下载一种在线式自动厌氧炉的技术资料

文档序号:39982801

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本发明公开了一种在线式自动厌氧炉,涉及半导体集成电路生产技术领域,包括:机架上设有烘烤箱,内部与保护气气源连通,烘烤箱两端设有可升降的密封门;传送机构,设置在机架上并贯穿烘烤箱,其上设有装有芯片的料盒;料盒输送机构,设置在传送机构的下方,用...
该专利属于湖北心海工业智能设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖北心海工业智能设备有限公司授权不得商用。

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