焊球印刷装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种使焊球均匀地分散到掩模面上、填充到掩模开口部的焊球印刷装置。焊球送出部具有焊球送出部、凸状的线材、焊球旋转回收机构；该焊球送出部接受来自焊球储存部的焊球；该凸状的线材以包围焊球送出部的焊球送出口的方式安装，并且按规定间隔排列多个线材；该焊球旋转回收机构将焊球搂聚到凸状的线材。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种在半导体等的基板的电极上利用印刷法形成焊锡的印刷装置，特 别是涉及使用焊球进行印刷的焊球印刷装置。
技术介绍
在以往的焊球印刷装置中，提出有各种各样的结构，这些结构搭载将焊球印刷到 半导体等的基板上的掩模，用于将焊球供给到该掩模面上，从设于掩模的开口部将供给的 焊球压入到半导体等的基板面上。例如，在专利文献1中记载了如下结构的印刷装置，该印刷装置从焊球供给部将 焊球供给到掩模面上，为了从设于掩模的开口部将供给到掩模面的焊球压入到基板面上， 一边将设于存入件的多个线状构件推压在掩模面，一边使其在水平方向移动。而且，在该印刷装置的场合，记载了这样的内容，S卩，在掩模的左端具有焊球吸引 口，由其将残留于掩模上面的球吸引除去。另外，在专利文献2中，公开了这样的内容，S卩，一边使涂刷头旋转，一边使其水平 移动，将焊球存入到掩模开口部，在这样的结构中，从设于涂刷头上部的计量部将规定量的 焊球供给到涂刷头的旋转轴部，从旋转轴将焊球供给到掩模面上。在上述专利文献1的结构中，当将掩模载置在台上时，在掩模的搬入侧的入口设 置焊球供给装置，一边从供给装置将焊球供给到掩模面，一边使掩模移动到台上。这样，将焊球均勻地分散配置在掩模面上。此后，水平地移动存入件，将焊球供给 到掩模开口部。在该方式中，当将焊球分散配置在掩模上时，存在由掩模的移动侧的变动、 掩模停止时的振动在分散配置了的焊球中产生偏移的危险。另外，由于在将掩模安放在印刷装置之前供给焊球，因而存在每次印刷都需要使 掩模移动，生产节拍时间延长的问题。虽然使得未被用于印刷的焊球由与焊球供给头分开设置的吸引口吸引，但在该场 合，若不能保持线状的存入件的前头的线材，则由后方的线材保持、将剩余焊球输送到达吸 引口近旁，但存在发生保持于后方的线材的焊球与先供给的焊球重叠地供给到掩模开口部 的情形的可能性。另外，在如引用文献2那样从旋转轴将焊球供给到掩模面的方式中，随着涂刷头 的旋转，将焊球分散配置在掩模面，因此，未必能够均勻地分散配置焊球，存在发生印刷缺 陷、修复工序必不可少的课题。日本特开2005-101502号公报日本特开2008-142775号公报
技术实现思路
如上述那样，在掩模上分散配置焊球时，由于掩模的移动侧的变动、掩模停止时的 振动可能在分散配置了的焊球中产生偏移，另外，随着涂刷头的旋转，将焊球分散配置在掩模面上，因此，不能均勻地分散配置焊球，在结构方面及印刷方法方面存在课题。因此，本专利技术的第一目的在于提供一种能够使焊球变得均勻、能够以良好精度印 刷焊球的焊球印刷装置。本专利技术的第二目的在于提供一种能够缩短焊球印刷的生产节拍时间的焊球印刷直ο本专利技术的第三目的在于提供一种结构简洁、装置小型的焊球印刷装置。本专利技术的第四目的在于提供一种能够由焊球旋转回收机构对未填充到掩模开口 部的焊球进行回收并再利用的焊球印刷装置。本专利技术的第五目的在于提供一种在从焊球储存部向焊球送出部供给焊球之际能 够防止焊球的飞散、切实地将焊球供给到焊球送出部的焊球印刷装置。本专利技术的第六目的在于提供一种能够缩短焊球暴露在大气中的时间、防止氧化的 焊球印刷装置。本专利技术的焊球印刷装置，通过掩模将焊球印刷到基板和上述基板上的电极；其中， 具有焊球储存部、焊球送出部、移动机构部、励振单元；该焊球储存部储存上述焊球；该焊 球送出部位于上述焊球储存部的下方，从上述焊球储存部接受规定量的焊球，将接受了的 上述焊球供给到位于上述基板上的上述掩模面上；该移动机构部沿上述基板使上述焊球送 出部移动；该励振单元向上述焊球送出部施加规定的振动；上述焊球送出部具有焊球接受 部、凸状的线材、焊球旋转回收机构；该焊球接受部为长方形的漏斗状，用于接受来自上述 焊球存储部的焊球；该凸状的线材具有按规定间隔排列了多个线材的结构，用于将该接受 到了的上述焊球供给和分散到位于上述基板上的上述掩模面上；该焊球旋转回收机构分别 位于上述凸状的线材的前后方部，将未由上述凸状的线材填充而是分散了的焊球聚集到上 述凸状的线材的近旁。另外，上述焊球送出部以覆盖上述凸状的线材以及上述焊球旋转回收机构的方 式、由头顶板和盖板构成为密闭型头结构，在上述头顶板上安装上述长方形的漏斗状的上 述焊球接受部的宽开口侧。另外，在上述结构中，上述焊球送出部以覆盖上述焊球填充构件及上述焊球旋转 回收机构的方式由头顶板和盖板形成为密闭型头结构，在上述头顶板上安装上述漏斗状的 上述焊球接受部的宽开口侧。另外，在上述结构中，上述移动机构部还具有使焊球送出部上下移动的上下驱动 机构，由上述上下驱动机构作用将设于焊球送出部的上述凸状的线材推压在上述掩模面的 推压力，通过规定的推压力使上述凸状的线材相对于焊球送出部的移动方向接触。另外，在上述结构中，上述凸状的线材由规定间隔的多个线材构成，该线材为厚 0. 05 0. Imm的钢板，上述线材的宽度为0. 1mm，线材间隔为0. Imm 0. 3mm，上述线材相对 于与上述焊球送出部的前进方向成直角的方向按约5度 35度的倾斜设置。另外，在上述结构中，成为相互相反方向地设置设于上述焊球送出部的多个上述 焊球填充构件的线材的倾斜方向。另外，在上述结构中，还具有印刷台、上下2视场照相机、驱动装置、驱动机构；该 印刷台固定上述基板；该上下2视场照相机用于在上述印刷台上识别上述基板上的电极图 案和上述掩模的电极图案；该驱动装置根据用上述2视场照相机识别的结果驱动上述印刷台，进行定位；该驱动机构以使上述基板接触上述掩模的方式使上述印刷台上升。本专利技术能够将焊球均勻地供给到掩模上，而且焊球的供给也可通过观察焊球存储 部的焊球的剩余量而更换焊球存储部或从外部向焊球存储部供给焊球而实现，具有不需要 因为焊球过多或不足而中断作业等的效果。另外，由于配置了设于焊球送出口的半螺旋状的线材或凸状的线材，因此，在由半 螺旋状的线材或凸状的线材形成的空间中能够利用振动在焊球上施加旋转力，所以，具有 能够均勻地分散焊球，在掩模开口部也能够顺利地填充的特征。另外，残留在掩模面上的剩 余焊球由焊球旋转回收机构回收到半螺旋状的线材或凸状的线材近旁加以使用，所以，具 有能够有效地利用焊球的效果。附图说明图1为表示焊球印刷装置用焊球供给头的一实施例的概略结构的图。图2为用于印刷焊球的焊球印刷装置的概略结构图。图3为表示焊球印刷装置用焊球送出部的一实施例的详细结构的图。图4为表示用于焊球送出部的半螺旋状的线材的一实施例的图。图5为说明焊球填充的动作的图。图6为表示焊球印刷方法的一实施例的流程图。符号说明1焊球印刷装置、2头移动架、3焊球供给头、4头上下驱动机构、10印刷台、11印刷 台上升机构、15照相机、20遮挡物、21晶片、24焊球、45清扫机构、60焊球储存部、62线材、 64焊球送出部、65励振器、66凸轮、73c-l、73c-2盖板、74_1、74_2分隔盖、75_1、75_2旋转 回收机构、75b-l、75b2刷毛、75c-l、75c-2安装构件、75j_l、75j_2旋转轴。具体实施例方式下面使用附图说明本专利技术。以下记载的实施例为一个形态，本领域技术人员能够 在容易想到的范围内进行修正、变形。下面根据图1及图2说明本专利技术的焊球印刷装置的一实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种焊球印刷装置，通过掩模将焊球印刷到基板和上述基板上的电极；其特征在于：具有焊球储存部、焊球送出部、移动机构部、励振单元；该焊球储存部储存上述焊球；该焊球送出部位于上述焊球储存部的下方，从上述焊球储存部接受规定量的焊球，将接受了的上述焊球供给到位于上述基板上的上述掩模面上；该移动机构部沿上述基板使上述焊球送出部移动；该励振单元向上述焊球送出部施加规定的振动；上述焊球送出部具有焊球接受部、凸状的线材、焊球旋转回收机构；该焊球接受部为长方形的漏斗状，用于接受来自上述焊球储存部的焊球；该凸状的线材具有按规定间隔排列了多个线材的结构，用于将该接受到了的上述焊球供给和分散到位于上述基板上的上述掩模面上；该焊球旋转回收机构分别位于上述凸状的线材的前后方部，将未由上述凸状的线材填充而是分散了的焊球聚集到上述凸状的线材的近旁。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：五十岚章雄，向井范昭，本间真，桥本尚明，
申请(专利权)人：株式会社日立工业设备技术，
类型：发明
国别省市：JP[日本]