温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种大尺寸单晶炉用分体式托杆,包括用于承托坩埚的托盘和用于与单晶炉的驱动轴相连接的托筒,托盘的顶面开设有用于容纳坩埚底部埚托的容纳槽,托盘的底面设置有多个卡块,托筒的顶部端面开设与卡块相对应的卡槽,卡块能够伸入卡槽内,且卡块的侧壁与卡槽的侧...该专利属于麦斯克电子材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过麦斯克电子材料股份有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种大尺寸单晶炉用分体式托杆,包括用于承托坩埚的托盘和用于与单晶炉的驱动轴相连接的托筒,托盘的顶面开设有用于容纳坩埚底部埚托的容纳槽,托盘的底面设置有多个卡块,托筒的顶部端面开设与卡块相对应的卡槽,卡块能够伸入卡槽内,且卡块的侧壁与卡槽的侧...