【技术实现步骤摘要】
一种横向功率MOSFET器件及其制造方法
[0001]本专利技术属于
MOSFET
器件
,具体涉及一种横向功率
MOSFET
器件及其制造方法
。
技术介绍
[0002]MOSFET
在工业中有广泛的应用,主要用在逻辑电路,放大电路,功率电路等方面
。
普遍应用于功率电路,用于驱动大功率电子设备,如摩托车,电动车,加速器等
。MOSFET
也被广泛应用在信息处理中,为制造硬件加速器提供了可能性
。
此外,许多专用晶体管都是基于
MOSFET
技术
。
[0003]随着
MOS
器件的特征尺寸不断缩小,其源极
、
漏极和栅极的尺寸也在缩小,而栅级的主要作用是通过施加电压控制
MOS
管的导电性能,若栅极的长度缩减时,
MOS
管栅极电压太低会导致
mos
管导通不完全,内阻增大,发热量增加;其次,
MOS
管栅极电压太低影响电阻,电压越低电阻越大,会导致保险丝烧断,因此传统的栅极长度往往较短,使得
MOS
管的寿命处于不稳定状态;另一方面,若多个
MOS
管在电路板上集成使用时,通常为了增加
MOS
管的散热性能,会在其上侧连接散热片对其进行散热,但多个
MOS
管集成使用的情况往往较低,若
MOS
管独立使用时 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种横向功率
MOSFET
器件,其特征在于:包括基板(1)和外壳(
13
),所述基板(1)上表面连接有衬底(2),所述衬底(2)上表面连接有外延层(3),所述外延层(3)上表面连接有漂移区(4),所述漂移区(4)上表面从左至右依次设置有源极(5)和漏极(6),所述漂移区(4)上表面位于源极(5)和漏极(6)之间设置有填充层(7),所述填充层(7)内设置有栅极(8),所述栅极(8)为弯曲形设置,所述栅极(8)上表面设置有第一钝化层(9)和第二钝化层(
10
);所述源极(5)上表面设置有源极金属层(
11
),所述漏极(6)上表面设置有漏极金属层(
21
),所述源极(5)和漏极(6)上表面与源极金属层(
11
)和漏极金属层(
21
)之间均设置有第一导热片(
12
),所述源极金属层(
11
)和漏极金属层(
21
)均贯穿第一导热片(
12
)分别与源极(5)和漏极(6)导通;所述基板(1)位于外壳(
13
)内部,所述外壳(
13
)端面设置有导通触点(
14
),所述外壳(
13
)远离导通触点(
14
)一端端面固定连接有体端子(
15
),所述体端子(
15
)侧壁开设有圆孔,所述体端子(
15
)侧壁设置有散热组件
。2.
根据权利要求1所述的一种横向功率
MOSFET
器件,其特征在于:所述散热组件包括固定连接在体端子(
15
)上下两侧的第二导热片(
16
),所述第二导热片(
16
)侧壁上均固定连接有散热翅片(
17
),所述圆孔侧壁开设有环形槽(
18
),所述环形槽(
18
)侧壁开设有导热孔(
19
),所述第一导热片(
12
)贯穿外壳(
13
)并与第二导热片(
16
)连接
。3.
根据权利要求2所述的一种横向功率
MOSFET
器件,其特征在于:所述导热孔(
19
)呈环形阵列等距分布,且所述导热孔(
19
)均贯穿体端子(
15
)侧壁
。4.
根据权利要求1所述的一种横向功率
MOSFET
器件,其特征在于:所述第一导热片(
12
)与源极(5)和漏极(6)之间涂抹有导热胶(
20
)
。5.
根据权利要求1所述的一种横向功率
MOSFET
器件,其特征在于:所述填充层(7)为氧化硅材质
。6.
根据权利要求2所述的一种横向功率
MOSFET
器件,其特征在于:所...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄昌民,张志奇,谷岳生,黄富强,
申请(专利权)人:无锡昌德微电子股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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