一种大尺寸单晶炉用分体式托杆制造技术

一种大尺寸单晶炉用分体式托杆，包括用于承托坩埚的托盘和用于与单晶炉的驱动轴相连接的托筒，托盘的顶面开设有用于容纳坩埚底部埚托的容纳槽，托盘的底面设置有多个卡块，托筒的顶部端面开设与卡块相对应的卡槽，卡块能够伸入卡槽内，且卡块的侧壁与卡槽的侧壁相接触、卡块的自由端与卡槽的底面之间具有缝隙，本技术，降低残余应力以及拉晶过程中的反作用力造成托杆断裂的风险，同时，便于运输和装配。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶硅生产，具体的说是一种大尺寸单晶炉用分体式托杆。

技术介绍

1、直拉单晶炉是单晶硅生产的主要设备，随着8吋、12吋及16吋等大尺寸单晶硅领域的发展，配套单晶炉的热场尺寸也在变大。其中单晶炉中的托杆主要用于支撑坩埚及硅料，并在拉晶过程中带动坩埚旋转和升降，传统的托杆包括轴头和轴体且其多为一体结构，一体结构托杆多采用车削方式进行加工，这种加工方式使得轴头与轴体的过渡位置存在较大的残余应力；同时，随着单晶炉热场尺寸的增加，使得坩埚的尺寸以及坩埚内料量逐渐增加。因此，在承重和旋转过程中会有较大的反向力作用，在拉晶过程中托杆易断裂。

技术实现思路

1、为了解决现有技术中一体式托杆易断裂的问题，本技术提供一种大尺寸单晶炉用分体式托杆，降低残余应力以及拉晶过程中的反作用力造成托杆断裂的风险，同时，便于运输和装配。

2、为了实现上述目的，本技术采用的具体方案为：一种大尺寸单晶炉用分体式托杆，包括用于承托坩埚的托盘和用于与单晶炉的驱动轴相连接的托筒，托盘的顶面开设有用于容纳坩埚底部埚托的容纳槽，托盘的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种大尺寸单晶炉用分体式托杆，其特征在于：包括用于承托坩埚(401)的托盘(1)和用于与单晶炉的驱动轴(403)相连接的托筒(2)，托盘(1)的顶面开设有用于容纳坩埚(401)底部埚托(402)的容纳槽(101)，托盘(1)的底面设置有多个卡块(103)，托筒(2)的顶部端面开设与卡块(103)相对应的卡槽(208)，卡块(103)能够伸入卡槽(208)内，且卡块(103)的侧壁与卡槽(208)的侧壁相接触、卡块(103)的自由端与卡槽(208)的底面之间具有缝隙(3)。

2.如权利要求1所述的一种大尺寸单晶炉用分体式托杆，其特征在于：所述容纳槽(101)的中心位置设置有...

【技术特征摘要】

1.一种大尺寸单晶炉用分体式托杆，其特征在于：包括用于承托坩埚(401)的托盘(1)和用于与单晶炉的驱动轴(403)相连接的托筒(2)，托盘(1)的顶面开设有用于容纳坩埚(401)底部埚托(402)的容纳槽(101)，托盘(1)的底面设置有多个卡块(103)，托筒(2)的顶部端面开设与卡块(103)相对应的卡槽(208)，卡块(103)能够伸入卡槽(208)内，且卡块(103)的侧壁与卡槽(208)的侧壁相接触、卡块(103)的自由端与卡槽(208)的底面之间具有缝隙(3)。

2.如权利要求1所述的一种大尺寸单晶炉用分体式托杆，其特征在于：所述容纳槽(101)的中心位置设置有朝向其上方延伸的凸起(102)，凸起(102)能够伸入埚托(402)底部的槽内。

3.如权利要求1所述的一种大尺寸单晶炉用分体式托杆，其特征在于：所述托盘(1)的中心位置固定连接有能够伸入托筒(2)内腔的连接轴，连接轴的直径小于托盘(1)的直径，卡块(103)环绕连接轴的外侧壁间隔分布。

4.如权利要求1所述的一种大尺寸单晶炉用分体式托杆，其特征在于：所述托盘(1)上开设有环形槽(104)，使托盘(1)中心形成圆形凸台(106)，凸台(106)的直径等...

【专利技术属性】
技术研发人员：马武祥，范吉祥，令狐铁兵，吴彦国，马三宝，邢胜昌，时中洋，张昊，
申请(专利权)人：麦斯克电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：