下载晶体生长炉及籽晶更换方法的技术资料

文档序号:36048475

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本发明涉及一种晶体生长炉及籽晶更换方法,晶体生长炉包括炉室、籽晶承载件、位置操纵机构和更换辅助件。籽晶承载件位于炉室,包括中空杆和与中空杆连接且连通的籽晶夹头,中空杆用于容置沿着其长度方向依次层叠设置的多个籽晶,籽晶夹头用于夹持籽晶;位置操...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。

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