一种晶圆清洗刷辅助装置制造方法及图纸

本申请提供一种晶圆清洗刷辅助装置，应用于晶圆清洗技术领域，其中包括清洁刷

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆清洗刷辅助装置


[0001]本申请涉及晶圆清洗
，具体涉及一种晶圆清洗刷辅助装置
。

技术介绍

[0002]刷子是刷洗模块的核心元件，负责去除晶圆表面的残留颗粒和残留化学品
。
目前对刷洗模块内刷子的更换采用手动更换
。
[0003]其具体操作流程为：
[0004](1)
拆卸刷子前，操作员将所戴手套清洁干净；
[0005](2)
拆卸刷子时，一只手将滑动轴套往后滑出，另一只手握住刷子前端
,
整体向后用力
。
[0006](3)
当刷子前端移出后，再反向用力，将刷子后端移出
。
[0007]通过上述，我们知道刷子箱体内的刷子更换需要操作员双手同时操作，而刷子箱体内部空间较小不便将刷子连带滑动套轴往后推动，操作不当容易损伤喷管模块
。
[0008]基于此，需要一种新技术方案
。

技术实现思路

[0009]有鉴于此，本说明书实施例提供一种晶圆清洗刷辅助装置，降低了操作本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种晶圆清洗刷辅助装置，其特征在于：包括清洁刷
、
驱动端和从动端，所述清洁刷的两端分别与驱动端和从动端可拆卸连接，所述驱动端用于驱动清洁刷转动；所述从动端包括滑动轴套和伸缩部，所述清洁刷的一端与滑动轴套可拆卸连接，所述滑动轴套可沿清洁刷的长度方向滑动，所述伸缩部用于驱动滑动轴套滑动
。2.
根据权利要求1所述的晶圆清洗刷辅助装置，其特征在于：所述清洁刷的两端均连接有转轴，两所述转轴可分别与驱动端和滑动轴套可拆卸连接
。3.
根据权利要求2所述的晶圆清洗刷辅助装置，其特征在于：所述转轴分别与驱动端和滑动轴套卡接连接或插接连接
。4.
根据权利要求3所述的晶圆清洗刷辅助装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张帅帅，杨俊男，闫晓晖，
申请(专利权)人：上海积塔半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：