晶圆除尘机构及晶圆除尘设备制造技术

本申请涉及晶圆加工技术领域，公开了一种晶圆除尘机构及晶圆除尘设备，包括安装座和设于安装座上的除尘组件、压轮和驱动组件：安装座包括安装台，用于放置晶圆和吸附晶圆；除尘组件包括固定轴、卷轴和蓝膜，固定轴和卷轴沿第一方向间隔设置，蓝膜的相对两端分别绕设于固定轴和卷轴上；压轮设于固定轴和卷轴之间；驱动组件包括第一驱动件和第二驱动件，第一驱动件用于驱动卷轴沿第一方向移动以将蓝膜铺设于晶圆上方，第二驱动件用于驱动压轮沿第一方向移动以使蓝膜与晶圆相贴合。上述晶圆除尘机构通过移除贴合在晶圆上的蓝膜以除尘，除尘后无需烘烤晶圆，除尘效率高，且可降低设备采购成本，解决现有技术中晶圆清洗时间长，清洗成本高的问题。成本高的问题。成本高的问题。

【技术实现步骤摘要】
晶圆除尘机构及晶圆除尘设备


[0001]本申请涉及晶圆加工
，尤其涉及一种晶圆除尘机构及晶圆除尘设备。

技术介绍

[0002]目前，针对晶圆表面存在脏污的情况，通常是利用晶圆清洗机在超纯净水的环境下进行晶圆清洗，清洗完成后还需要烘烤晶圆，清洗时间较长；此外，晶圆清洗设备昂贵，且需要导入生产超纯净水的设备系统，增加了晶圆清洗的成本。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本申请提供了一种晶圆除尘机构及晶圆除尘设备，解决现有技术中晶圆的清洗时间较长，且清洗成本高的问题。
[0004]本申请第一方面的实施例提出一种晶圆除尘机构，包括安装座和设于所述安装座上的除尘组件、压轮和驱动组件：
[0005]所述安装座包括安装台，所述安装台用于放置晶圆和吸附所述晶圆；
[0006]所述除尘组件包括固定轴、卷轴和蓝膜，所述固定轴和所述卷轴沿第一方向间隔设置，所述蓝膜的相对两端分别绕设于所述固定轴和所述卷轴上；
[0007]所述压轮设于所述固定轴和所述卷轴之间；
[0008]所述驱动组件包括第一驱动件和第二驱动件，所述第一驱动件用于驱动所述卷轴沿所述第一方向移动以将所述蓝膜铺设于所述晶圆上方，所述第二驱动件用于驱动所述压轮沿所述第一方向移动以使所述蓝膜与所述晶圆相贴合。
[0009]在一实施例中，所述晶圆除尘机构还包括设于所述安装台的相对两侧且沿所述第一方向延伸的第一滑轨和第二滑轨，所述卷轴的两端分别通过两个第一移动座、所述压轮的两端分别通过两个第二移动座连接于所述第一滑轨和所述第二滑轨；
[0010]所述第一驱动件连接于至少一个所述第一移动座并驱动所述卷轴滑动连接于所述第一滑轨和所述第二滑轨，所述第二驱动件连接于至少一个所述第二移动座并驱动所述压轮滑动连接于所述第一滑轨和所述第二滑轨。
[0011]在一实施例中，所述第一驱动件和所述第二驱动件分别设于所述安装台的相对两侧，所述第一驱动件包括相连接的第一驱动电机和第一丝杆，所述第一驱动电机用于驱动所述第一丝杆旋转，其中一个所述第一移动座可沿所述第一丝杆在所述第一方向移动；
[0012]所述第二驱动件包括相连接的第二驱动电机和第二丝杆，所述第二驱动电机用于驱动所述第二丝杆旋转，其中一个所述第二移动座可沿所述第二丝杆在所述第一方向移动。
[0013]在一实施例中，所述安装座内设有收容空间，所述卷轴、所述压轮、所述第一滑轨和所述第二滑轨均设于所述安装座的顶面上，所述第一驱动电机和所述第二驱动电机均连接于所述安装座，且所述第一丝杆和所述第二丝杆沿所述第一方向收容于所述收容空间内，所述第一移动座部分穿设所述顶面并延伸至所述收容空间内以连接所述第一丝杆，所
述第二移动座部分穿设所述顶面并延伸至所述收容空间内以连接所述第二丝杆。
[0014]在一实施例中，至少一个所述第一移动座上设有步进电机，所述卷轴朝向所述步进电机的一端固定连接于所述步进电机的驱动端。
[0015]在一实施例中，所述晶圆除尘机构还包括第一升降驱动件和第二升降驱动件，所述第一升降驱动件设于所述第一移动座上且所述第一升降驱动件的驱动端连接于所述卷轴，所述第二升降驱动件设于所述第二移动座上且所述第二升降驱动件的驱动端连接于所述压轮。
[0016]在一实施例中，所述安装台包括顶针、吸盘和第三驱动件，所述吸盘上开设有通孔和用于与真空发生装置相连通的抽气孔，所述顶针固定连接于所述第三驱动件的驱动端，所述第三驱动件用于驱动所述顶针作升降运动以沿竖直方向活动穿设于所述通孔，所述顶针用于放置所述晶圆并带动所述晶圆移动至所述吸盘的顶部。
[0017]在一实施例中，所述吸盘上开设有多个同心设置的环槽，所述环槽内均开设有所述抽气孔。
[0018]在一实施例中，所述晶圆除尘机构还包括设于所述安装座上的压杆，所述压杆位于所述固定轴与所述压轮之间，所述压杆的高度低于所述固定轴的高度，且所述压杆和所述卷轴的高度相同，所述压杆用于张紧所述蓝膜。
[0019]上述晶圆除尘机构包括安装座、除尘组件、压轮和驱动组件，可于安装座的安装台上放置晶圆并进行吸附以实现晶圆的固定，蓝膜在卷轴的带动下沿第一方向铺设于晶圆的上方，并在压轮的碾压下与晶圆相贴合。由于蓝膜具有粘性，当移除贴合在晶圆上的蓝膜时，蓝膜可将晶圆表面的颗粒物带走，有效除尘，不易对晶圆的表面造成损坏，此外，除尘后无需烘烤晶圆，除尘效率高，且可降低设备采购成本，从而解决现有技术中晶圆的清洗时间较长，且清洗成本高的问题。
[0020]本申请第二方面的实施例提出一种晶圆除尘设备，包括如第一方面任一实施例中的晶圆除尘机构和晶圆取放机构，所述晶圆取放机构包括机械手臂，所述机械手臂用于抓取晶圆并将所述晶圆转移至所述晶圆除尘机构的安装座上。
[0021]上述晶圆除尘设备通过机械手臂实现晶圆盒内晶圆的抓取和安装台上晶圆的放置，无需人工操作，隔绝人工污染；其次，蓝膜在卷轴的带动下沿第一方向铺设于晶圆的上方，并在压轮的碾压下与晶圆相贴合。由于蓝膜具有粘性，当移除贴合在晶圆上的蓝膜时，蓝膜可将晶圆表面的颗粒物带走，有效除尘，不易对晶圆的表面造成损坏，此外，除尘后无需烘烤晶圆，除尘效率高，且可降低设备采购成本，从而解决现有技术中晶圆的清洗时间较长，且清洗成本高的问题。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1为本申请实施例提供的晶圆除尘机构的立体示意图；
[0024]图2为图1所示晶圆除尘机构另一角度的立体示意图；
[0025]图3为图1所示晶圆除尘机构的立体分解示意图；
[0026]图4为本申请实施例提供的晶圆除尘设备的立体示意图；
[0027]图5为图4所示晶圆除尘设备的内部结构示意图之一；
[0028]图6为图4所示晶圆除尘设备的内部结构示意图之二。
[0029]图中标记的含义为：
[0030]100、晶圆除尘机构；200、晶圆；300、晶圆除尘设备；
[0031]10、安装座；11、安装台；111、顶针；112、吸盘；113、第三驱动件；114、通孔；115、环槽；116、固定柱；117、圆盘；12、收容空间；13、顶面；14、条形通道；
[0032]20、除尘组件；21、固定轴；22、卷轴；23、蓝膜；
[0033]30、压轮；
[0034]40、驱动组件；41、第一驱动件；411、第一驱动电机；412、第一丝杆；42、第二驱动件；421、第二驱动电机；422、第二丝杆；
[0035]51、第一滑轨；52、第二滑轨；53、第一移动座；54、第二移动座；55、步进电机；56、第一升降驱动件；57、第二升降驱动件；58、第三升降驱动件本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆除尘机构，其特征在于，包括安装座和设于所述安装座上的除尘组件、压轮和驱动组件：所述安装座包括安装台，所述安装台用于放置晶圆和吸附所述晶圆；所述除尘组件包括固定轴、卷轴和蓝膜，所述固定轴和所述卷轴沿第一方向间隔设置，所述蓝膜的相对两端分别绕设于所述固定轴和所述卷轴上；所述压轮设于所述固定轴和所述卷轴之间；所述驱动组件包括第一驱动件和第二驱动件，所述第一驱动件用于驱动所述卷轴沿所述第一方向移动以将所述蓝膜铺设于所述晶圆上方，所述第二驱动件用于驱动所述压轮沿所述第一方向移动以使所述蓝膜与所述晶圆相贴合。2.根据权利要求1所述的晶圆除尘机构，其特征在于，所述晶圆除尘机构还包括设于所述安装台的相对两侧且沿所述第一方向延伸的第一滑轨和第二滑轨，所述卷轴的两端分别通过两个第一移动座、所述压轮的两端分别通过两个第二移动座连接于所述第一滑轨和所述第二滑轨；所述第一驱动件连接于至少一个所述第一移动座并驱动所述卷轴滑动连接于所述第一滑轨和所述第二滑轨，所述第二驱动件连接于至少一个所述第二移动座并驱动所述压轮滑动连接于所述第一滑轨和所述第二滑轨。3.根据权利要求2所述的晶圆除尘机构，其特征在于，所述第一驱动件和所述第二驱动件分别设于所述安装台的相对两侧，所述第一驱动件包括相连接的第一驱动电机和第一丝杆，所述第一驱动电机用于驱动所述第一丝杆旋转，其中一个所述第一移动座可沿所述第一丝杆在所述第一方向移动；所述第二驱动件包括相连接的第二驱动电机和第二丝杆，所述第二驱动电机用于驱动所述第二丝杆旋转，其中一个所述第二移动座可沿所述第二丝杆在所述第一方向移动。4.根据权利要求3所述的晶圆除尘机构，其特征在于，所述安装座内设有收容空间，所述卷轴、所述压轮、所述第一滑轨和所述第二滑轨均设于所述安装座的顶面上，所述第一驱动电机和所述第二驱动电机均连接于所述安装座，且所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨建设，张雅凯，贾勇，
申请(专利权)人：昆山思特威集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：