一种用于磷硼检验炉的籽晶卡料座制造技术

技术编号:39961893 阅读:6 留言:0更新日期:2024-01-09 00:06
一种用于磷硼检验炉的籽晶卡料座,涉及人工晶体炉技术领域,本技术通过在籽晶穿孔的孔底设有贯通至下轴连接孔的进气孔,通过进气孔的设置不仅避免了因温度变化而造成下轴连接孔与下轴因烧蚀发生抱死的现象,同时还省去了使用钼丝捆绑籽晶,有效的避免了因捆绑钼丝断裂而导致新生长硅棒发生倾倒的现象等,同时还可以通过调整每个方向顶丝的旋入长度来调节籽晶在籽晶穿孔的位置,进而确保籽晶与下轴的同心度等,本技术具有结构简便,使用效果好等特点,有效的提高了工作效率等,适合大范围的推广和应用。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及人工晶体炉,尤其是涉及一种用于磷硼检验炉的籽晶卡料座


技术介绍

1、已知的,磷、硼检验炉的拉晶方法是将磷、硼检母样棒先经磨锥、腐蚀清洗后装入磷、硼检验炉内,通过高频线圈加热钼丝引热籽晶,使籽晶头部局部熔化,籽晶与磷、硼检母料棒磨锥处充分接触引红样棒至充分熔接,经过缩颈、放肩、等径拉制、收尾拉制成晶。具体可参见中国专利,专利申请号为201910099636.9,申请日为:2019年01月31日,公开(公告)号为cn109696345a,公开(公告)日为2019年04月30日,专利名称为一种磷硼检样棒头部预热拉晶方法。

2、而在整个磷、硼检验炉内籽晶卡料座是其中的关键部件之一,现有使用的籽晶卡料座结构如图4所示,其是在卡料座主体4的上面设置向上凸起的过渡连接柱9,在过渡连接柱9的上面设置扇形柱7,在扇形柱7上设有l型槽8,在所述l型槽8内设置籽晶,在卡料座主体4的下面设有下轴连接孔6,所述扇形柱7、过渡连接柱9和下轴连接孔6为同心设置,使用时,其是将籽晶通过扎紧钼丝固定在l型槽8内,将下轴连接孔6套接在磷、硼检验炉的下轴上,然后启动磷、硼检验炉开始工作,由于磷、硼检验炉在工作过程中,炉室内为高温环境,因下轴连接孔6与下轴的连接面为紧配合连接,下轴连接孔6与下轴之间的连接面因烧蚀会发生抱死,无法把卡料座主体4从下轴上取出,现有的操作工为了使卡料座主体4与下轴分开,轻者通过来回晃动卡料座主体4,使卡料座主体4与下轴分开,严重时通过敲击卡料座主体4,使卡料座主体4与下轴分开,这样做的弊端是不仅效率低,而且还严重影响了下轴的精度,导致下轴在升降过程中发生晃动。最主要的是因籽晶是通过钼丝捆绑在l型槽8内,当籽晶引晶成功开始拉制后新生长的硅棒的重量会逐渐加重,此时新生长硅棒的稳定性全靠捆绑钼丝来保证,此时,极易因捆绑钼丝断裂而导致新生长硅棒发生倾倒,进而影响磷、硼检验炉的正常工作等。

3、因此,如何提供一种用于磷硼检验炉的籽晶卡料座就显得尤为重要。


技术实现思路

1、为了克服
技术介绍
中的不足,本技术公开了一种用于磷硼检验炉的籽晶卡料座,本技术不仅避免了因温度变化而造成下轴连接孔与下轴因烧蚀发生抱死的现象,同时还省去了使用钼丝捆绑籽晶,有效的避免了因捆绑钼丝断裂而导致新生长硅棒发生倾倒的现象等。

2、为了实现所述的专利技术目的,本技术采用如下技术方案:

3、一种用于磷硼检验炉的籽晶卡料座,包括卡料座主体,在所述卡料座主体的上面设有向下凹陷的籽晶穿孔,在卡料座主体的下面设有向上凹陷的下轴连接孔,所述下轴连接孔与籽晶穿孔为同心设置,在籽晶穿孔的孔底设有贯通至下轴连接孔的旋拧孔,在卡料座主体外缘面的上部间隔设有复数个顶丝孔,在每个顶丝孔内分别设有顶丝。

4、所述的用于磷硼检验炉的籽晶卡料座,所述顶丝孔设置为两组,每组顶丝孔分别包括至少两个顶丝孔,其中一组顶丝孔位于籽晶穿孔的下部,另外一组顶丝孔位于籽晶穿孔的中上部。

5、所述的用于磷硼检验炉的籽晶卡料座,所述下轴连接孔为上端直径小下端直径大的锥形孔。

6、所述的用于磷硼检验炉的籽晶卡料座,所述旋拧孔上设有内螺纹,在所述内螺纹上设有顶丝。

7、所述的用于磷硼检验炉的籽晶卡料座,所述旋拧孔为阶梯孔。

8、所述的用于磷硼检验炉的籽晶卡料座,所述卡料座主体上端头的外缘面上设有向外延伸的环形凸台。

9、所述的用于磷硼检验炉的籽晶卡料座,所述卡料座主体的横截面形状为圆形或椭圆形或方形或多角形中的任意一种。

10、采用上述技术方案,本技术的有益效果是:

11、本技术通过在籽晶穿孔的孔底设有贯通至下轴连接孔的旋拧孔,通过旋拧孔的设置不仅避免了因温度变化而造成下轴连接孔与下轴因烧蚀发生抱死的现象,同时还省去了使用钼丝捆绑籽晶,有效的避免了因捆绑钼丝断裂而导致新生长硅棒发生倾倒的现象等,同时还可以通过调整每个方向顶丝的旋入长度来调节籽晶在籽晶穿孔的位置,进而确保籽晶与下轴的同心度等,本技术具有结构简便,使用效果好等特点,有效的提高了工作效率等,适合大范围的推广和应用。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于磷硼检验炉的籽晶卡料座,包括卡料座主体(4),其特征是:在所述卡料座主体(4)的上面设有向下凹陷的籽晶穿孔(1),在卡料座主体(4)的下面设有向上凹陷的下轴连接孔(6),所述下轴连接孔(6)与籽晶穿孔(1)为同心设置,在籽晶穿孔(1)的孔底设有贯通至下轴连接孔(6)的旋拧孔(5),在卡料座主体(4)外缘面的上部间隔设有复数个顶丝孔(3),在每个顶丝孔(3)内分别设有顶丝。

2.根据权利要求1所述的用于磷硼检验炉的籽晶卡料座,其特征是:所述顶丝孔(3)设置为两组,每组顶丝孔(3)分别包括至少两个顶丝孔(3),其中一组顶丝孔(3)位于籽晶穿孔(1)的下部,另外一组顶丝孔(3)位于籽晶穿孔(1)的中上部。

3.根据权利要求1所述的用于磷硼检验炉的籽晶卡料座,其特征是:所述下轴连接孔(6)为上端直径小下端直径大的锥形孔。

4.根据权利要求1所述的用于磷硼检验炉的籽晶卡料座,其特征是:所述旋拧孔(5)上设有内螺纹,在所述内螺纹上设有顶丝。

5.根据权利要求1所述的用于磷硼检验炉的籽晶卡料座,其特征是:所述旋拧孔(5)为阶梯孔。p>

6.根据权利要求1所述的用于磷硼检验炉的籽晶卡料座,其特征是:所述卡料座主体(4)上端头的外缘面上设有向外延伸的环形凸台(2)。

7.根据权利要求1所述的用于磷硼检验炉的籽晶卡料座,其特征是:所述卡料座主体(4)的横截面形状为圆形或椭圆形或方形或多角形中的任意一种。

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【技术特征摘要】

1.一种用于磷硼检验炉的籽晶卡料座,包括卡料座主体(4),其特征是:在所述卡料座主体(4)的上面设有向下凹陷的籽晶穿孔(1),在卡料座主体(4)的下面设有向上凹陷的下轴连接孔(6),所述下轴连接孔(6)与籽晶穿孔(1)为同心设置,在籽晶穿孔(1)的孔底设有贯通至下轴连接孔(6)的旋拧孔(5),在卡料座主体(4)外缘面的上部间隔设有复数个顶丝孔(3),在每个顶丝孔(3)内分别设有顶丝。

2.根据权利要求1所述的用于磷硼检验炉的籽晶卡料座,其特征是:所述顶丝孔(3)设置为两组,每组顶丝孔(3)分别包括至少两个顶丝孔(3),其中一组顶丝孔(3)位于籽晶穿孔(1)的下部,另外一组顶丝孔(3)位于籽晶穿孔(1)的中上部。

【专利技术属性】
技术研发人员:蔺红辉戚振华范飞
申请(专利权)人:洛阳市自动化研究所有限公司
类型:新型
国别省市:

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