一种侧向加料的单晶炉制造技术

技术编号:39954816 阅读:12 留言:0更新日期:2024-01-08 23:35
本技术涉及单晶炉技术领域,尤其涉及一种侧向加料的单晶炉。其包括单晶炉、加料装置、导料装置和移动装置,所述单晶炉内设有坩埚,所述坩埚的外侧设有加热装置,所述单晶炉的内部上设有保温层,所述保温层上开设有通口,所述单晶炉的一侧设有进料口,所述导料装置包括导料筒,所述导料筒内设有导料机构,所述导料筒的一端贯穿进料口和通口,所述导料筒的另一端与加料装置之间连接有导料口,所述加料装置的底部连接有多个支撑腿,多个所述支撑腿的底部连接有同一个底板,所述底板与移动装置连接,所述单晶炉的顶部还安装有电动推杆。本技术能够均匀加料,防止物料下坠对坩埚造成损坏,能够封堵通口和进料口,防止热能散发,减少热能损失。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶炉,尤其涉及一种侧向加料的单晶炉


技术介绍

1、单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉在使用时,需要进行加料工作。

2、现有技术中,通常在单晶炉的侧向开设通孔,通过加料装置进行加料,单晶炉内的热能容易从通孔内流出,导致能量损失,增加单晶炉的功耗,且在加料时,物料的加料速率无法保持稳定,添加物料时,若物料添加过多过快,容易对坩埚造成损坏。为此,我们提出一种侧向加料的单晶炉。


技术实现思路

1、本技术要解决的技术问题是提供一种可以均匀加料,能够封堵通孔,减少热能损失的侧向加料的单晶炉。

2、本技术为了解决上述问题,所提出的技术方案为:一种侧向加料的单晶炉,包括单晶炉、加料装置、导料装置和移动装置,所述单晶炉内设有坩埚,所述坩埚的外侧设有加热装置,所述单晶炉的内部上设有保温层,所述保温层上开设有通口,所述单晶炉的一侧设有进料口,所述导料装置包括导料筒,所述导料筒内设有导料机构,所述导料筒的一端贯穿进料口和通口,所述导料筒的另一端与加料装置之间连接有导料口,所述加料装置的底部连接有多个支撑腿,多个所述支撑腿的底部连接有同一个底板,所述底板与移动装置连接,所述单晶炉的顶部还安装有电动推杆,所述电动推杆的伸长端固定连接有连接板,所述连接板的底部连接有两个挡板。

3、进一步的,所述导料机构包括电机一和导料杆,所述电机一固定在导料筒的外壁上,所述导料杆转动连接在导料筒内,所述电机一的输出端与导料杆固定连接,所述导料杆上设有螺旋叶片。

4、进一步的,所述移动装置包括固定板,所述固定板上开设有安装槽,所述安装槽内转动连接有丝杆,所述丝杆的表面螺纹连接有移动块,所述移动块与底板固定连接,所述移动块与安装槽滑动连接。

5、进一步的,所述固定板一侧设有电机二,所述电机二的输出端与丝杆固定连接。

6、进一步的,两个所述挡板均贯穿至单晶炉的内部,其中一个所述挡板位于通口的一侧,另一个所述挡板位于进料口的一侧。

7、进一步的,所述导料筒的一侧底部开设有出料口。

8、本技术的有益效果:

9、本技术使导料筒穿过单晶炉进行加料,在加料时,通过导料机构对物料进行导向,方便物料的添加,同时可以使物料均匀的向单晶炉内添加,避免物料突然加入过多损伤坩埚,提高物料添加的均匀性,保护坩埚;在添加结束后,可以对通口和进料口进行封堵,防止热气散出,减少热能损失,稳定单晶炉的炉体内的温度场和气流平衡。

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【技术保护点】

1.一种侧向加料的单晶炉,其特征在于:包括单晶炉(1)、加料装置(2)、导料装置(3)和移动装置(4),所述单晶炉(1)内设有坩埚(5),所述坩埚(5)的外侧设有加热装置(6),所述单晶炉(1)的内部上设有保温层(7),所述保温层(7)上开设有通口(8),所述单晶炉(1)的一侧设有进料口(9),所述导料装置(3)包括导料筒(10),所述导料筒(10)内设有导料机构,所述导料筒(10)的一端贯穿进料口(9)和通口(8),所述导料筒(10)的另一端与加料装置(2)之间连接有导料口(11),所述加料装置(2)的底部连接有多个支撑腿(12),多个所述支撑腿(12)的底部连接有同一个底板(13),所述底板(13)与移动装置(4)连接,所述单晶炉(1)的顶部还安装有电动推杆(14),所述电动推杆(14)的伸长端固定连接有连接板(15),所述连接板(15)的底部连接有两个挡板(16)。

2.根据权利要求1所述的一种侧向加料的单晶炉,其特征在于:所述导料机构包括电机一(17)和导料杆(18),所述电机一(17)固定在导料筒(10)的外壁上,所述导料杆(18)转动连接在导料筒(10)内,所述电机一(17)的输出端与导料杆(18)固定连接,所述导料杆(18)上设有螺旋叶片(19)。

3.根据权利要求1所述的一种侧向加料的单晶炉,其特征在于:所述移动装置包括固定板(20),所述固定板(20)上开设有安装槽(21),所述安装槽(21)内转动连接有丝杆(22),所述丝杆(22)的表面螺纹连接有移动块(23),所述移动块(23)与底板(13)固定连接,所述移动块(23)与安装槽(21)滑动连接。

4.根据权利要求3所述的一种侧向加料的单晶炉,其特征在于:所述固定板(20)一侧设有电机二(24),所述电机二(24)的输出端与丝杆(22)固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种侧向加料的单晶炉,其特征在于:两个所述挡板(16)均贯穿至单晶炉(1)的内部,其中一个所述挡板(16)位于通口(8)的一侧,另一个所述挡板(16)位于进料口(9)的一侧。

6.根据权利要求1所述的一种侧向加料的单晶炉,其特征在于:所述导料筒(10)的一侧底部开设有出料口(25)。

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【技术特征摘要】

1.一种侧向加料的单晶炉,其特征在于:包括单晶炉(1)、加料装置(2)、导料装置(3)和移动装置(4),所述单晶炉(1)内设有坩埚(5),所述坩埚(5)的外侧设有加热装置(6),所述单晶炉(1)的内部上设有保温层(7),所述保温层(7)上开设有通口(8),所述单晶炉(1)的一侧设有进料口(9),所述导料装置(3)包括导料筒(10),所述导料筒(10)内设有导料机构,所述导料筒(10)的一端贯穿进料口(9)和通口(8),所述导料筒(10)的另一端与加料装置(2)之间连接有导料口(11),所述加料装置(2)的底部连接有多个支撑腿(12),多个所述支撑腿(12)的底部连接有同一个底板(13),所述底板(13)与移动装置(4)连接,所述单晶炉(1)的顶部还安装有电动推杆(14),所述电动推杆(14)的伸长端固定连接有连接板(15),所述连接板(15)的底部连接有两个挡板(16)。

2.根据权利要求1所述的一种侧向加料的单晶炉,其特征在于:所述导料机构包括电机一(17)和导料杆(18),所述电机一(17)固定在导料筒(10)的外壁上,所述导...

【专利技术属性】
技术研发人员:洪广辉凌继贝张忠华吴雄张俊黄美亮
申请(专利权)人:江西捷锐机电设备有限公司
类型:新型
国别省市:

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