一种混气结构及混气设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种混气结构及混气设备，涉及镀膜设备技术领域，其中，该混气结构包括：管体，具有沿轴向延伸的通道；至少两个混气件，至少两个所述混气件沿所述管体的轴向间隔设置于所述通道内，沿所述管体的轴向方向，所述混气件具有供气流穿过的空隙，且下一相邻所述混气件的实体部分位于所述空隙的延长侧。工作时，管体通道内的气体沿通道定向流动，在依次流经至少两个相邻混气件的过程中，气体在混气件的阻挡下溅射形成涡流或湍流，并从混气件的间隙流向下一混气件，随后再次撞击下一混气件。通道内的气流经过反复多次撞击形成涡流或湍流，能够有效提高混合效果。能够有效提高混合效果。能够有效提高混合效果。

【技术实现步骤摘要】
一种混气结构及混气设备


[0001]本技术涉及镀膜设备
，特别涉及一种混气结构及混气设备。

技术介绍

[0002]真空镀膜工艺中，需要通入多种气体，以形成相应的气体氛围。为了保证镀膜效果，要求气体混合均匀，腔内各处气体氛围的浓度一致，故需要相应的混气结构将多种气体混合均匀后再输送至腔体内。而现有的混气结构混气效果差，需做进一步改进。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种混气结构，能够有效提高混气效果。
[0004]本技术还提出一种具有上述混气结构的混气设备。
[0005]根据本技术的一方面实施例的混气结构，包括：管体，具有沿轴向延伸的通道；至少两个混气件，至少两个所述混气件沿所述管体的轴向间隔设置于所述通道内，沿所述管体的轴向方向，所述混气件具有供气流穿过的空隙，且下一相邻所述混气件的实体部分位于所述空隙的延长侧。
[0006]进一步地，所述混气件包括多个沿所述管体的内周周向间隔设置的叶片，相邻两个所述混气件之间的叶片在所述管体的轴向方向的投影相互交错。
[0007]进一步地，所述叶片的表面为曲面，且每个所述叶片的曲面均朝向所述管体轴线的同一侧逐渐弯曲。
[0008]进一步地，所述混气结构还包括第一混合部，第所述一混合部包括依次连接的入口段、收缩段和扩散段，所述入口段的直径大于所述收缩段的直径，由所述入口段指向所述扩散段，所述收缩段的横截面积逐渐减小，所述扩散段设置于所述收缩段的末端且横截面积逐渐扩大，所述扩散段的末端与所述管体的进气端连通。
[0009]进一步地，所述入口段远离所述收缩段的一端设置有多个进气端口，多个所述进气端口围绕所述入口段的轴线周向间隔设置，所述进气端口用于与进气管连接。
[0010]进一步地，所述扩散段弯曲设置。
[0011]进一步地，所述混气结构还包括第二混合部，第二混合部包括匀流板，所述匀流板上设置有主气道、分支气道及多个出气孔，所述主气道的进气端与所述管体的出气端连通，所述分支气道用于连通所述主气道和多个所述出气孔。
[0012]进一步地，所述匀流板包括第一板件和第二板件，所述第一板件与所述第二板件抵接的表面设置有第一气槽，所述第二板件对应所述第一气槽的位置设置有第二气槽，所述第一气槽和所述第二气槽围合出所述分支气道。
[0013]进一步地，所述主气道中设置有分流凸起，所述分流凸起与所述主气道的内壁之间均具有间隙。
[0014]根据本技术另一方面实施例的混气设备，包括如前所述的混气结构。
[0015]根据本技术实施例的混气结构和混气设备，至少具有如下有益效果：工作时，管体通道内的气体沿通道定向流动，在依次流经至少两个相邻混气件的过程中，气体在混气件的阻挡下溅射形成涡流或湍流，并从混气件的间隙流向下一混气件，随后再次撞击下一混气件。通道内的气流经过反复多次撞击形成涡流或湍流，能够有效提高混合效果；同时，与混气件撞击后的气流能够与周围的气体碰撞混合，能进一步提高混合效果。
[0016]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0017]下面结合附图和实施例对本技术做进一步的说明，其中：
[0018]图1为本技术一方面实施例中管体的其中一种结构示意图；
[0019]图2为图1的管体的另一视角的结构示意图；
[0020]图3为本技术一方面实施例中第一混合部的其中一种结构示意图；
[0021]图4为图3中的左视示意图；
[0022]图5为本技术一方面实施例中第二混匀部的结构示意图；
[0023]图6为本技术一方面实施例中主气道的内部结构示意图。
[0024]附图标记：
[0025]100、管体；110、通道；
[0026]200、混气件；210、叶片；
[0027]300、第一混合部；310、入口段；311、进气端口；320、收缩段；330、扩散段；
[0028]400、第二混合部；410、匀流板；411、主气道；4111、分流凸起；412、分支气道；413、出气孔。
具体实施方式
[0029]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0030]在本技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0031]在本技术的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
[0032]本技术的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属
技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本技术中的具体含义。
[0033]本技术的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
[0034]真空镀膜工艺中，混气结构将多种气体混合均匀后再送至腔体内，以形成相应的气体氛围。为了保证镀膜效果，要求气体混合均匀，腔内各处气体氛围的浓度一致。而现有的混气结构混气效果差，容易影响镀膜效果。
[0035]鉴于此，本技术实施例提出一种混气结构，以有效提高混气效果。
[0036]本技术一方面实施例公开的混气结构，参见图1和图2所示，该混气结构包括管体100和至少两个混气件200。具体的，管体100具有沿轴向延伸的通道110，该通道110用于输送气体；混气件200的数量至少具有两个，至少两个混气件200沿管体100的轴向间隔设置于通道110内；沿管体100的轴向方向，混气件200具有供气流穿过的空隙，且下一相邻混气件200的实体部分位于前一相邻混气件200的空隙的延长侧，以使气流从所述混气件200的间隙穿过后，能够撞击在下一相邻所述混气件200上，气体在混本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种混气结构，其特征在于，包括：管体，具有沿轴向延伸的通道；至少两个混气件，至少两个所述混气件沿所述管体的轴向间隔设置于所述通道内，沿所述管体的轴向方向，所述混气件具有供气流穿过的空隙，且下一相邻所述混气件的实体部分位于所述空隙的延长侧。2.根据权利要求1所述的混气结构，其特征在于，所述混气件包括多个沿所述管体的内周周向间隔设置的叶片，相邻两个所述混气件的叶片在所述管体的轴向方向的投影相互交错。3.根据权利要求2所述的混气结构，其特征在于，所述叶片的表面为曲面，且每个所述叶片的曲面均朝向所述管体轴线的同一侧逐渐弯曲。4.根据权利要求1所述的混气结构，其特征在于，所述混气结构还包括第一混合部，第所述一混合部包括依次连接的入口段、收缩段和扩散段，所述入口段的直径大于所述收缩段的直径，由所述入口段指向所述扩散段，所述收缩段的横截面积逐渐减小，所述扩散段设置于所述收缩段的末端且横截面积逐渐扩大，所述扩散段的末端与所述管体的进气端连通。5.根据权利要求4所述的混气结构，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：广东利元亨智能装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：