一种芯片老化测试机及测试线制造技术

本发明专利技术涉及一种芯片老化测试机及测试线，涉及芯片老化测试的技术领域，包括上料机

【技术实现步骤摘要】
一种芯片老化测试机及测试线


[0001]本专利技术涉及芯片老化测试的
，尤其是涉及一种芯片老化测试机及测试线
。

技术介绍

[0002]IC
芯片
(Integrated Circuit Chip)
是将大量的微电子元器件
(
晶体管
、
电阻
、
电容等
)
形成的集成电路放在一块塑基上，做成一块芯片
。
因为对于
IC
芯片的使用要求较高，所以在芯片出厂前需要对芯片进行老化测试，确保芯片不仅可以在正常条件下使用，也可以在环境恶劣的时候使用
(
如高温情况
)
，在芯片使用一段时间后，需要进行相应的老化测试，以确保芯片的正常使用
。
[0003]IC
测试中的核心测试单元往往尺寸较小，这就导致测试单元的设备空间整体较小，因此目前的老化测试用设备在进行测试时一般只能测试一盘芯片，单次能够测试的芯片数量较少，测试效率较为一般
。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的不足，本专利技术的目的是提供一种芯片老化测试机及测试线，其具有提高测试效率的优点
。
[0005]本专利技术的上述目的是通过以下技术方案得以实现的：
[0006]一方面，本申请公开了一种芯片老化测试机，
[0007]包括机架，所述机架内设置有测试单元，所述测试单元在机架内设置有多组，多组所述测试单元在竖直方向上间隔排布；
[0008]所述测试单元包括基板
、
设置在基板上的用于放置料盘的放置台
、
用于测试芯片的测试座，所述基板上设置有用于带动放置台朝向测试座移动的升降气缸；
[0009]所述放置台至少包括内台和外台，所述基板上滑动设置有用于将内台上的料盘推动至外台上的推动组件
。
[0010]本专利技术进一步设置为：所述推动组件包括设置在内台背离外台一侧的推动杆
、
用于带动推动杆朝向内台移动的推动气缸，所述推动杆在竖直方向上与内台等高，所述基板邻近内台的一端设置有导向柱，所述导向柱顶端开设有供推动杆穿过的开孔
。
[0011]本专利技术进一步设置为：所述推动杆沿内台长度方向间隔设置有多根，多根所述推动杆远离内台的一端共同连接有连接板，所述连接板上连接有多块底板，底板与推动杆一一对应，所述推动气缸与其中一块底板相连
。
[0012]本专利技术进一步设置为：所述底板在竖直方向上低于基板，每一所述底板朝向基板的一侧面上均设置有推动轨，所述基板上设置有多个推动块，每一所述推动块均滑动设置在一道推动轨上
。
[0013]本专利技术进一步设置为：所述内台与外台间隔设置，所述升降气缸设置有多个，多个所述升降气缸与内台
、
外台一一对应
。
[0014]本专利技术进一步设置为：所述升降气缸设置在基板背离放置台的一侧面上，所述升降气缸的伸缩杆沿竖直方向设置，每一所述升降气缸的伸缩杆上均连接有升降板，所述升降板平行于放置台，所述升降板与放置台之间连接有多根连接杆，所述基板上设置有多个导向套，每一所述连接杆均贯穿一个导向套设置
。
[0015]本专利技术进一步设置为：每一所述升降气缸均连接有单向诱导阀
。
[0016]本专利技术进一步设置为：所述机架的底部设置有多个独立调压阀，多个所述独立调压阀共同连接进气源，每一所述独立调压阀与一个升降气缸连接
。
[0017]另一方面，本申请公开了一种芯片老化测试线，
[0018]包括上述的芯片老化测试机，还包括上料机
、
下料机
、
设置在上料机与下料机之间的流水线；
[0019]所述流水线上设置有取料机械手，所述取料机械手由上料机朝向下料机滑动，所述取料机械手顶部设置有拍摄单元；
[0020]所述芯片老化测试机沿流水线间隔设置有多台，多台所述芯片老化测试机均匀排布在流水线两侧
。
[0021]综上所述，本专利技术的有益技术效果为：
[0022]1.
一台老化测试机单次可以测试多盘芯片，且多个测试台互相独立互不影响，大大提高了加工效率；
[0023]2.
在升降气缸上连接单向诱导阀，在顶升动作完成后，单向诱导阀锁死，保证测试单元不会出现微量下移，提高测试时的稳定性
。
附图说明
[0024]图1是本申请实施例中一种芯片老化测试线的整体结构示意图；
[0025]图2是本申请实施例中芯片老化测试机的整体结构示意图；
[0026]图3是本申请实施例中测试单元的整体结构图；
[0027]图4是本申请实施例中测试单元另一视角的整体结构图；
[0028]图5是图4中
A
部分的放大图；
[0029]图6是放置台的结构示意图
。
[0030]图中，
1、
机架；
11、
独立调压阀；
2、
测试单元；
21、
基板；
211、
导向柱；
212、
开孔；
213、
推动块；
214、
导向套；
22、
放置台；
221、
内台；
2211、
插口；
222、
外台；
23、
测试座；
24、
升降气缸；
241、
单向诱导阀；
3、
推动组件；
31、
推动杆；
32、
推动气缸；
33、
连接板；
34、
底板；
341、
推动轨；
35、
升降板；
351、
连接杆；
4、
上料机；
5、
下料机；
6、
流水线；
7、
芯片老化测试机；
8、
取料机械手；
9、
拍摄单元
。
具体实施方式
[0031]以下结合附图1‑6对本专利技术作进一步详细说明
。
[0032]本专利技术公开了一种芯片老化测试线，包括上料机4和下料机5，上料机4与下料机5之间设置有流水线6，流水线6运输方向由上料机4流向下料机
5。
流水线6两侧均放置有芯片老化测试机7，每一侧的芯片老化测试机7沿流水线6长度方向间隔均匀排布有多台，两侧的芯片老化测试机7关于流水线6成一一对称设置
。
流水线6上滑动设置有取料机械手8，取料
机械手8的顶部放置有拍摄单元9，取料机械手8在流水线6的带动下移动
。
在进行测试作业时，取料机械手8将上料机4上装有待测试件的料盘取走本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种芯片老化测试机，包括机架
(1)
，其特征在于：所述机架
(1)
内设置有测试单元
(2)
，所述测试单元
(2)
在机架
(1)
内设置有多组，多组所述测试单元
(2)
在竖直方向上间隔排布；所述测试单元
(2)
包括基板
(21)、
设置在基板
(21)
上的用于放置料盘的放置台
(22)、
用于测试芯片的测试座
(23)
，所述基板
(21)
上设置有用于带动放置台
(22)
朝向测试座
(23)
移动的升降气缸
(24)
；所述放置台
(22)
至少包括内台
(221)
和外台
(222)
，所述基板
(21)
上滑动设置有用于将内台
(221)
上的料盘推动至外台
(222)
上的推动组件
(3)。2.
根据权利要求1所述的一种芯片老化测试机，其特征在于：所述推动组件
(3)
包括设置在内台
(221)
背离外台
(222)
一侧的推动杆
(31)、
用于带动推动杆
(31)
朝向内台
(221)
移动的推动气缸
(32)
，所述推动杆
(31)
在竖直方向上与内台
(221)
等高，所述内台
(221)
上开设有供推动杆
(31)
插入的插口
(2211)
，所述基板
(21)
邻近内台
(221)
的一端设置有导向柱
(211)
，所述导向柱
(211)
顶端开设有供推动杆
(31)
穿过的开孔
(212)。3.
根据权利要求2所述的一种芯片老化测试机，其特征在于：所述推动杆
(31)
沿内台
(221)
长度方向间隔设置有多根，多根所述推动杆
(31)
远离内台
(221)
的一端共同连接有连接板
(33)
，所述连接板
(33)
上连接有多块底板
(34)
，底板
(34)
与推动杆
(31)
一一对应，所述推动气缸
(32)
与其中一块底板
(34)
相连
。4.
根据权利要求3所述的一种芯片老化测试机，其特征在于：所述底板
(34)
在竖直方向上低于基板
(21)
，每一所述底板
(34)
朝向基板
(21)
的一侧面上均设置有推动轨
...

【专利技术属性】
技术研发人员：何润，侯德胜，
申请(专利权)人：苏州乾鸣半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：