【技术实现步骤摘要】
本申请涉及真空蒸镀的，尤其是涉及一种晶振音叉片逐层真空蒸镀设备及其制备工艺。
技术介绍
1、音叉片具有体积小、成本低、功耗小、可靠性高、抗过载能力强以及可批量生产等优点，使其适用于战术武器指导、微小卫星姿态控制、微小飞行器导航、作战平台稳定控制及微小型机器人等军事领域，又可广泛应用于汽车稳定控制系统、相机防抖系统、医疗仪器、运动机械及玩具等民用领域。
2、在生产音叉片时，需要在音叉片的两面通过真空镀膜或真空溅射的方法镀上金属电极。其中采用真空镀膜方式制备如申请号为2023100073088的一种凹槽式石英音叉谐振器时，除对音叉片的两面均匀镀膜外，还需要对音叉片两侧壁的表面制备电极。因此，采用真空镀膜方式时，就需要调整音叉片与膜料分子入射方向的角度，使得音叉片的两侧壁形成连续均匀的薄膜电极。
3、但目前的真空蒸镀设备当音叉片完成一个侧壁的镀膜后，需要等待设备降温后，再更改音叉片的角度进行另一个侧壁的镀膜，这样将造成生产效率较低，因此存在一定的改进之处。
技术实现思路
1、为了提高生产效率，本申请提供一种晶振音叉片逐层真空蒸镀设备及其制备工艺。
2、本申请提供的一种晶振音叉片逐层真空蒸镀设备采用如下的技术方案：
3、一种晶振音叉片逐层真空蒸镀设备，包括机架、以及设置在机架上的真空蒸镀仓，所述真空蒸镀仓中可转动安装有蒸镀转盘，所述蒸镀转盘上沿其周向方向等间距分布有若干蒸镀安装架，所述蒸镀安装架转动安装在所述蒸镀转盘上，所述蒸镀安装架中安装有
4、所述真空蒸镀仓在所述蒸镀转盘的中心位置设置有多个蒸镀钼舟，所述蒸镀钼舟用于放置并蒸发金属蒸镀材料；
5、所述真空蒸镀仓内设置有翻转组件，所述蒸镀安装架经过翻转组件时转动以使得所述掩膜板倾斜经过所述蒸镀钼舟上方。
6、可选的，所述掩膜板包括依次叠置的上掩膜片、上定位片、下定位片和下掩膜片，所述上掩膜片、所述上定位片、所述下定位片和所述下掩膜片的四周均设置有若干定位孔；所述上定位片和所述下定位片上均阵列分布有若干定位槽，所述定位槽用于收容音叉片，所述上掩膜片和所述下掩膜片上均阵列分布有若干掩膜槽，所述掩膜槽的位置与所述定位槽的位置逐一相对。
7、可选的，所述定位槽包括主槽、以及分别连通在所述主槽两侧的副槽，所述主槽用于收容音叉片，所述副槽与音叉片的侧壁相连通；
8、所述掩膜槽包括正面电极槽、以及分别连通在所述正面电极槽两侧的侧面电极槽，所述正面电极槽与所述主槽相对，所述侧面电极槽与所述副槽相对。
9、可选的，所述蒸镀安装架包括主安装架、以及设置所述主安装架上的连接转轴，所述连接转轴转动安装在所述蒸镀转盘上，所述主安装架上设置有主安装槽，若干所述掩膜板插接在所述主安装槽中，相邻所述掩膜板之间的侧壁相抵，所述连接转轴与所述翻转组件配合驱使所述主安装架翻转以使得所述掩膜板的两个表面可分别倾斜朝向所述蒸镀钼舟。
10、可选的，所述翻转组件包括主翻转齿轮和主翻转齿条，所述主翻转齿轮同轴安装在所述连接转轴上，所述主翻转齿轮上具有第一数量的主齿部，所述主翻转齿条设置在所述真空蒸镀仓内且位于所述蒸镀转盘一侧，所述主翻转齿条朝向所述蒸镀转盘的表面上间隔设置至少两个主翻转齿，所述主翻转齿与所述主齿部啮合适配，在所述蒸镀转盘转动以将所述蒸镀安装架经过所述翻转组件时，所述主翻转齿与所述主齿部啮合以带动所述连接转轴转动第一角度。
11、可选的，所述连接转轴上同轴安装有副翻转齿轮，所述副翻转齿轮与所述主翻转齿轮间隔设置，所述副翻转齿轮上具有第二数量的副齿部，所述真空蒸镀仓内在所述蒸镀转盘的一侧滑动设置有滑移架，所述主翻转齿条设置在所述滑移架上，所述滑移架上设置有副翻转齿条，所述副翻转齿条与所述主翻转齿条间隔设置，所述副翻转齿条与所述副齿部啮合适配，所述真空蒸镀仓上设置有与所述滑移架相连的驱动部，所述驱动部用于驱使所述副翻转齿条与所述副齿部啮合，所述副翻转齿与所述副齿部啮合以带动所述连接转轴转动第二角度。
12、可选的，所述驱动部为驱动气缸，所述驱动气缸的缸体设置在所述真空蒸镀仓的外壁上，所述驱动气缸的输出杆伸入到所述真空蒸镀仓内以连接在所述滑移架上。
13、可选的，所述主翻转齿条上固定有主连接轴，所述副翻转齿条上固定有副连接轴，所述主翻转齿条通过主连接轴滑动安装在所述滑移架上，所述副翻转齿条通过副连接轴滑动安装在所述滑移架上，所述真空蒸镀仓内沿所述滑移架的滑移方向设置的切换架，所述切换架上设置有主切换块，所述主切换块上设置有与所述主连接轴配合的主顶升平面和主脱离斜面，所述切换架上设置有副切换块，所述副切换块上设置有与副连接轴配合的副顶升平面和副脱离斜面，所述主切换块和所述副切换块间隔设置，所述主切换块和所述副切换块之间形成切换容纳腔，所述主连接轴上套接安装有主复位弹簧，所述副连接轴上套接安装有副复位弹簧。
14、可选的，所述主连接轴的端面设置有与所述主脱离斜面配合的主端部锥面，所述副连接轴的端面设置有与所述副脱离斜面配合的副端部锥面。
15、本申请提供的一种制备工艺采用如下的技术方案：
16、一种应用如上述的晶振音叉片逐层真空蒸镀设备的制备工艺，包括如下步骤：
17、将装有音叉片的掩膜板安装在蒸镀安装架上，将真空蒸镀仓抽真空；
18、在真空环境下，蒸镀安装架经过翻转组件翻转以使得掩膜板倾斜经过蒸镀钼舟上方；
19、通过加热蒸镀钼舟蒸发金属蒸镀材料在音叉片的表面及侧面蒸镀铬层；
20、在所述铬层的上方蒸镀铬锡合金层；
21、在所述铬锡合金层的上方蒸镀铬银合金层；
22、在所述铬银合金层的上方蒸镀银层，完成音叉片表面及侧面的镀膜。
23、综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
24、本申请通过真空蒸镀设备，通过将装有音叉片的掩膜板安装在蒸镀安装架上，在真空环境下，蒸镀转盘转动，带动蒸镀安装架经过翻转组件，翻转组件将翻转蒸镀安装架一定角度，使得掩膜板倾斜经过蒸镀钼舟的上方，蒸镀钼舟中蒸发的金属蒸镀材料将蒸镀在掩膜板的音叉片表面及侧面，其中，蒸镀安装架每经过一次翻转组件，翻转组件将翻转蒸镀安装架一定角度，使得掩膜板能够以不同倾斜角度在蒸镀钼舟上完成音叉片两个表面及两个侧面的镀膜，从而有效提高了音叉片镀膜的生产效率。
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1.一种晶振音叉片逐层真空蒸镀设备，其特征在于，包括机架(1)、以及设置在机架(1)上的真空蒸镀仓(2)，所述真空蒸镀仓(2)中可转动安装有蒸镀转盘(4)，所述蒸镀转盘(4)上沿其周向方向等间距分布有若干蒸镀安装架(5)，所述蒸镀安装架(5)转动安装在所述蒸镀转盘(4)
2.根据权利要求1所述的一种晶振音叉片逐层真空蒸镀设备，其特征在于，所述掩膜板(6)包括依次叠置的上掩膜片(61)、上定位片(62)、下定位片(63)和下掩膜片(64)，所述上掩膜片(61)、所述上定位片(62)、所述下定位片(63)和所述下掩膜片(64)的四周均设置有若干定位孔(67)；
3.根据权利要求2所述的一种晶振音叉片逐层真空蒸镀设备，其特征在于，所述定位槽(65)包括主槽(651)、以及分别连通在所述主槽(651)两侧的副槽(652)，所述主槽(651)用于收容音叉片，所述副槽(652)与音叉片的侧壁相连通；
4.根据权利要求1所述的一种晶振音叉片逐层真空蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀安装架(5)包括主安装架(51)、以及设置所述主安装架(51)上的连接转轴(52)
5.根据权利要求4所述的一种晶振音叉片逐层真空蒸镀设备，其特征在于，所述翻转组件(8)包括主翻转齿轮(81)和主翻转齿条(82)，所述主翻转齿轮(81)同轴安装在所述连接转轴(52)上，所述主翻转齿轮(81)上具有第一数量的主齿部(811)，所述主翻转齿条(82)设置在所述真空蒸镀仓(2)内且位于所述蒸镀转盘(4)一侧，所述主翻转齿条(82)朝向所述蒸镀转盘(4)的表面上间隔设置至少两个主翻转齿(821)，所述主翻转齿(821)与所述主齿部(811)啮合适配，在所述蒸镀转盘(4)转动以将所述蒸镀安装架(5)经过所述翻转组件(8)时，所述主翻转齿(821)与所述主齿部(811)啮合以带动所述连接转轴(52)转动第一角度。
6.根据权利要求5所述的一种晶振音叉片逐层真空蒸镀设备，其特征在于，所述连接转轴(52)上同轴安装有副翻转齿轮(83)，所述副翻转齿轮(83)与所述主翻转齿轮(81)间隔设置，所述副翻转齿轮(83)上具有第二数量的副齿部(831)，所述真空蒸镀仓(2)内在所述蒸镀转盘(4)的一侧滑动设置有滑移架(84)，所述主翻转齿条(82)设置在所述滑移架(84)上，所述滑移架(84)上设置有副翻转齿条(85)，所述副翻转齿条(85)与所述主翻转齿条(82)间隔设置，所述副翻转齿条(85)与所述副齿部(831)啮合适配，所述真空蒸镀仓(2)上设置有与所述滑移架(84)相连的驱动部(86)，所述驱动部(86)用于驱使所述副翻转齿条(85)与所述副齿部(831)啮合，所述副翻转齿(851)与所述副齿部(831)啮合以带动所述连接转轴(52)转动第二角度。
7.根据权利要求6所述的一种晶振音叉片逐层真空蒸镀设备，其特征在于，所述驱动部(86)为驱动气缸，所述驱动气缸的缸体设置在所述真空蒸镀仓(2)的外壁上，所述驱动气缸的输出杆伸入到所述真空蒸镀仓(2)内以连接在所述滑移架(84)上。
8.根据权利要求6所述的一种晶振音叉片逐层真空蒸镀设备，其特征在于，所述主翻转齿条(82)上固定有主连接轴(87)，所述副翻转齿条(85)上固定有副连接轴(88)，所述主翻转齿条(82)通过主连接轴(87)滑动安装在所述滑移架(84)上，所述副翻转齿条(85)通过副连接轴(88)滑动安装在所述滑移架(84)上，所述真空蒸镀仓(2)内沿所述滑移架(84)的滑移方向设置的切换架(91)，所述切换架(91)上设置有主切换块(92)，所述主切换块(92)上设置有与所述主连接轴(87)配合的主顶升平面(93)和主脱离斜面(94)，所述切换架(91)上设置有副切换块(95)，所述副切换块(95)上设置有与副连接轴(88)配合的副顶升平面(96)和副脱离斜面(97)，所述主切换块(92)和所述副切换块(95)间隔设置，所述主切换块(92)和所述副切换块(95)之间形成切换容纳腔，所述主连接轴(87)上套接安装有主复位弹簧(89)，所述副连接轴(88)上套接安装有副复位弹簧(90)。
9.根据权利要求8所述的一种晶振音叉片逐层真空蒸镀设备，其特征在于，所述主连接轴(87)的端面设置有与所述主脱离斜面(94)配合的主端部锥面...
【技术特征摘要】
1.一种晶振音叉片逐层真空蒸镀设备，其特征在于，包括机架(1)、以及设置在机架(1)上的真空蒸镀仓(2)，所述真空蒸镀仓(2)中可转动安装有蒸镀转盘(4)，所述蒸镀转盘(4)上沿其周向方向等间距分布有若干蒸镀安装架(5)，所述蒸镀安装架(5)转动安装在所述蒸镀转盘(4)
2.根据权利要求1所述的一种晶振音叉片逐层真空蒸镀设备，其特征在于，所述掩膜板(6)包括依次叠置的上掩膜片(61)、上定位片(62)、下定位片(63)和下掩膜片(64)，所述上掩膜片(61)、所述上定位片(62)、所述下定位片(63)和所述下掩膜片(64)的四周均设置有若干定位孔(67)；
3.根据权利要求2所述的一种晶振音叉片逐层真空蒸镀设备，其特征在于，所述定位槽(65)包括主槽(651)、以及分别连通在所述主槽(651)两侧的副槽(652)，所述主槽(651)用于收容音叉片，所述副槽(652)与音叉片的侧壁相连通；
4.根据权利要求1所述的一种晶振音叉片逐层真空蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀安装架(5)包括主安装架(51)、以及设置所述主安装架(51)上的连接转轴(52)，所述连接转轴(52)转动安装在所述蒸镀转盘(4)上，所述主安装架(51)上设置有主安装槽，若干所述掩膜板(6)插接在所述主安装槽中，相邻所述掩膜板(6)之间的侧壁相抵，所述连接转轴(52)与所述翻转组件(8)配合驱使所述主安装架(51)翻转以使得所述掩膜板(6)的两个表面可分别倾斜朝向所述蒸镀钼舟(7)。
5.根据权利要求4所述的一种晶振音叉片逐层真空蒸镀设备，其特征在于，所述翻转组件(8)包括主翻转齿轮(81)和主翻转齿条(82)，所述主翻转齿轮(81)同轴安装在所述连接转轴(52)上，所述主翻转齿轮(81)上具有第一数量的主齿部(811)，所述主翻转齿条(82)设置在所述真空蒸镀仓(2)内且位于所述蒸镀转盘(4)一侧，所述主翻转齿条(82)朝向所述蒸镀转盘(4)的表面上间隔设置至少两个主翻转齿(821)，所述主翻转齿(821)与所述主齿部(811)啮合适配，在所述蒸镀转盘(4)转动以将所述蒸镀安装架(5)经过所述翻转组件(8)时，所述主翻转齿(821)与所述主齿部(811)啮合以带动所述连接转轴(52)转动第一角度。
6.根据权利要求5所述的一种晶振音叉片逐层真空蒸镀设备，其特征在于，所述连接转轴(52)上同轴安装有副翻转齿轮(83)，所述副翻转齿轮(83...
【专利技术属性】
技术研发人员：张其俊，陈卫，
申请(专利权)人：浙江雅晶电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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