【技术实现步骤摘要】
一种全自动多功能插取片设备
[0001]本技术涉及硅片生产
,具体为一种全自动多功能插取片设备
。
技术介绍
[0002]单晶硅片:硅的单晶体,是一种具有基本完整的点阵结构的晶体,不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料,纯度要求达到
99.9999
%,甚至达到
99.9999999
%以上,用于制造半导体器件
、
太阳能电池等,用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成,硅片在生产加工过程中,需要将硅片放置在硅片存放架内进行保存,目前通常是利用全自动插片装置将硅片放置在硅片存放架内进行保存
。
[0003]专利公开号为
CN218016917U
的技术专利,公开了一种全自动插片装置,该插片装置旨在解决现有技术的全自动插片装置通常难以将单个硅片快速插入在一定高度的硅片存放架内,难以实现快速连续插片的技术问题,该插片装置包括存放箱和活动设置于存放箱上方的移动块;存放箱的右端固定安装有承载板,承载板的上端固定安装有固定板,存放箱的上端固定安装有第一支撑块,固定板的上端固定安装有第二支撑块,第二支撑块的右端固定安装有伺服电机,该插片装置可将单个硅片快速插入在一定高度的硅片存放架内,可实现快速连续插片
。
[0004]该装置在使用过程中,虽然可以将硅片收纳进入存放箱中,但是整个过程存在两个进程,先用真空吸盘吸附硅片将其插入存放箱中,然后再通过推板推动硅片进入存放箱内部,如此操作过程繁复,硅片的插取效率较低,针对上述问 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种全自动多功能插取片设备,包括输送机
(1)
,其特征在于:所述输送机
(1)
一侧设置有安装机构
(2)
,所述安装机构
(2)
上活动设置有插取机构
(3)
,所述插取机构
(3)
包括往复电机
(31)
,所述往复电机
(31)
输出端固定设置有转轴
(32)
,所述转轴
(32)
远离往复电机
(31)
的一端固定设置有安装块
(33)
,所述安装机构
(2)
包括工作板
(21)
,所述工作板
(21)
底部一侧固定设置有两个竖板
(22)
,所述竖板
(22)
顶部固定设置有直板
(23)
,所述往复电机
(31)
一端与直板
(23)
远离转轴
(32)
一侧固定配合,所述转轴
(32)
上转动设置有稳固板
(4)
,所述稳固板
(4)
底部与工作板
(21)
顶部中心固定配合
。2.
如权利要求1所述的一种全自动多功能插取片设备,其特征在于,所述安装块
(33)
底部固定设置有第一电动推杆
(34)
,所述第一电动推杆
【专利技术属性】
技术研发人员:李清宇,梅林刚,明利,
申请(专利权)人:恒亦达智能设备苏州有限公司,
类型:新型
国别省市:
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