一种芯片外观检测设备制造技术

本发明专利技术描述了一种芯片外观检测设备，包括：芯片料盘，用于承载待检测的芯片，芯片料盘可沿第一方向滑动；视觉检测模块，用于检测芯片的外观缺陷与放置方向，视觉检测模块设置于芯片料盘上方且可沿第二方向滑动，第一方向和第二方向交叉设置；芯片取放模块，可沿第二方向滑动，芯片取放模块至少包括沿第三方向滑动并以第三方向为轴旋转的取放组件，取放组件用于从芯片料盘中取放芯片或调整芯片朝向，其中，第三方向分别与第一方向和第二方向交叉设置。本发明专利技术提供的芯片外观检测设备，可以解决目前芯片外观检测过程中出现的人眼漏检导致品质风险高的问题、人眼容易视觉疲劳的问题、检测效率低的问题等。检测效率低的问题等。检测效率低的问题等。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片外观检测设备


[0001]本专利技术涉及芯片测试设备领域，特别是涉及一种芯片外观检测设备。

技术介绍

[0002]芯片在出货之前需要对芯片进行检测，检测项目包括电性测试、外观检测等。目前CIS芯片测试领域所用到芯片外观检测设备是电子显微镜，芯片外观缺陷需要员工通过显示器显示的芯片外观判断其是否存在外观缺陷，此检测方式员工极易容易眼睛疲劳而出现漏检风险，而且人员检测效率极低，特别出现缺陷芯片后，需要人工操作替换以及补料到料盘，此过程人工操作的效率极低。另外，芯片方向放置错误、混批次等异常，人工操作往往无法精确判断。
[0003]基于以上问题，亟需开发桌面型外观检测设备，实现芯片缺陷检测、机器视觉判断芯片方向，使用机械手自动精准挑取不良品芯片，从而提高芯片外观检测效率，减少外观检测人力，降低品质风险。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本专利技术提供一种芯片外观检测设备，包括：芯片料盘，用于承载待检测的芯片，芯片料盘可沿第一方向滑动；视觉检测模块，用于检测芯片的外观缺陷与放置方向，视觉检测模块设置于芯片料盘上方且可本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片外观检测设备，其特征在于，包括：芯片料盘，用于承载待检测的芯片，所述芯片料盘可沿第一方向滑动；视觉检测模块，用于检测所述芯片的外观缺陷与放置方向，所述视觉检测模块设置于所述芯片料盘上方且可沿第二方向滑动，所述第一方向和所述第二方向交叉设置；芯片取放模块，可沿所述第二方向滑动，所述芯片取放模块至少包括沿第三方向滑动并以所述第三方向为轴旋转的取放组件，所述取放组件用于从所述芯片料盘中取放所述芯片或调整所述芯片朝向，其中，所述第三方向分别与所述第一方向和所述第二方向交叉设置。2.如权利要求1所述的芯片外观检测设备，其特征在于，还包括：第一方向移动模块和第二方向移动模块；所述芯片料盘连接于所述第一方向移动模块，且所述第一方向移动模块带动所述芯片料盘沿所述第一方向滑动；所述视觉检测模块和所述芯片取放模块分别连接于所述第二方向移动模块，且所述第二方向移动模块带动所述视觉检测模块和所述芯片取放模块沿所述第二方向滑动。3.如权利要求2所述的芯片外观检测设备，其特征在于，所述第一方向移动模块包括芯片料盘连接板、第一滑动件、第一丝杠和第一驱动件，所述第一丝杠沿所述第一方向延伸，所述第一驱动件设置于所述第一丝杠的一端并驱动所述第一丝杠旋转，所述第一滑动件滑动连接于所述第一丝杠的外表面并可随所述第一丝杠的旋转而在所述第一方向上滑动，所述芯片料盘通过所述芯片料盘连接板固定连接于所述第一滑动件。4.如权利要求2所述的芯片外观检测设备，其特征在于，所述第二方向移动模块包括视觉检测模块连接板、芯片取放模块连接板、第二滑动件、第二丝杠、第二驱动件，所述第二丝杠沿所述第二方向延伸，所述第二驱动件设置于所述第二丝杠的一端并驱动所述第二丝杠旋转，所述第二滑动件滑动连接于所述第二丝杠的外表面并可随所述第二丝杠的旋转而在所述第二方向上滑动，所述视觉检测模块和所述芯片取放模块分别通过所...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨建设，张雅凯，
申请(专利权)人：昆山思特威集成电路有限公司，
类型：发明
国别省市：