【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种制造电容性机电变换器的方法，所述方法包括：在基板上形成牺牲层，所述牺牲层用于形成多个空腔以及所述空腔之间的连通部分；在所述牺牲层上形成膜片层；在形成所述空腔的至少一部分壁中形成蚀刻孔，所述蚀刻孔用于将所述牺牲层的一部分暴露于外部；通过所述蚀刻孔蚀刻所述牺牲层，以形成所述空腔以及用于使所述空腔彼此连通的所述连通部分；将所述蚀刻孔闭合，以将所述空腔从外部密封；以及将所述连通部分的至少一部分闭合，以将所述空腔之间的通过所述连通部分的连通中断。
【技术特征摘要】
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