控制系统电连接。
5.根据权利要求4所述的在线式自动厌氧炉，其特征在于，所述料盒输送机构包括输送带、输送电机和转移组件，所述输送电机与输送带传动连接，所述转移组件设置在所述输送带末端上方的机架上，所述转移组件用于将所述输送带上的空料盒转移在所述料盒提升机构上，所述输送电机与所述控制系统电连接。
6.根据权利要求5所述的在线式自动厌氧炉，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵华卫，王志超，
申请(专利权)人：湖北心海工业智能设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。