晶体生长炉及籽晶更换方法技术

本发明专利技术涉及一种晶体生长炉及籽晶更换方法，晶体生长炉包括炉室、籽晶承载件、位置操纵机构和更换辅助件。籽晶承载件位于炉室，包括中空杆和与中空杆连接且连通的籽晶夹头，中空杆用于容置沿着其长度方向依次层叠设置的多个籽晶，籽晶夹头用于夹持籽晶；位置操纵机构活动设置于机构操纵区内；更换辅助件位于机构操纵区内。本发明专利技术的优点在于：沿着中空杆的长度方向，中空杆内可以依次层叠设置多个籽晶，籽晶夹头也能夹持一个籽晶，从而通过结构较为简单的籽晶承载件来实现在晶体生长炉的炉室内放置多个籽晶。而且，在籽晶承载件所能携带的籽晶的数量范围内，籽晶数量的增加不会导致籽晶承载件的结构更复杂。籽晶承载件的结构更复杂。籽晶承载件的结构更复杂。

【技术实现步骤摘要】
晶体生长炉及籽晶更换方法


[0001]本专利技术涉及晶体生长
，特别是涉及一种晶体生长炉及籽晶更换方法。

技术介绍

[0002]目前，蓝宝石越来越广泛地应用于光电产业，现有技术通过使用蓝宝石晶体生长炉来生长蓝宝石晶体，具体是让蓝宝石晶体生长炉中设置的籽晶和熔融状的氧化铝熔融液接触来生长蓝宝石晶体。
[0003]现有技术使用蓝宝石晶体生长炉来生产蓝宝石时，为了在籽晶因熔化过度或熔断而损坏后不打开炉盖直接在炉内更换籽晶，会在蓝宝石晶体生长炉内设置多个籽晶，当位于籽晶杆上生长晶棒的籽晶损坏后，可以用炉内的其他籽晶来替换损坏的籽晶来生长蓝宝石晶体。
[0004]现有技术为了在炉内放置多个籽晶而在蓝宝石晶体生长炉内设置多个籽晶杆，让每个籽晶杆携带一个籽晶。在生长晶体时，移动其中一个籽晶杆至生长晶体的位置，使该籽晶杆上携带的籽晶与氧化铝熔融液接触。当该籽晶杆上携带的籽晶损坏后，将该籽晶杆移开，再将其他籽晶杆移到生长晶体的位置，用其他籽晶杆上携带的籽晶生长晶体。然而，这会导致晶体生长炉的用于携带籽晶的结构复杂，而且，携带的籽晶越多，相应本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶体生长炉，用于更换籽晶(10)，其特征在于，包括：炉室(20)，包括隔热层(21)，所述隔热层(21)将所述炉室(20)分隔为保温区(22)和机构操纵区(23)；籽晶承载件(30)，位于所述炉室(20)，包括中空杆(31)和与所述中空杆(31)连接且连通的籽晶夹头(32)，所述中空杆(31)用于容置沿着其长度方向依次层叠设置的多个所述籽晶(10)，所述籽晶夹头(32)用于夹持所述籽晶(10)；位置操纵机构(40)，活动设置于所述机构操纵区(23)内，包括用于带动所述籽晶承载件(30)升降的升降组件(41)，以及用于带动所述籽晶承载件(30)转动的转动组件(42)；以及更换辅助件(50)，位于所述机构操纵区(23)内，以在所述转动组件(42)带动所述籽晶承载件(30)转动至所述更换辅助件(50)时，所述更换辅助件(50)用于将位于所述籽晶夹头(32)上的所述籽晶(10)与所述籽晶夹头(32)分离。2.根据权利要求1所述的晶体生长炉，其特征在于，所述籽晶夹头(32)包括筒体(321)和开设于所述筒体(321)内的限位槽(322)，所述限位槽(322)包括第一大径部(3221)和与所述大径部连通的第一小径部(3222)，所述第一大径部(3221)与所述第一小径部(3222)之间形成支撑所述籽晶(10)的台阶(3223)，所述筒体(321)内还包括与所述限位槽(322)连通的避让通道(3211)，以供所述籽晶(10)通过所述避让通道(3211)与所述籽晶夹头(32)分离。3.根据权利要求2所述的晶体生长炉，其特征在于，所述第一大径部(3221)包括大径端和与所述大径端连通的小径端，所述小径端与所述第一小径部(3222)连通，所述大径端自所述小径端的径向尺寸逐渐变小。4.根据权利要求3所述的晶体生长炉，其特征在于，所述避让通道(3211)包括位于所述大径端上方且贯穿所述筒体(321)的侧壁的第一避让通道(32111)和贯穿所述筒体(321)侧壁与所述限位槽(322)连通的第二避让通道(32112)。5.根据权利要求2所述的晶体生长炉，其特征在于，所述籽晶承载件(30)还包括多个隔板(33)，所述隔板(33)将所述中空杆(31)分隔成多个用于容置所述籽晶(10)的容置腔(311)；所述隔板(33)可活动地设于所述中空杆(31)，且所述隔板(33)上设有避让孔(331)，以在所述避让孔(331)与所述限位槽(322)相对时，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹建伟，朱亮，傅林坚，张俊，欧阳鹏根，叶钢飞，阮文星，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：