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本发明涉及电容性机电变换器及其制造方法。电容性机电变换器包括：多个空腔，用于使所述空腔彼此连接的连通部分，以及夹着每一空腔的两个电极。所述空腔被从外部密封，并且所述连通部分的至少一部分被闭合，以使所述空腔之间的通过所述连通部分的连通中断。...
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