一种带有导流功能的重锤组件制造技术

本申请涉及一种带有导流功能的重锤组件，其包括锤体，所述锤体一端连接有钨绳卡紧组件，所述锤体另一端设有石墨头连接端，所述锤体的周壁上设置有导流片，所述导流片呈板状且其中一条侧边的长度方向与所述锤体的轴线平行。本申请具有切割从副室顶端下来的气流涡旋，提高单晶生长环境稳定性的效果。提高单晶生长环境稳定性的效果。提高单晶生长环境稳定性的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种带有导流功能的重锤组件


[0001]本申请涉及单晶炉设备领域，尤其是涉及一种带有导流功能的重锤组件。

技术介绍

[0002]单晶炉是在惰性气体的环境中，采用石墨电阻加热器，将硅材料融化，并采用直拉法生长无错位单晶的设备，在直拉法生长单晶工艺中，重锤为籽晶加持关键部件，重锤的一端为石墨夹头，且在石墨头背离重锤的一侧加工锥型孔，籽晶卡接于石墨夹头上，重锤另一端连接有钨绳。
[0003]目前，提拉过程在单晶炉的炉室中进行，在进行提拉过程中，副室顶端安装有旋转和提升机构，用于提升和转动重锤，钨绳提拉重锤使籽晶插入溶体表面进行熔接，待籽晶与液面充分熔接后，出现单晶棱点，通过向上提拉和旋转籽晶，完成引晶、放肩、转肩、等径、收尾等一些列工艺过程，最终得到一根完整的单晶硅棒。
[0004]针对上述中的相关技术，专利技术人认为单晶硅棒在进行提拉过程中，从副室顶端下来的气流极易带有一定数量的涡旋，涡旋的存在不利于单晶生长，降低了晶体生长环境的稳定性。

技术实现思路

[0005]为了改善气流涡旋不利于单晶生长的现状，本申请提供一种带有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带有导流功能的重锤组件，包括锤体(1)，所述锤体(1)一端连接有钨绳卡紧组件(11)，所述锤体(1)另一端设有石墨头连接端(13)，其特征在于：所述锤体(1)的周壁上设置有导流片(2)，所述导流片(2)呈板状且其中一条侧边的长度方向与所述锤体(1)的轴线平行。2.根据权利要求1所述的一种带有导流功能的重锤组件，其特征在于：所述导流片(2)沿锤体(1)周壁间隔均匀设置有多个。3.根据权利要求2所述的一种带有导流功能的重锤组件，其特征在于：所述导流片(2)呈楔形，且所述导流片(2)靠近所述钨绳卡紧组件(11)的一侧为楔形的短边。4.根据权利要求3所述的一种带有导流功能的重锤组件，其特征在于：所述导流片(2)背离所述锤体(1)的一侧的两个角加工有圆角。5.根据权利要求1或4所述的一种带有导流功能的重锤组件，其特征在于：所述导流片(2)的厚度从短边向长边的方向逐渐增大。6.根据权利要求1所述的一种带有导流功能的重锤组件，其特征在于：所述导流片(2)滑动插设在锤体(1)内部，所述导流片(2)背离所述锤体(1)的一侧位于所述锤体(1)外部，所述导流片(2)可沿垂直于锤体(1)轴线的方向滑动...

【专利技术属性】
技术研发人员：王维，陈辉，黄鸣，
申请(专利权)人：北京北方华创真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：