【技术实现步骤摘要】
一种亮度可调的MicroLED及其制备方法
[0001]本专利技术属于显示芯片
,具体涉及一种亮度可调的
MicroLED
及其制备方法
。
技术介绍
[0002]Micro LED
的英文全名是
Micro Light Emitting Diode
,中文称作微发光二极体,也可以写作
μ
LED
,一般指使用尺寸为
1~60um
的
LED
发光单元组成显示阵列的技术,其大小相当于人头发丝的
1/10
,具有无需背光,光电转换效率高,响应时间在
ns
级等特点,是将
LED
进行薄膜化
、
微小化和阵列化,使其体积达到大小只有主流
LED
的
1%
,像素点距离达到由毫米达到微米的一项技术
。
[0003]Micro LED 底层用正常的
CMOS
集成电路制造工艺制成
LED
显示驱动电路,然后再用
MOCVD
机在集成电路上制作
LED
阵列,从而实现了微型显示屏,也就是所说的
LED
显示屏的缩小版
。
为
OLED
之后下一代显示技术
。
[0004]Micro LED
显示面板一般会包括多个
LED
像素点(即发光单元),目前
M ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种亮度可调的
MicroLED
,其特征在于,包括驱动基板,所述驱动基板表面设有若干发光单元,所述发光单元包括键合金属层,所述键合金属层上方设有外延层,所述外延层剖面结构为梯形,所述键合金属层和外延层表面覆盖钝化层,所述钝化层顶面开口以控制外延层出光方向,所述钝化层外壁沉积反光层,所述反光层外壁沉积光电转换层,所述发光单元之间设有流平层,所述流平层顶部设有
N
电极层,所述光电转换层顶部与
N
电极层相连组成共阴极结构,光电转换层底部通过金属触点连接
P
电极形成内部回路
。2.
根据权利要求1所述的亮度可调的
MicroLED
,其特征在于,所述驱动基板是硅基
CMOS
背板或
TFT
场效应管显示基板,所述驱动基板有连接内部电路的金属触点
。3.
根据权利要求1所述的亮度可调的
MicroLED
,其特征在于,所述键合金属层是由金属膜或非金属膜复合而成的多层结构,所述金属膜和非金属膜均为导体,所述金属膜包括
Cr、Ni、Au、Ag、Sn、Ti、Pt
和
Pb
,所述非金属膜包括
ITO
膜
。4.
根据权利要求1所述的亮度可调的
MicroLED
,其特征在于,所述外延层包括第一半导体层
、
多量子阱层和第二半导体层,第一半导体层和第二半导体层材料包括
ZnSe、ZnO、GaN、AlN、InN、InGaN、GaP、AlInGaP、AlGaAs
及其合金
。5.
根据权利要求1所述的亮度可调的
MicroLED
,其特征在于,所述钝化层与外延层具有不同的折射率,通过调节倾斜角度使外延层形成的光部分全反射到外延层内部;所述钝化层材料包括
SiO2、Al2O3、SiN
或聚酰亚胺
、SU
‑8光刻胶及其他可光图案化的聚合物
。6.
根据权利要求1所述的亮度可调的
MicroLED
,其特征在于,所述反光层为高反光介质材料;所述光电转换层为光电转换材料,包括钙钛矿材料和多环芳香化合物
/
聚合物材料
。7.
根据权利要求1所述的亮度可调的
MicroLED
,其特征在于,所述流平层为有机黑矩阵光刻胶
、
彩色滤光光刻胶
、
聚酰亚胺
、
挡墙胶
、OC
胶
、SU8
光刻胶...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄坤翔,王世栋,
申请(专利权)人:盐城鸿石智能科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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