目视检查装置和目视检查方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种对检查人员的熟练程度依赖较小、检查效率高的目视检查装置以及目视检查方法，以及具有这样的目视检查装置的检查系统。所述目视检查装置是具有使测试图案显示在检查对象面板上的单元的显示面板的目视检查装置，该目视检查装置具有：测试图案存储单元；取得自动检查装置所生成的自动检查结果信息的单元；根据所取得的上述自动检查结果信息，生成与自动检查装置判断为存在于检查对象面板上的缺陷有关的标记图案的单元；使所生成的标记图案与测试图案重叠的单元；以及使与标记图案重叠的测试图案显示在检查对象面板上的单元。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，具体来说，涉及一种通过目视检查液 晶显示面板、等离子显示面板等的显示面板的缺陷的显示面板的目视检查装置和目视检查 方法。
技术介绍
在液晶显示面板等的显示面板中，通常，在单元工序的最终检查中，使面板实际亮 灯，检查点缺陷、线缺陷、斑点缺陷等的有无，即进行所谓的点亮检查。在该亮灯检查中，通 常是自动检查装置和被称为目视检查装置这两个种类的检查装置分别单独使用或者组合 使用。自动检查装置是以CXD照相机等拍摄使测试图案显示的显示面板，将其作为图像 数据，用计算机对该图像数据进行图像处理，并自动地判断有无缺陷的检查装置，因为不通 过检查人员的目视判断，因此具有缺陷有无的判断一律具有客观性、且处理能力也高这样 的优点。但是，另一方面，其还具有这样的缺点难以设定使装载于计算机的软件判断被图 像处理后的数据是否显示出缺陷时的阈值。即，为了避免缺陷的漏检而将阈值设定得较低 的话，软件会将面板上的灰尘、瑕疵也判断为缺陷，导致所谓的过度检测，产生制品的成品 率恶化这样的不良情况。相反，为了避免过度检测而将阈值设定得较高的话，就会忽略原来 必须被检测为缺陷的地方，从而导致缺陷的漏检。相对于此，目视检查装置是检查人员实际用眼睛观测显示测试图案的显示面板来 检查缺陷有无的装置，由于检查人员通过目视来判断缺陷的有无，因此相比自动检查装置 具有能够检查极细小的缺陷这样的优点。但是，还具有这样的缺点目视检查装置的缺陷检 测的精度往往有赖于检查人员的熟练程度，由于依靠于检查人员因此无法避免缺陷检测的 精度的差异，而且，还存在着检查费时间、效率低这样的不良情况。因此，想到将自动检查装置和目视检查装置两者组合，来互相弥补彼此的缺点。但 是，采用利用目视检查装置确认已由自动检查装置判断为有缺陷的面板的组合的话，例如， 为了避免缺陷的漏检而将自动检查装置的阈值设定得较低时，由自动检查装置判断为有缺 陷的面板的数量增加，将所有这些面板发送给目视检查装置，使其一个一个点亮来进行目 视检查时，检查花费非常多的时间，造成检查系统整体的处理能力大幅度下降这样的不良 情况。相反，为了抑制由目视检查装置所检查的面板的数量而将自动检查装置的阈值设定 得较高的话，则会忽略原来必须检测为缺陷的地方，从而产生发生缺陷的漏检这样的不良 情况，无论采用以上何种方式，都无法消除自动检查装置的阈值设定存在困难这样的问题 点ο为了消除该问题点，例如在专利文献1、2中提出了一种检查系统，即自动检查装 置，在对所读取的图像数据进行解析后判断为有缺陷时，使有关该面板的图像显示于监视 器画面，检查人员能够在监视器画面上确认缺陷的有无。采用这些检查系统，由于检查人员 仅在监视器画面上确认由自动检查装置判断有缺陷的面板的图像，因此与使检查面板一个一个点亮来进行目视检查的情况相比，具有能够高效率地进行目视检查这样的优点。但是，在这些以往的检查系统中，成为目视检查的对象的不是显示测试图案并点 亮了的显示面板，而是由自动检查装置拍摄的显示面板的显示图像，因此，虽说是目视检 查，还是具有其检查精度受到在自动检查装置中拍摄的图像的鲜明度或者分辨率等的制 约、而得不到目视检查原来的精度这样的缺点。
技术介绍
文献专利文献专利文献1 日本专利公开2001-289733号公报专利文献2 日本专利公开2004-279037号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题本专利技术正是为了解决上述现有技术的问题点而做成的，其课题在于提供一种较少 依靠于检查系统检查人员的熟练度、且检查效率良好的目视检查装置及目视检查方法、以 及具有这样的目视检查装置的检查系统。解决问题的手段本专利技术通过提供一种以下这样的目视检查装置以及提供具有这种目视检查装置 的检查系统，来解决上述问题所述目视检查装置是具有使测试图案显示在检查对象面板 上的单元的显示面板的目视检查装置，该目视检查装置具有测试图案存储单元；取得自 动检查装置所生成的自动检查结果信息的单元；根据所取得的上述自动检查结果信息，生 成与自动检查装置判断存在于检查对象面板上的缺陷有关的标记图案的单元；使所生成的 标记图案与测试图案重叠的单元；以及使与标记图案重叠的测试图案显示在检查对象面板 上的单元。本专利技术的目视检查装置的标记图案最好是与缺陷的种类以及/或者大小对应的 一种或多种图形以及/或者记号，其显示在与自动检查装置判断存在于检查对象面板上的 缺陷在检查对象面板上的位置相对应的位置上。本专利技术的目视检查装置通过将该标记图案 与测试图案重叠并使其显示在检查对象面板上，检查人员能够将注意集中在检查对象面板 上的特定的区域，与一开始就没有侧重地对整个检查对象面板进行检查的情形相比，效率 较高，且能够进行较少依赖于检查人员的熟练程度的高精度的目视检查。其结果，具有自动 检查装置以及目视检查装置两者的检查系统整体的处理能力提高，能够将自动检查装置的 阈值设定得较低，能够谋求缺陷漏检的减少。又，本专利技术的目视检查装置，较理想的是，具有监视器画面；将自动检查装置判 断为存在于检查对象面板上的缺陷显示在该监视器画面上的单元；使得能够从被显示的缺 陷中选择一个或者多个缺陷的单元；使得能够将被选择的缺陷与有关该缺陷的目视检查结 果相关联的单元；根据缺陷和与该缺陷相关联的目视检查结果，生成目视检查结果信息的 单元。由此，检查人员能够根据所实施的目视检查的结果，生成目视检查结果信息。该目视 检查结果信息可以就这样直接使用，也可以根据该目视检查结果信息，改写以前取得的自 动检查结果信息，作为综合的检查结果信息来利用。较理想的是，将自动检查装置判断存在于检查对象面板上的缺陷显示在监视器画面上的单元是，将至少显示有标记图案的检查对象面板的图像显示在监视器画面上的单 元。在显示有标记图案的检查对象面板的图像显示在监视器画面上时，由于被点亮的实际 的检查对象面板与显示在监视器画面上的检查对象面板的图像相对应，因此具有能容易地 从显示在监视器画面上的缺陷中选择一个或者多个缺陷的优点。在本专利技术的检查系统中，可以将目视检查装置中的使测试图案显示在面板上的单 元生成自动检查装置中的使测试图案显示在检查对象面板上的单元。这时，自动检查装置 和目视检查装置中，使测试图案显示在面板上的单元是共同的，能够根据自动检查结果信 息，使标记图案就这样显示在自动检查装置检查结束了的检查面板上，来实施目视检查。本专利技术还通过提供这样一种目视检查方法来解决上述课题，其包括将检查对象 面板搬入目视检查装置的检查位置的工序；取得自动检查装置对于搬入到检查位置的检查 面板所生成的自动检查结果信息的工序；根据所取得的自动检查结果信息，对于自动检查 装置判断存在于该检查对象面板上的缺陷，生成标记图案的工序；使所生成的标记图案与 测试图案重叠，并使其显示在处于检查位置上的检查对象面板上的工序。在本专利技术的目视检查方法中，根据在事先进行的自动检查中生成的自动检查结果 信息，将与自动检查装置判断存在于检查对象面板上的缺陷有关的标记图案显示在检查对 象面板上，因此与一开始就没有侧重地对整个检查对象面板进行检查的情形相比，检查人 员能够进行效率高、且精度高的目视检查。因此，检查效率提高，能够将自动检查装置的阈 值设定得较低，能够谋求缺陷漏检的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示面板的目视检查装置，该目视检查装置具有使测试图案显示在检查对象面板上的单元，其特征在于，该目视检查装置具有：测试图案存储单元；取得自动检查装置所生成的自动检查结果信息的单元；根据所取得的上述自动检查结果信息，生成与自动检查装置判断存在于检查对象面板上的缺陷有关的标记图案的单元；使所生成的标记图案与测试图案重叠的单元；以及使与标记图案重叠的测试图案显示在检查对象面板上的单元。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：水野邦广，铃木孝治，
申请(专利权)人：日本麦可罗尼克斯股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]