一种多电机同时驱动的籽晶夹头制造技术

一种多电机同时驱动的籽晶夹头，通过在连接盘（6）内设置复数个穿孔（13），复数个穿孔为中间设置一个，其余穿孔分多组呈放射状设置在中间穿孔的外围，这样可以适应更多根硅芯的同时拉制，然后在任意一个穿孔内设置双联齿轮安装轴（12），在双联齿轮安装轴的外缘面上设置双联齿轮（11），在其余的穿孔内分别设置可以旋转的旋转轴（8），然后通过多个电机同时驱动双联齿轮旋转，由双联齿轮驱动从动齿轮（7）旋转，从动齿轮驱动夹持件旋转，在拉制硅芯的过程中，旋转的夹持件带动籽晶旋转，通过籽晶旋转修正由于高频线圈拉制孔内或坩埚内温度不一致导致硅芯椭圆的技术缺陷，进而达到修正硅芯椭圆度的目的等。度的目的等。度的目的等。

【技术实现步骤摘要】
一种多电机同时驱动的籽晶夹头


[0001]本技术涉及人工晶体领域，尤其涉及一种籽晶夹头，具体涉及一种多电机同时驱动的籽晶夹头。

技术介绍

[0002]以拉制硅芯为例，硅芯在拉制过程中，需要使用籽晶进行引晶，待引晶完成后进行晶体的拉制；在此过程中，籽晶需要通过籽晶夹头夹持，待高频线圈将原料棒的端头局部或加热源将坩埚内的碎硅料融化成液体后，籽晶夹头带动籽晶下降直至穿过高频线圈的拉制孔插入原料棒上端的溶液内或籽晶夹头带动籽晶下降直至籽晶的下端头接触坩埚内的液体，然后通过籽晶夹头带动籽晶上升，此时籽晶带动溶液上升并重新结晶，最终形成所需长度的硅芯。
[0003]目前本领域技术人员在拉制硅芯时，通常采用的籽晶夹头是通过在连接盘的下面固定一定数量的装有籽晶的夹持件，然后在连接盘的上面设有挂接机构，挂接机构挂接在机械手上；而通过该结构的籽晶夹头在拉制硅芯时无法完成对所拉制硅芯的椭圆度进行修正，也就是说通过该结构的籽晶夹头拉制出的硅芯椭圆，以直径为8mm的硅芯为例，其长轴与短轴的差值为0.5mm左右，10mm的硅芯其长轴与短轴的差值达到1mm左右，而1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多电机同时驱动的籽晶夹头，包括电机（1）、动力输入轴（3）、主动齿轮（5）、连接盘（6）、从动齿轮（7）、旋转轴（8）和双联齿轮（11），其特征是：在所述连接盘（6）的上面设有复数个贯通至连接盘（6）下面的穿孔（13），复数个穿孔（13）的设置形式为中间设置一个穿孔（13），在中间穿孔（13）的外围呈放射状设有复数组穿孔（13），每组穿孔（13）包括至少两个穿孔（13），在任意一个穿孔（13）内设有双联齿轮安装轴（12），在双联齿轮安装轴（12）的外缘面上设有双联齿轮（11），在其余的穿孔（13）内分别设有旋转轴（8），在每个旋转轴（8）的外缘面上分别设有从动齿轮（7），所述双联齿轮（11）中的下齿轮与其相邻的从动齿轮（7）啮合，双联齿轮（11）中的上齿轮与至少两个主动齿轮（5）啮合，每个主动齿轮（5）分别套接在动力输入轴（3）的外缘面上，所述动力输入轴（3）的上端分别连接电机（1）形成所述的多电机同时驱动的籽晶夹头。2.根据权利要求1所述的多电机同时驱动的籽晶夹头，其特征是：所述双联齿轮安装轴（12）的下端头设有夹持件（9）。3.根据权利要求1所述的多电机同时驱动的籽晶夹头，其特征是：所述旋转轴（8）的下端头设有夹持件（9）。4.根据权利要求1所述的多电机同时驱动的籽晶夹头，其特征是：所述动力输入轴（3）设置在连接盘盖体（4）上，所述连接盘盖体（4）设置在连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘朝轩，
申请(专利权)人：洛阳市自动化研究所有限公司，
类型：新型
国别省市：